SiC கோட்டுடன் CVD ஷவர் ஹெட்

உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டிலிருந்து உருவாக்கப்பட்டு, சிவிடி முறையின் மூலம் மெல்லிய SiC அடுக்கில் மூடப்பட்டிருக்கும், SiC கோட் கொண்ட CVD ஷவர் ஹெட் கிராஃபைட் மற்றும் SiC ஆகிய இரண்டின் நன்மையான பண்புக்கூறுகளை மணக்கிறது. இந்த சினெர்ஜியானது வாயுக்களின் சீரான மற்றும் துல்லியமான விநியோகத்தை உறுதி செய்வதில் சிறந்து விளங்குவது மட்டுமல்லாமல், படிவு சூழல்களில் அடிக்கடி எதிர்கொள்ளும் வெப்ப மற்றும் இரசாயன கடுமைகளுக்கு எதிராக குறிப்பிடத்தக்க பின்னடைவைக் கொண்டுள்ளது.

SiC கோட் கொண்ட CVD ஷவர் ஹெட்டின் செயல்பாட்டின் திறவுகோல், அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பு முழுவதும் முன்னோடி வாயுக்களை ஒரே மாதிரியாக சிதறடிப்பதில் அதன் திறமையாகும், இது அடி மூலக்கூறுக்கு மேலே அதன் மூலோபாய இடமாற்றம் மற்றும் சிறிய துளைகள் அல்லது முனைகளின் நுணுக்கமான வடிவமைப்பால் அடையப்படுகிறது. இந்த சீரான விநியோகம் நிலையான படிவு விளைவுகளை அடைவதற்கு முக்கியமானது.

SiC கோட் உடன் CVD ஷவர் ஹெட் ஒரு பூச்சு பொருளாக SiC ஐ தேர்வு செய்வது தன்னிச்சையானது அல்ல, ஆனால் அதன் உயர்ந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மையால் தெரிவிக்கப்படுகிறது. படிவு செயல்பாட்டின் போது வெப்ப திரட்சியைத் தணிக்கவும், அடி மூலக்கூறு முழுவதும் சீரான வெப்பநிலையை பராமரிக்கவும் இந்த பண்புகள் அவசியம், மேலும் சிவிடி செயல்முறைகளை வகைப்படுத்தும் அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் கடுமையான நிலைமைகளுக்கு எதிராக வலுவான பாதுகாப்பை வழங்குகின்றன.

மாறுபட்ட CVD அமைப்புகள் மற்றும் செயல்முறைத் தேவைகளின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, SiC கோட் கொண்ட CVD ஷவர் ஹெட்டின் வடிவமைப்பு, துல்லியமாக கணக்கிடப்பட்ட துளைகள் அல்லது ஸ்லாட்டுகளுடன் கூடிய ஒரு தட்டு அல்லது வட்டு வடிவத்தை உள்ளடக்கியது. SiC கோட்டின் வடிவமைப்புடன் கூடிய CVD ஷவர் ஹெட், சீரான வாயு விநியோகத்தை மட்டுமல்ல, படிவு செயல்முறைக்கு அவசியமான உகந்த ஓட்ட விகிதங்களையும் உறுதி செய்கிறது, இது பொருள் படிவு செயல்முறைகளில் துல்லியம் மற்றும் சீரான தன்மையைப் பின்தொடர்வதில் ஒரு லிஞ்ச்பின் என்ற கூறுகளின் பங்கை எடுத்துக்காட்டுகிறது.