தொழில்முறை தயாரிப்பாளராக, நாங்கள் உங்களுக்கு செமிகண்டக்டர் கூறுகளை வழங்க விரும்புகிறோம். செமிகோரெக்ஸ் செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தை மேம்படுத்த உங்கள் பங்குதாரர். எங்களின் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள் அடர்த்தியான, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டவை, அவை குறைக்கடத்தி செதில் மற்றும் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு உட்பட, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் முழு சுழற்சியிலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
உயர்-தூய்மை SiC பூசப்பட்ட கூறுகள் குறைக்கடத்தியில் செயல்முறைகளுக்கு முக்கியமானவை. எபிடாக்ஸி அல்லது எம்ஓசிவிடிக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள் போன்ற செதில் செயலாக்க உபகரணங்களுக்கான உயர் துல்லியமான கிராஃபைட் பாகங்கள், படிக வளரும் வெப்ப மண்டலங்களுக்கான கிராஃபைட் நுகர்வுப் பொருட்கள் (ஹீட்டர்கள், க்ரூசிபிள் சஸ்செப்டர்கள், இன்சுலேஷன்) வரை எங்கள் சலுகைகள் உள்ளன.
குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கான நன்மைகள்
எபிடாக்ஸி அல்லது எம்ஓசிவிடி போன்ற மெல்லிய படல படிவு நிலைகள் அல்லது செதில் அல்லது அயன் உள்வைப்பு போன்ற செதில் கையாளுதல் செயலாக்கம் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வேண்டும். செமிகோரெக்ஸ் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கட்டுமானம் சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் நீடித்த இரசாயன எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, நிலையான எபி லேயர் தடிமன் மற்றும் எதிர்ப்பிற்கான வெப்ப சீரான தன்மையையும் வழங்குகிறது.
அறை மூடிகள் →
படிக வளர்ச்சி மற்றும் செதில் கையாளுதல் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் அறை மூடிகள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வேண்டும்.
முடிவு விளைவு →
எண்ட் எஃபெக்டர் என்பது ரோபோவின் கை ஆகும், இது செமிகண்டக்டர் செதில்களை செதில் செயலாக்க உபகரணங்கள் மற்றும் கேரியர்களின் நிலைகளுக்கு இடையில் நகர்த்துகிறது.
நுழைவாயில் வளையங்கள் →
எம்ஓசிவிடி கருவி மூலம் SiC பூசப்பட்ட வாயு நுழைவாயில் வளையம் கலவை வளர்ச்சி அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது தீவிர சூழலில் சிறந்த நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது.
ஃபோகஸ் ரிங் →
செமிகோரெக்ஸ் சப்ளைகள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட ஃபோகஸ் ரிங் RTA, RTP அல்லது கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய மிகவும் நிலையானது.
வேஃபர் சக் →
செமிகோரெக்ஸ் அல்ட்ரா-பிளாட் செராமிக் வெற்றிட வேஃபர் சக்ஸ் என்பது செதில் கையாளும் செயல்பாட்டில் அதிக தூய்மையான SiC பூசப்பட்டதாகும்.
Semicorex SiC வெப்பமூட்டும் இழை என்பது சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஹீட்டர் ஆகும், இது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் செதில் வெப்பமாக்கலுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது, அதிக தூய்மையான பொருட்கள், துல்லியமான தனிப்பயனாக்கம் மற்றும் மிகவும் தேவைப்படும் வெப்பச் செயல்முறைகளுக்கு நீண்டகால செயல்திறன் ஆகியவற்றை வழங்கும் நம்பகமான கூட்டாளரைத் தேர்ந்தெடுப்பதாகும்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு சக்ஸ்கள் ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி உபகரணங்களுக்காக சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன மேலும் அதிக துல்லியம், அதி-இலகு எடை, அதிக விறைப்பு, வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம் மற்றும் சிறந்த உடைகள் எதிர்ப்பு போன்ற பல நன்மைகள் உள்ளன.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex SiC உலை குழாய்கள் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு குழாய் ஆகும், இது மேம்பட்ட 3D அச்சிடும் தொழில்நுட்பத்தால் தயாரிக்கப்படுகிறது, இது உயர் வெப்பநிலை ஒளிமின்னழுத்த செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செமிகோரெக்ஸ் அதிநவீன SiC தீர்வுகளை சிறந்த வலிமை, ஸ்திரத்தன்மை மற்றும் உலகெங்கிலும் உள்ள சோலார் தொழிற்துறையால் நம்பகத்தன்மையுடன் வழங்குகிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex SiC துடுப்புகள் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு கான்டிலீவர் கை ஆகும், இது 1000℃ க்கும் அதிகமான உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் உலைகளில் செதில் போக்குவரத்துக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. Semicorex ஐத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது விதிவிலக்கான பொருள் தரம், துல்லியமான பொறியியல் மற்றும் முன்னணி குறைக்கடத்தி ஃபேப்களால் நம்பப்படும் நீண்ட கால நம்பகத்தன்மை ஆகியவற்றை உறுதி செய்வதாகும்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் SiC ஃபோகஸ் ரிங் என்பது பிளாஸ்மா விநியோகம் மற்றும் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் செதில் செயல்முறை சீரான தன்மையை மேம்படுத்துவதற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு ரிங் கூறு ஆகும். செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது நிலையான தரம், மேம்பட்ட பொருள் பொறியியல் மற்றும் உலகெங்கிலும் உள்ள முன்னணி குறைக்கடத்தி ஃபேப்களால் நம்பப்படும் நம்பகமான செயல்திறனை உறுதி செய்வதாகும்.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் வேஃபர் எட்ஜ் அரைக்கும் சக் என்பது உயர் தூய்மை வெள்ளை அலுமினாவிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்ட ஒரு பீங்கான் வட்டு ஆகும், இது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் செதில் விளிம்பு அரைப்பதற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுப்பது சிறந்த பொருள் தரம், துல்லியமான பொறியியல் மற்றும் நம்பகமான செயல்திறனை மிகவும் தேவைப்படும் செதில் செயலாக்க சூழல்களை ஆதரிக்கிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு