செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட், சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட், சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக், எம்ஓசிவிபி செமிகண்டக்டர் உற்பத்திப் பகுதிகளில் கவனம் செலுத்தும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட், துல்லியமான இயந்திரம் கொண்ட உயர் தூய்மை கிராஃபைட் ஆகியவற்றின் சுயாதீன சொந்த உற்பத்தியாளர். எங்கள் GaN-on-SiC எபிடாக்சியல் வேஃபர்ஸ் கேரியர் ஒரு நல்ல விலை நன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை உள்ளடக்கியது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
GaN-on-SiC எபிடாக்சியல் வேஃபர்ஸ் கேரியரின் Semicorex SiC பூச்சு என்பது அடர்த்தியான, தேய்மானத்தை எதிர்க்கும் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சு ஆகும். இது அதிக அரிப்பு மற்றும் வெப்ப எதிர்ப்பு பண்புகள் மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்டது. வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி கிராஃபைட்டில் மெல்லிய அடுக்குகளில் SiC ஐப் பயன்படுத்துகிறோம்.
எங்கள் GaN-on-SiC எபிடாக்சியல் வேஃபர்ஸ் கேரியர் சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்ட முறையை அடைய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலையை உறுதி செய்கிறது. இது எந்த மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்க உதவுகிறது, செதில் சிப்பில் உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.
எங்களின் GaN-on-SiC எபிடாக்சியல் வேஃபர்ஸ் கேரியர் பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.
GaN-on-SiC எபிடாக்சியல் வேஃபர்ஸ் கேரியரின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
GaN-on-SiC எபிடாக்சியல் வேஃபர்ஸ் கேரியரின் அம்சங்கள்
- உரிக்கப்படுவதைத் தவிர்க்கவும் மற்றும் அனைத்து மேற்பரப்பிலும் பூச்சு இருப்பதை உறுதி செய்யவும்
உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு: 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் நிலையானது
உயர் தூய்மை: உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் செய்யப்படுகிறது.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு மற்றும் நுண்ணிய துகள்கள்.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்.
- சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை அடைய
- வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலைக்கு உத்தரவாதம்
- ஏதேனும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கவும்