SiC வேஃபர் கேரியர்

செமிகோரெக்ஸ் SiC வேஃபர் கேரியர் என்பது தீவிர வெப்ப மற்றும் இரசாயன செயலாக்க சூழல்கள் மூலம் பல குறைக்கடத்தி செதில்களை ஆதரிக்கவும் கொண்டு செல்லவும் வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு சிறப்பு உயர்-தூய்மை சாதனமாகும். செமிகோரெக்ஸ் இந்த அடுத்த தலைமுறை செதில் படகுகளை மேம்பட்ட 3D பிரிண்டிங் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி வழங்குகிறது, இது மிகவும் தேவைப்படும் செதில் புனையமைப்பு பணிப்பாய்வுகளுக்கு இணையற்ற வடிவியல் துல்லியம் மற்றும் பொருள் தூய்மை ஆகியவற்றை உறுதி செய்கிறது.

மறுவரையறை துல்லியம்: 3D-அச்சிடப்பட்டதுஉயர்-தூய்மை SiC

செதில் கேரியர்களுக்கான பாரம்பரிய உற்பத்தி முறைகள், எந்திரம் அல்லது பல பகுதிகளிலிருந்து அசெம்பிளி போன்றவை, பெரும்பாலும் வடிவியல் சிக்கலானது மற்றும் கூட்டு ஒருமைப்பாடு ஆகியவற்றில் வரம்புகளை எதிர்கொள்கின்றன. சேர்க்கை உற்பத்தியைப் (3D பிரிண்டிங்) பயன்படுத்துவதன் மூலம், குறிப்பிடத்தக்க தொழில்நுட்ப நன்மைகளை வழங்கும் SiC வேஃபர் கேரியர்களை Semicorex உற்பத்தி செய்கிறது:

மோனோலிதிக் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு: 3D அச்சிடுதல் தடையற்ற, ஒற்றை-துண்டு கட்டமைப்பை உருவாக்க அனுமதிக்கிறது. இது பாரம்பரிய பிணைப்பு அல்லது வெல்டிங்குடன் தொடர்புடைய பலவீனமான புள்ளிகளை நீக்குகிறது, அதிக வெப்பநிலை சுழற்சிகளின் போது கட்டமைப்பு தோல்வி அல்லது துகள் உதிர்தல் அபாயத்தை கணிசமாகக் குறைக்கிறது.

சிக்கலான உள் வடிவவியல்: மேம்பட்ட 3D பிரிண்டிங், பாரம்பரிய CNC எந்திரம் மூலம் அடைய முடியாத உகந்த ஸ்லாட் வடிவமைப்புகள் மற்றும் வாயு ஓட்டம் சேனல்களை செயல்படுத்துகிறது. இது செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் செயல்முறை வாயு சீரான தன்மையை அதிகரிக்கிறது, நேரடியாக தொகுதி நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

பொருள் திறன் மற்றும் உயர் தூய்மை: எங்கள் செயல்முறை உயர்-தூய்மை SiC தூளைப் பயன்படுத்துகிறது, இதன் விளைவாக குறைந்தபட்ச சுவடு உலோக அசுத்தங்கள் கொண்ட கேரியர். உணர்திறன் பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் LPCVD (குறைந்த அழுத்த இரசாயன நீராவி படிவு) செயல்முறைகளில் குறுக்கு-மாசுபாட்டைத் தடுப்பதற்கு இது மிகவும் முக்கியமானது.

தீவிர சூழல்களில் செயல்திறன் சிறப்பானது

செமிகோரெக்ஸ் SiC வேஃபர் கேரியர்கள் குவார்ட்ஸ் மற்றும் பிற மட்பாண்டங்கள் தோல்வியடையும் இடங்களில் செழிக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. உள்ளார்ந்த பண்புகள்உயர் தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடுநவீன செமிகண்டக்டர் ஃபேப் செயல்பாடுகளுக்கு வலுவான அடித்தளத்தை வழங்குதல்:

1. உயர்ந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை

சிலிக்கான் கார்பைடு1,350°C க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையில் விதிவிலக்கான இயந்திர வலிமையை பராமரிக்கிறது. அதன் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (CTE) விரைவான வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் கட்டங்களில் கூட கேரியர் ஸ்லாட்டுகள் சரியாக சீரமைக்கப்படுவதை உறுதி செய்கிறது, இது செதில் "நடை" அல்லது கிள்ளுதல் ஆகியவற்றைத் தடுக்கிறது, இது விலையுயர்ந்த உடைப்புக்கு வழிவகுக்கும்.

2. யுனிவர்சல் கெமிக்கல் ரெசிஸ்டன்ஸ்

ஆக்கிரமிப்பு பிளாஸ்மா பொறித்தல் முதல் உயர் வெப்பநிலை அமில குளியல் வரை, எங்கள் SiC கேரியர்கள் கிட்டத்தட்ட செயலற்றவை. அவை ஃவுளூரினேட்டட் வாயுக்கள் மற்றும் செறிவூட்டப்பட்ட அமிலங்களிலிருந்து அரிப்பை எதிர்க்கின்றன, நூற்றுக்கணக்கான சுழற்சிகளில் செதில் இடங்களின் பரிமாணங்கள் மாறாமல் இருப்பதை உறுதி செய்கின்றன. இந்த நீண்ட ஆயுட்காலம் குவார்ட்ஸ் மாற்றுகளுடன் ஒப்பிடுகையில், உரிமையின் மொத்தச் செலவு (TCO) கணிசமாகக் குறைவாக உள்ளது.

3. உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன்

SiC இன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் கேரியர் முழுவதும் வெப்பம் சீராக விநியோகிக்கப்படுவதையும் செதில்களுக்கு திறமையாக மாற்றப்படுவதையும் உறுதி செய்கிறது. இது "எட்ஜ்-டு-சென்டர்" வெப்பநிலை சாய்வுகளை குறைக்கிறது, இது தொகுதி செயலாக்கத்தில் சீரான பட தடிமன் மற்றும் டோபண்ட் சுயவிவரங்களை அடைவதற்கு அவசியம்.

தொழில் பயன்பாடுகள்

செமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐசி வேஃபர் கேரியர்கள் உயர்-செயல்திறன் கொண்ட தொகுதி செயலாக்கத்திற்கான தங்கத் தரமாகும்:

பரவல் மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்ற உலைகள்: உயர் வெப்பநிலை ஊக்கமருந்துக்கு நிலையான ஆதரவை வழங்குதல்.

LPCVD / PECVD: முழு செதில் தொகுதிகளிலும் சீரான படப் படிவை உறுதி செய்தல்.

SiC Epitaxy: பரந்த-பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்தி வளர்ச்சிக்குத் தேவையான தீவிர வெப்பநிலையைத் தாங்கும்.

தானியங்கி க்ளீன்ரூம் கையாளுதல்: FAB ஆட்டோமேஷனுடன் தடையற்ற ஒருங்கிணைப்புக்கான துல்லியமான இடைமுகங்களுடன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.