CVD SiC-பூசப்பட்ட மேல் தரை வளையங்கள்

CVD SiC- பூசப்பட்ட மேல் தரை வளையங்கள் பொதுவாக பிளாஸ்மா-பொறித்தல் கருவிகளில் எதிர்வினை அறையின் மேல் பகுதியில் நிறுவப்படும், செதில் மின்னியல் சக்கைச் சுற்றி இருக்கும். CVD SiC- பூசப்பட்ட மேல் தரை வளையங்கள் முழு பொறித்தல் அமைப்புக்கும் இன்றியமையாதது, இது பிளாஸ்மா தாக்குதலில் இருந்து சாதனக் கூறுகளைப் பாதுகாப்பதற்கும், உள் மின் புலத்தை சரிசெய்வதற்கும் மற்றும் சீரான பொறிப்பு முடிவுகளை உறுதிப்படுத்த பிளாஸ்மா விநியோக வரம்பைக் கட்டுப்படுத்துவதற்கும் உடல் தடையாக செயல்படும்.

பிளாஸ்மா பொறித்தல் என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் உலர் பொறித்தல் தொழில்நுட்பமாகும், இது பிளாஸ்மாவிற்கும் குறைக்கடத்திப் பொருட்களின் மேற்பரப்பிற்கும் இடையேயான உடல் மற்றும் வேதியியல் தொடர்புகளைப் பயன்படுத்தி குறிப்பிட்ட பகுதிகளைத் தேர்ந்தெடுத்து நீக்கி, துல்லியமான கட்டமைப்புகளின் செயலாக்கத்தை அடைகிறது. பிளாஸ்மா பொறித்தல் தேவைப்படும் சூழலில், உயர் ஆற்றல் பிளாஸ்மா எதிர்வினை அறைக்குள் உள்ள கூறுகளுக்கு ஆக்கிரமிப்பு அரிப்பை மற்றும் தாக்குதலை ஏற்படுத்துகிறது. நம்பகமான மற்றும் திறமையான செயல்பாட்டை உறுதிப்படுத்த, அறை கூறுகள் சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு, இயந்திர பண்புகள் மற்றும் குறைந்த மாசுபடுத்தும் பண்புகள் ஆகியவற்றைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். Semicorex CVD SiC-பூசப்பட்ட மேல் தரை வளையங்கள் இந்த கடுமையான, அதிக அரிப்பு இயக்க சூழல்களை நிவர்த்தி செய்யும் வகையில் சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.

நம்பகமான CVD SiC பூச்சு

கடுமையான செதுக்கல் நிலைகளில் சிறப்பாகச் செயல்பட, செமிகோரெக்ஸ் சிவிடி எஸ்ஐசி-பூசப்பட்ட மேல் தரை வளையங்கள் அதிக செயல்திறன் கொண்ட சிவிடி எஸ்ஐசி பூச்சுடன் மூடப்பட்டிருக்கும், இது அவற்றின் செயல்திறன் மற்றும் நீடித்த தன்மையை மேலும் மேம்படுத்துகிறது.

1. அதி உயர் தூய்மை

திSiC பூச்சுCVD செயல்முறை மூலம் புனையப்பட்டது அதி-உயர் தூய்மையுடன் கூடிய சிறந்த அடர்த்தியைக் கொண்டுள்ளது (தூய்மை 99.9999% ஐ விட அதிகமாக உள்ளது), இது செமிகோரெக்ஸ் CVD SiC- பூசப்பட்ட மேல் தரை வளையங்களை பொறித்தல் பயன்பாடுகளில் உயர் ஆற்றல் பிளாஸ்மா தாக்குதலில் இருந்து தடுக்கலாம், இதனால் மேட்ரிக்ஸில் இருந்து தூய்மையற்ற துகள்களால் ஏற்படும் மாசுபாட்டைத் தவிர்க்கலாம்.

2. மேம்படுத்தப்பட்ட அரிப்பு எதிர்ப்பு

சிவிடி செயல்முறை மூலம் புனையப்பட்ட SiC பூச்சு மேம்பட்ட அரிப்பு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, செமிகோரெக்ஸ் CVD SiC-பூசப்பட்ட மேல் தரை வளையங்கள் பிளாஸ்மாவிலிருந்து (குறிப்பாக ஹாலோஜன்கள் மற்றும் ஃப்ளோரின் போன்ற அரிக்கும் வாயுக்கள்) சவாலான அரிப்பைத் தாங்கும்.

3. மேம்படுத்தப்பட்ட இயந்திர பண்புகள்

செமிகோரெக்ஸ் CVD SiC-பூசப்பட்ட மேல் தரை வளையங்கள், CVD SiC பூச்சுகளின் மேம்பட்ட கடினத்தன்மை மற்றும் தேய்மான எதிர்ப்பின் காரணமாக, தீவிர பிளாஸ்மா குண்டுவீச்சு, இயந்திர அழுத்தம் மற்றும் சிதைவு அல்லது எலும்பு முறிவு இல்லாமல் அடிக்கடி கையாளுதல் ஆகியவற்றைத் தாங்கும்.

உயர்தர செயலாக்கம் மற்றும் தர ஆய்வு

தேவைப்படும் செமிகண்டக்டர் செதுக்குதல் நிலைமைகளுக்கு ஏற்றவாறு, செமிகோரெக்ஸ் சிவிடி எஸ்ஐசி-பூசப்பட்ட மேல் தரை வளையங்கள் துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் கடுமையான ஆய்வுக்கு உட்படுத்தப்படுகின்றன.

மேற்பரப்பு சிகிச்சை: பாலிஷிங் துல்லியம் Ra <0.1µm; நன்றாக அரைக்கும் துல்லியம் Ra > 0.1µm

செயலாக்க துல்லியம் ≤ 0.03 மிமீக்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது

தர ஆய்வு:

செமிகோரெக்ஸ் திட CVD SiC வளையங்கள் ICP-MS (இண்டக்டிவ்லி கப்பல்டு பிளாஸ்மா மாஸ் ஸ்பெக்ட்ரோமெட்ரி) பகுப்பாய்விற்கு உட்பட்டவை.Semicorex திடமான CVD SiC மோதிரங்கள் பரிமாண அளவீடு, எதிர்ப்பாற்றல் சோதனை மற்றும் காட்சி ஆய்வுக்கு உட்பட்டவை, தயாரிப்புகள் சில்லுகள், கீறல்கள், விரிசல்கள் மற்றும் பிற குறைபாடுகள் இல்லாமல் இருப்பதை உத்தரவாதம் செய்கிறது.