தயாரிப்புகள்

செமிகோரெக்ஸ் சிஐசி-கோடட் பிளானட்டரி சஸ்செப்டர்கள், மேம்பட்ட எம்ஓசிவிடி உபகரணங்களுக்காக சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட, அடர்த்தியான சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுடன் மூடப்பட்ட உயர்-துல்லியமான கிராஃபைட் துணைக் கூறுகளாகும். அவை சீரான வாயு ஓட்டம் மற்றும் வெப்ப விநியோகத்தை செயல்படுத்துகின்றன, இதனால் உகந்த எபிடாக்சியல் சூழலை உருவாக்க பங்களிக்கின்றன.

செமிகோரெக்ஸ் SiC செராமிக் வேஃபர் படகுகள் உயர் செயல்திறன் கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு தீர்வுகளாகும் இந்த சிறந்த நன்மைகளுக்கு நன்றி, ஆக்ஸிஜனேற்றம், பரவல் மற்றும் CVD செயல்முறைகள் போன்ற துல்லியமான உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு அவை மிகவும் பொருத்தமானவை.

செமிகோரெக்ஸ் SiC-பூசப்பட்ட வாயு திசைதிருப்பல் டிஸ்க்குகள் என்பது குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படும் இன்றியமையாத கிராஃபைட் கூறுகள் ஆகும், இது எதிர்வினை வாயு ஓட்டத்தை ஒழுங்குபடுத்துவதற்கும் எதிர்வினை அறைக்குள் சீரான வாயு விநியோகத்தை மேம்படுத்துவதற்கும் சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. செமிகோரெக்ஸைத் தேர்வுசெய்து, உயர்தர வேஃபர் எபிடாக்சியல் முடிவுகளுக்கு உகந்த வாயு திசைதிருப்பல் தீர்வுகளைத் தேர்ந்தெடுக்கவும்.

Semicorex SiC வேஃபர் கேரியர் 3D பிரிண்ட் தொழில்நுட்பத்தின் மூலம் உயர் தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் மூலம் தயாரிக்கப்படுகிறது, அதாவது குறைந்த நேரத்தில் அதிக விலைமதிப்பற்ற இயந்திர கூறுகளை அடைய முடியும். செமிகோரெக்ஸ் என்பது எங்கள் உலகளாவிய வாடிக்கையாளர்களுக்கு தகுதியான உயர்தர தயாரிப்புகளை வழங்குவதாகக் கருதப்படுகிறது.*

Semicorex CVD SiC- பூசப்பட்ட மேல் தரை வளையங்கள், அதிநவீன பிளாஸ்மா பொறித்தல் கருவிகளுக்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்ட முக்கியமான வளைய வடிவ கூறுகளாகும். செமிகண்டக்டர் உதிரிபாகங்களின் தொழில்துறை-முன்னணி சப்ளையர் என்ற வகையில், செமிகோரெக்ஸ் உயர்தர, நீண்ட கால மற்றும் அதி-சுத்தமான CVD SiC- பூசப்பட்ட மேல் தரை வளையங்களை வழங்குவதில் கவனம் செலுத்துகிறது.

செமிகோரெக்ஸ் திட CVD SiC மோதிரங்கள் உயர்-செயல்திறன் கொண்ட மோதிர வடிவ கூறுகள், முக்கியமாக மேம்பட்ட குறைக்கடத்தித் துறையில் பிளாஸ்மா பொறித்தல் கருவிகளின் எதிர்வினை அறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. Semicorex திடமான CVD SiC வளையங்கள் கடுமையான பொருள் தேர்வு மற்றும் தரக் கட்டுப்பாட்டிற்கு உட்பட்டு, இணையற்ற பொருள் தூய்மை, விதிவிலக்கான பிளாஸ்மா அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் நிலையான செயல்பாட்டு செயல்திறன் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது.