திடமான CVD SiC மோதிரங்கள்

செமிகோரெக்ஸ் திடப்பொருள்CVD SiCமோதிரங்கள் பொதுவாக பொறித்தல் கருவியின் எதிர்வினை அறைகளுக்குள் பொருத்தப்படுகின்றன, மின்னியல் சக்ஸைச் சுற்றி ஒரு செயல்முறை தடையாகவும் ஆற்றல் வழிகாட்டியாகவும் செயல்படுகின்றன. அவை செதில்களைச் சுற்றியுள்ள அறைக்குள் பிளாஸ்மாவைக் குவிக்க முடியும் மற்றும் வெளிப்புற பிளாஸ்மா பரவலைத் தடுக்கின்றன, இதனால் துல்லியமான பொறிப்பு செயல்முறைக்கு பொருத்தமான ஆற்றல் புலத்தை வழங்குகிறது. இந்த சீரான மற்றும் நிலையான ஆற்றல் புலமானது செதில் குறைபாடுகள், செயல்முறை சறுக்கல் மற்றும் செமிகண்டக்டர் சாதனம் விளைச்சல் இழப்பு போன்ற சீரற்ற ஆற்றல் விநியோகம் மற்றும் செதில் விளிம்பில் உள்ள பிளாஸ்மா சிதைவு போன்ற அபாயங்களை திறம்பட குறைக்க முடியும்.

சிறந்த பொருள் நன்மைகள்

செமிகோரெக்ஸ் திட CVD SiC மோதிரங்கள் உயர் தூய்மை CVD SiC இலிருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றன, இது செமிகண்டக்டர் பொறித்தல் சூழல்களில் அதிக தூய்மை மற்றும் அதிக அரிப்பு எதிர்ப்பிற்கான கடுமையான தேவைகளை முழுமையாக பூர்த்தி செய்ய சிறந்த பொருள் நன்மைகளை வழங்குகிறது.

1. உயர் தூய்மை

செமிகோரெக்ஸ் திட CVD SiC வளையங்களின் தூய்மை 99.9999% ஐ விட அதிகமாக இருக்கலாம், அதாவது மோதிரங்கள் உள் அசுத்தங்கள் இல்லாமல் இருக்கும். இந்த விதிவிலக்கான பொருள் தூய்மையானது, குறைக்கடத்தி செதில்கள் மற்றும் செமிகண்டக்டர் பொறித்தல் செயல்முறைகளின் போது தூய்மையற்ற வெளியேற்றத்திலிருந்து செயல்முறை அறைகளின் தேவையற்ற மாசுபாட்டை பெரிதும் தவிர்க்கிறது.

2. உயர் அரிப்பு எதிர்ப்பு

செமிகோரெக்ஸ்திடமான CVD SiC வளையங்கள்CVD SiC இன் உயர்ந்த அரிப்பு எதிர்ப்பின் காரணமாக வலுவான அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் பிளாஸ்மாவின் வெளிப்பாட்டின் போது கூட கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் செயல்திறன் நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும்.

3. நம்பகமான வெப்ப மேலாண்மை செயல்திறன்

CVD SiC ஆனது அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் குறைந்தபட்ச வெப்ப விரிவாக்க குணகம் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, இது Semicorex திடமான CVD SiC வளையங்களை வேகமான வெப்பச் சிதறலை அடையச் செய்கிறது மற்றும் செயல்பாட்டின் போது சிறந்த பரிமாண நிலைத்தன்மையைத் தக்கவைக்கிறது.

4. விதிவிலக்கான எதிர்ப்பு ஒற்றுமை

செமிகோரெக்ஸ் திட CVD SiC வளையங்கள் RRG <5% உடன் விதிவிலக்கான எதிர்ப்பு சீரான தன்மையை வழங்குகின்றன.

எதிர்ப்புத் திறன் வரம்புகள்: குறைந்த ரெஸ். (<0.02 Ω·cm), மிடில் ரெஸ். (0.2–25 Ω·cm), உயர் ரெஸ். (>100 Ω·cm).

துல்லியமான தரக் கட்டுப்பாடு

செமிகோரெக்ஸ் திட CVD SiC மோதிரங்கள் செமிகண்டக்டர் மற்றும் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறைகளின் கடுமையான துல்லியம் மற்றும் தரத் தேவைகளை முழுமையாக பூர்த்தி செய்ய கடுமையான தரநிலைகளின் கீழ் செயலாக்கப்பட்டு ஆய்வு செய்யப்படுகின்றன.

மேற்பரப்பு சிகிச்சை: பாலிஷிங் துல்லியம் Ra <0.1µm; நன்றாக அரைக்கும் துல்லியம் Ra > 0.1µm

செயலாக்க துல்லியம் ≤ 0.03 மிமீக்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது

தர ஆய்வு: சில்லுகள், கீறல்கள், விரிசல்கள், கறைகள் மற்றும் பிற குறைபாடுகள் இல்லாமல் தயாரிப்பு இருப்பதை உறுதிசெய்ய, செமிகோரெக்ஸ் திடமான CVD SiC வளையங்கள் பரிமாண அளவீடு, மின்தடை சோதனை மற்றும் காட்சி ஆய்வுக்கு உட்படுத்தப்படும்.