தொழில்முறை தயாரிப்பாளராக, நாங்கள் உங்களுக்கு செமிகண்டக்டர் கூறுகளை வழங்க விரும்புகிறோம். செமிகோரெக்ஸ் செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தை மேம்படுத்த உங்கள் பங்குதாரர். எங்களின் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள் அடர்த்தியான, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டவை, அவை குறைக்கடத்தி செதில் மற்றும் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு உட்பட, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் முழு சுழற்சியிலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
உயர்-தூய்மை SiC பூசப்பட்ட கூறுகள் குறைக்கடத்தியில் செயல்முறைகளுக்கு முக்கியமானவை. எபிடாக்ஸி அல்லது எம்ஓசிவிடிக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள் போன்ற செதில் செயலாக்க உபகரணங்களுக்கான உயர் துல்லியமான கிராஃபைட் பாகங்கள், படிக வளரும் வெப்ப மண்டலங்களுக்கான கிராஃபைட் நுகர்வுப் பொருட்கள் (ஹீட்டர்கள், க்ரூசிபிள் சஸ்செப்டர்கள், இன்சுலேஷன்) வரை எங்கள் சலுகைகள் உள்ளன.
குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கான நன்மைகள்
எபிடாக்ஸி அல்லது எம்ஓசிவிடி போன்ற மெல்லிய படல படிவு நிலைகள் அல்லது செதில் அல்லது அயன் உள்வைப்பு போன்ற செதில் கையாளுதல் செயலாக்கம் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வேண்டும். செமிகோரெக்ஸ் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கட்டுமானம் சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் நீடித்த இரசாயன எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, நிலையான எபி லேயர் தடிமன் மற்றும் எதிர்ப்பிற்கான வெப்ப சீரான தன்மையையும் வழங்குகிறது.
அறை மூடிகள் →
படிக வளர்ச்சி மற்றும் செதில் கையாளுதல் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் அறை மூடிகள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வேண்டும்.
முடிவு விளைவு →
எண்ட் எஃபெக்டர் என்பது ரோபோவின் கை ஆகும், இது செமிகண்டக்டர் செதில்களை செதில் செயலாக்க உபகரணங்கள் மற்றும் கேரியர்களின் நிலைகளுக்கு இடையில் நகர்த்துகிறது.
நுழைவாயில் வளையங்கள் →
எம்ஓசிவிடி கருவி மூலம் SiC பூசப்பட்ட வாயு நுழைவாயில் வளையம் கலவை வளர்ச்சி அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது தீவிர சூழலில் சிறந்த நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது.
ஃபோகஸ் ரிங் →
செமிகோரெக்ஸ் சப்ளைகள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட ஃபோகஸ் ரிங் RTA, RTP அல்லது கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய மிகவும் நிலையானது.
வேஃபர் சக் →
செமிகோரெக்ஸ் அல்ட்ரா-பிளாட் செராமிக் வெற்றிட வேஃபர் சக்ஸ் என்பது செதில் கையாளும் செயல்பாட்டில் அதிக தூய்மையான SiC பூசப்பட்டதாகும்.
செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் பீடஸ்டல் படகு என்பது 9N அதி-உயர் தூய்மை செதில் கேரியர் ஆகும், இது உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல் மற்றும் LPCVD செயல்முறைகளில் துல்லியமான மற்றும் நிலையான செதில் ஆதரவுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. ஒப்பிடமுடியாத பொருள் தூய்மை, துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் நிரூபிக்கப்பட்ட நம்பகத்தன்மைக்கு Semicorex ஐத் தேர்வு செய்யவும்*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் இன்ஜெக்டர் என்பது LPCVD பாலிசிலிகான் படிவு செயல்முறைகளில் துல்லியமான மற்றும் மாசு இல்லாத எரிவாயு விநியோகத்திற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு அதி-உயர் தூய்மை குழாய் கூறு ஆகும். தொழில்துறையில் முன்னணி தூய்மை, துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் நிரூபிக்கப்பட்ட நம்பகத்தன்மை ஆகியவற்றிற்கு Semicorex ஐ தேர்வு செய்யவும்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் வேஃபர் படகு என்பது செமிகண்டக்டர் உயர்-வெப்பநிலை உலைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை கேரியர் ஆகும், இது 1200-1250 °C இல் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் குறைப்பு செயல்முறைகளின் போது செதில்களை ஆதரிக்கிறது. Semicorex சிறந்த தயாரிப்புகள், அதி-சுத்தமான செயல்திறன் மற்றும் சாதன விளைச்சலை நேரடியாக மேம்படுத்தும் நம்பகமான முடிவுகளை வழங்குகிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் ஷீல்ட் ரிங் என்பது மேம்பட்ட பிளாஸ்மா பொறித்தல் அமைப்புகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கூறு ஆகும், இது ஒரு பாதுகாப்பு கவசமாகவும் துணை மின்முனையாகவும் செயல்படுகிறது. செமிகோரெக்ஸ் அதி-சுத்தமான செயல்திறன், செயல்முறை நிலைத்தன்மை மற்றும் துல்லியமான-பொறிக்கப்பட்ட குறைக்கடத்தி கூறுகளுடன் சிறந்த பொறித்தல் முடிவுகளை உறுதி செய்கிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் SiC பீங்கான் துடுப்பு என்பது செமிகண்டக்டர் உயர்-வெப்பநிலை உலைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை கான்டிலீவர் கூறு ஆகும், இது முதன்மையாக ஆக்ஸிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது, முக்கியமான செதில்-கையாளுதல் பயன்பாடுகளுக்கு விதிவிலக்கான நிலைத்தன்மை, தூய்மை மற்றும் நீடித்த தன்மையை உறுதி செய்யும் மேம்பட்ட செராமிக் தீர்வுகளுக்கான அணுகலைப் பெறுவதாகும்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் SiC பூசப்பட்ட ஹாஃப்மூன் பாகங்கள் எபிடாக்சியல் உபகரணங்களின் இன்றியமையாத கூறுகளாக வடிவமைக்கப்பட்ட துல்லிய-வடிவமைக்கப்பட்ட கூறுகளாகும், இதில் இரண்டு அரை-நிலவு வடிவ பகுதிகள் ஒன்றிணைந்து முழுமையான மைய அசெம்பிளியை உருவாக்குகின்றன. செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது, மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கான நிலையான செதில் ஆதரவையும் திறமையான வெப்பக் கடத்தலையும் உறுதிசெய்யும் நம்பகமான, உயர்-தூய்மை மற்றும் நீடித்த தீர்வுகளைப் பாதுகாப்பதாகும்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு