செமிகோரெக்ஸ் SiC செராமிக் வேஃபர் படகுகள் உயர் செயல்திறன் கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு தீர்வுகளாகும் இந்த சிறந்த நன்மைகளுக்கு நன்றி, ஆக்ஸிஜனேற்றம், பரவல் மற்றும் CVD செயல்முறைகள் போன்ற துல்லியமான உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளுக்கு அவை மிகவும் பொருத்தமானவை.
நம்பகமான மற்றும் நீடித்த செதில் படகுகளைத் தேர்ந்தெடுப்பது, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அரிப்பு இயக்க நிலைமைகளின் போது செயல்முறை நிலைத்தன்மை மற்றும் செதில் விளைச்சலை உறுதி செய்ய முக்கியமானது. செமிகோரெக்ஸ்SiC பீங்கான்உயர் ஒருங்கிணைப்பு, உயர் நிலைத்தன்மை, உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை உள்ளிட்ட பல நன்மைகளை செயலாக்குவதன் மூலம் இந்த நோக்கத்திற்காக செதில் படகுகள் சிறந்த தேர்வாகும்.
செமிகோரெக்ஸின் தரக் கட்டுப்பாடு முடிந்துவிட்டதுSiC செராமிக் செதில் படகுகள்அவற்றின் கடுமையான மூலப்பொருள் தேர்வுடன் தொடங்குகிறது. செமிகோரெக்ஸ் SiC செராமிக் வேஃபர் படகுகள் உயர்-தூய்மை குறைக்கடத்தி-நிலை சிலிக்கான் கார்பைடு தூள் மூலம் உயர்-வெப்பநிலை சின்டரிங் மூலம் செய்யப்படுகின்றன. அவர்களின் பிரீமியம் மூலப்பொருளுக்கு நன்றி, அவர்கள் பின்வரும் விதிவிலக்கான செயல்திறனை வழங்குகிறார்கள்.
1. அதி-உயர் தூய்மை, குறைந்த உலோக மாசுபாடு.
2. அடர்த்தியான பொருள் அமைப்பு, துகள் உதிர்வதால் ஏற்படும் செதில் மாசுபாட்டைக் குறைத்தல்.
3. பிளாஸ்மா, வலுவான அமிலங்கள் மற்றும் காரங்களுக்கு எதிராக சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு.
4. அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் இயந்திர வலிமை, தேய்மானம் மற்றும் கீறல் எதிர்ப்பு.
5. சிறந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை, 1250°C இல் எந்த உருமாற்றம் அல்லது தவழும்.
6. சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு, விரைவான வெப்பநிலை மாற்றங்களிலிருந்து வெப்ப அழுத்தத்தை குறைக்கிறது.
Semicorex SiC செராமிக் வேஃபர் படகுகள் TEL, ASM மற்றும் Kokusai Electric போன்ற தொழில்துறையில் உள்ள பல முன்னணி உலை OEMகளுடன் நன்றாகப் பொருந்துகின்றன. செமிகோரெக்ஸ் எங்கள் மதிப்புமிக்க வாடிக்கையாளர்களுக்கு தனிப்பயன்-வடிவமைக்கப்பட்ட தீர்வுகளை வழங்குகிறது, செதில் படகு பரிமாணங்கள், ஸ்லாட் பிட்ச், ஸ்லாட் ஆழம், ஸ்லாட் சுயவிவரம் (V-வடிவம் அல்லது U-வடிவம்) ஆகியவற்றின் தனிப்பயனாக்கலை ஆதரிக்கிறது மற்றும் உங்கள் உபகரணங்கள் மற்றும் செயலாக்கத் தேவைகளுடன் சரியான இணக்கத்தன்மையை செயல்படுத்துவதற்கு தொடர்புடைய கோணங்களை வழங்குகிறது.
மேம்பட்ட எந்திர கருவிகள் மற்றும் முதிர்ந்த செயலாக்க தொழில்நுட்பங்களுடன், Semicorex அவர்களின் SiC செராமிக் வேஃபர் படகுகளின் பரிமாணங்களையும் சகிப்புத்தன்மையையும் கடுமையாகக் கட்டுப்படுத்த முடியும். இந்த உயர் துல்லியமான பரிமாணக் கட்டுப்பாடு, செமிகண்டக்டர் செதில்கள் செயல்பாட்டின் போது உறுதியாக நிலைநிறுத்தப்படுவதை உறுதிசெய்கிறது. துல்லியமான எந்திரத்திற்குப் பிறகு, SiC செராமிக் வேஃபர் படகுகளின் சம இடைவெளி ஸ்லாட்டுகள், ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல் மற்றும் CVD செயல்முறைகளின் போது ஒவ்வொரு செதில்களும் ஒரே மாதிரியாக வெப்பம் மற்றும் வினைபுரிவதை உறுதி செய்ய முடியும், இது செயல்முறை நிலைத்தன்மை மற்றும் குறைக்கடத்தி சிப் விளைச்சலை மேம்படுத்த பெரிதும் உதவுகிறது.