திட சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகசிங் ரிங்

செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிக்கேஷனில், செமிகோரெக்ஸ் சாலிட் சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகசிங் ரிங் ஒரு கேடயமாகச் செயல்படுவதன் மூலம் ஒரு முக்கியப் பங்காற்றுகிறது. அதன் நுணுக்கமாக வடிவமைக்கப்பட்ட வடிவமைப்பு துல்லியமான மற்றும் சீரான பொறிப்பை உறுதிசெய்கிறது, இதன் மூலம் சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை வெளிப்படுத்தும் மிகவும் சிக்கலான குறைக்கடத்தி கூறுகளின் உற்பத்தியை எளிதாக்குகிறது.

வெற்றிட எதிர்வினை அறைக்குள் பிளாஸ்மாவுக்கு வெளிப்படும் போது பிளாஸ்மா அரிப்புக்கு அதன் உயர்ந்த எதிர்ப்பின் காரணமாக சிலிக்கான் கார்பைடு கவனம் செலுத்தும் வளையத்திற்கான தேர்வுப் பொருளாகும். சாலிட் சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகசிங் ரிங் பாரம்பரிய சிலிக்கானை பல அம்சங்களில் விஞ்சுகிறது, அவற்றுள்:

(1) பொறித்தல் விகிதங்களைக் குறைக்கும் அதிக அடர்த்தி.

(2) உயர்ந்த பேண்ட் இடைவெளி மற்றும் சிறந்த காப்பு பண்புகள்.

(3) விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன், குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு.

(4) இயந்திர தாக்கங்களுக்கு சிறந்த எதிர்ப்புடன் இணைந்த உயர் நெகிழ்ச்சி.

(5) சிறந்த கடினத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு.

சிலிக்கான் கார்பைட்டின் கடத்துத்திறன் மற்றும் அயனி பொறிப்பிற்கு எதிர்ப்பு ஆகியவை சிலிக்கானுக்கு ஒத்ததாக இருப்பதால், சாலிட் சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகசிங் ரிங் இந்த பயன்பாட்டிற்கு சிறந்த பொருளாக அமைகிறது.

செமிகோரெக்ஸ் சாலிட் சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகசிங் ரிங் என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி துறையில் ஒரு அதிநவீன தீர்வாக உள்ளது. இது CVD SiC இன் தனித்துவமான பண்புகளை நம்பகமான, உயர் செயல்திறன் பொறித்தல் செயல்முறைகளை எளிதாக்குகிறது, குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தின் முன்னேற்றத்திற்கு கணிசமாக பங்களிக்கிறது.