பரவல் குழாய்கள்

செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு டிஃப்யூஷன் டிஃப்யூப்ஸ் என்பது செமிகண்டக்டர் டிஃப்யூஷன் சிஸ்டங்களுக்குள் மைய எதிர்வினை அறையாக செயல்பட வடிவமைக்கப்பட்ட விசேஷமாக வடிவமைக்கப்பட்ட வெற்று கூறுகளாகும். ஒரு தனித்துவமான நீளமான மற்றும் குறுகலான வடிவவியலைக் கொண்டு, இந்த குழாய்கள் வெப்பச் செயலாக்கத்திற்கான நிலையான, உயர்-தூய்மை சூழலை உருவாக்க உலை வெப்பமூட்டும் கூறுகளில் நேரடியாகச் செருகப்படுகின்றன. அவற்றின் மேம்பட்ட வடிவமைப்பு வெப்பநிலை, வாயு ஓட்டம் மற்றும் செயல்முறை நிலைமைகளின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் சீரான மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய முடிவுகளை அடைவதற்கு அவசியம்.

பரவல் அமைப்புகளில் செயல்பாடு

பரவல் மற்றும் வெப்ப செயலாக்க கருவிகளில், பரவல் குழாய் எதிர்வினை சூழலை வரையறுப்பதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. வெப்ப மண்டலத்திற்குள் நிலைநிறுத்தப்பட்ட, குழாய் ஒரு கட்டுப்படுத்தப்பட்ட அறையாக செயல்படுகிறது, அங்கு செதில்கள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களுக்கு வெளிப்படும்.

சிலிக்கான் கார்பைடு பரவல் குழாய் உறுதி செய்கிறது:

எதிர்வினை மண்டலத்திற்குள் ஒரு நிலையான மற்றும் சீரான வெப்பப் புலம்

சீரான பரவல் அல்லது படிவு செயல்முறைகளுக்கு கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வாயு விநியோகம்

வெளிப்புற மாசுபாட்டிலிருந்து செயல்முறை சூழலை தனிமைப்படுத்துதல்

மீண்டும் மீண்டும் அதிக வெப்பநிலை சுழற்சிகளின் போது நம்பகமான செயல்திறன்

அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் பொருள் தூய்மை ஆகியவை செயல்முறை நிலைத்தன்மையை பராமரிப்பதற்கும் அதிக சாதன விளைச்சலை அடைவதற்கும் முக்கியமானவை.

விருப்பமான CVD (ரசாயன நீராவி படிவு) பூச்சுகள் மேற்பரப்பு தூய்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன நீடித்த தன்மையை மேலும் மேம்படுத்துவதற்கு பயன்படுத்தப்படலாம், இது மிகவும் கடுமையான செயல்முறை தேவைகளுக்கு ஏற்றதாக இருக்கும்.

3டி பிரிண்டிங்குடன் கூடிய மேம்பட்ட உற்பத்தி

செமிகோரெக்ஸ் உயர் துல்லியம் மற்றும் சிக்கலான வடிவவியலுடன் டிஃப்யூஷன் டியூப்களை உருவாக்க மேம்பட்ட 3டி பிரிண்டிங் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது. இந்த உற்பத்தி அணுகுமுறை செயல்படுத்துகிறது:

குழாய் பரிமாணங்கள் மற்றும் சுவர் தடிமன் ஆகியவற்றின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு

குறிப்பிட்ட அமைப்புகளுக்கு ஏற்றவாறு தனிப்பயன் உள் மற்றும் வெளிப்புற வடிவங்கள்

உற்பத்தி தொகுதிகள் முழுவதும் நிலையான தரம் மற்றும் மீண்டும் மீண்டும்

நிலையான மற்றும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட வடிவமைப்புகளின் திறமையான உற்பத்தி

இறுக்கமான சகிப்புத்தன்மையை அடைவதற்கான திறன் உலை அமைப்புகள் மற்றும் துல்லியமான செயல்முறை கட்டுப்பாட்டுடன் உகந்த இணக்கத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

விண்ணப்ப அடிப்படையிலான தேர்வு வழிகாட்டி

தேர்வு செய்யவும்குவார்ட்ஸ் பரவல் குழாய்கள்என்றால்:

இயக்க வெப்பநிலை மிதமானது (<1200°C)

செலவு உணர்திறன் ஒரு முதன்மை கவலை

செயல்முறைகள் நன்கு நிறுவப்பட்டவை மற்றும் குறைவான கோரிக்கை கொண்டவை

பின்வரும் சந்தர்ப்பங்களில் SiC பரவல் குழாய்களைத் தேர்ந்தெடுக்கவும்:

உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகள் தேவை (>1200°C)

வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் மகசூல் முக்கியமானது

நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் குறைக்கப்பட்ட பராமரிப்பு முன்னுரிமைகள்

மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி, SiC வேஃபர் அல்லது CVD அமைப்புகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது

செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு பரவல் குழாய்கள் குறைக்கடத்தி வெப்ப செயலாக்க அமைப்புகளுக்கு உயர் செயல்திறன் தீர்வை வழங்குகின்றன. அவற்றின் பிரத்யேக வெற்று வடிவமைப்பு, அதி-உயர் தூய்மை SiC பொருள், விருப்பமான CVD பூச்சுகள் மற்றும் மேம்பட்ட 3D உற்பத்தி திறன்கள் ஆகியவற்றுடன், அவை துல்லியமான கட்டுப்பாடு, நம்பகத்தன்மை மற்றும் ஆயுள் ஆகியவற்றை வழங்குகின்றன. இந்த குழாய்கள் நிலையான எதிர்வினை சூழல்களை பராமரிப்பதற்கும் உயர்தர குறைக்கடத்தி உற்பத்தியை உறுதி செய்வதற்கும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும்.