TaC பூசப்பட்ட கிரக தட்டு

செமிகோரெக்ஸ் TaC கோடட் பிளானட்டரி பிளேட் MOCVD உலைகளுக்குள் ஒரு முக்கிய அங்கமாக செயல்படுகிறது, அதன் மேற்பரப்பில் அமைக்கப்பட்ட பல செதில் பாக்கெட்டுகளால் வகைப்படுத்தப்படும் கிரக வடிவமைப்பை வெளிப்படுத்துகிறது. எந்தவொரு எபிடாக்சியல் லேயரின் வளர்ச்சிக் கட்டத்திலும், அடி மூலக்கூறு செதில்களை நிலைநிறுத்துவதற்கும், உயர்ந்த செயல்முறை வெப்பநிலைகளின் கீழ் அடி மூலக்கூறு இயக்கத்தைக் குறைப்பதற்கும், இந்த பாக்கெட்டுகள் குறிப்பாக செதில்களை நம்பகத்தன்மையுடன் இடமளிக்க உருவாக்கப்பட்டது. சரியான பாக்கெட் வடிவவியலானது, ஒரே மாதிரியான செதில்களை ஒரே மாதிரியான தடிமன் மற்றும் ஒரே செயல்பாட்டின் போது வளர்க்கப்படும் அனைத்து செதில்களின் அடி மூலக்கூறு குறைபாடுகளின் சீரான நிலைகளுக்கும் முக்கியமானது.

கிரகத் தட்டின் ஒரு முக்கியமான வடிவமைப்பு அம்சம், மீண்டும் ஒரு முறை, தட்டின் மேற்பரப்பில் உள்ள நுண்ணிய வாயு ஓட்டத் துளைகளின் வடிவமைக்கப்பட்ட சிதறல் ஆகும். இந்த துளைகள் கவனமாக வடிவமைக்கப்பட்டு, உலையில் உள்ள முன்னோடி வாயுக்களின் ஓட்டத்தை அளவிடுவதற்கு குறிப்பாக மூலோபாய ரீதியாக நிலைநிறுத்தப்படுகின்றன, எனவே ஒவ்வொரு செதில்களிலும் ஒரே மாதிரியான வாயு பரவல் மற்றும் படிவு கூட அடையப்படுகிறது. எந்த MOCVD செயல்முறையிலும், பட குணங்கள், தடிமன் சீரான தன்மை மற்றும் ஒட்டுமொத்த சாதனத்தின் செயல்திறன் ஆகியவற்றை தீர்மானிப்பதில் வாயு இயக்கவியலின் அம்சங்கள் முக்கியமானவை. இல் உகந்த துளை வடிவமைப்புTaC பூசப்பட்டதுபிளானட்டரி பிளேட் அனைத்து செதில்களும் ஒரே செயல்முறை நிலைமைகளை அனுபவிப்பதை உறுதி செய்கிறது, இது மகசூல் மற்றும் மறுஉற்பத்தியை மேம்படுத்துவதற்கான உகந்த வழியை வழங்குகிறது.

திTaC (டான்டலம் கார்பைடு) பூச்சுமேலும் கிரக தட்டின் செயல்திறன் மற்றும் ஆயுளை நீட்டிக்கிறது. டான்டலம் கார்பைடு மிகவும் கடினமானது, வேதியியல் ரீதியாக செயலற்றது மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்டது, இது தீவிர MOCVD சூழல்களுக்கு சிறந்த பூச்சாக அமைகிறது. எபிடாக்ஸியின் போது, ​​அணுஉலையில் உள்ள கூறுகள் அதிக வெப்பநிலை, எதிர்வினை முன்னோடி வாயுக்கள் மற்றும் பிளாஸ்மா வெளிப்பாடு ஆகியவற்றை சந்திக்கும். TaC பூச்சு அரிப்பு, ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் துகள் உருவாக்கத்திற்கு ஒரு வலுவான தடையாக செயல்படுகிறது, இதன் விளைவாக பூசப்படாத அல்லது வழக்கமாக பூசப்பட்ட தட்டைக் காட்டிலும் கிரக தட்டு ஆயுட்காலம் கணிசமாக நீட்டிக்கப்படுகிறது.

TaC கோடட் பிளானட்டரி பிளேட்டின் ஆயுட்காலம் மற்றும் ஆயுள் MOCVD அமைப்புகளுக்கு செலவு குறைந்த தேர்வாக அமைகிறது. நீடித்த TaC அடுக்கு மீண்டும் மீண்டும் வெப்ப சுழற்சி மற்றும் தீவிர செயல்முறை வாயுக்களின் வெளிப்பாட்டைத் தாங்கும், அதே நேரத்தில் நீட்டிக்கப்பட்ட காலக்கெடுவில் செயல்படும் போது கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் செயல்திறன் நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கிறது.