CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஷவர் ஹெட்

Semicorex CVD SiC (ரசாயன நீராவி படிவு சிலிக்கான் கார்பைடு) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஷவர் ஹெட் என்பது இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் பிளாஸ்மா-மேம்படுத்தப்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு (PECVD) போன்ற பல்வேறு தொழில்துறை செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு சிறப்பு கூறு ஆகும். இந்த படிவு செயல்முறைகளின் போது ஒரு அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் முன்னோடி வாயுக்கள் அல்லது எதிர்வினை இனங்கள் வழங்குவதில் இது முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.

CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஷவர் ஹெட் உயர் தூய்மை கிராஃபைட்டால் ஆனது மற்றும் CVD முறையில் SiC மெல்லிய அடுக்குடன் பூசப்பட்டது. CVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ஷவர் ஹெட் கிராஃபைட் மற்றும் SiC இன் நன்மை பயக்கும் பண்புகளை ஒருங்கிணைக்கிறது, இது பல்வேறு படிவு செயல்முறைகளில் ஒரு முக்கிய அங்கமாக அமைகிறது, அங்கு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன சூழல்களுக்கு எதிர்ப்புடன் துல்லியமான மற்றும் சீரான வாயு விநியோகம் தேவைப்படுகிறது.

அம்சங்கள்:

இரசாயன எதிர்ப்பு

வெப்ப நிலைத்தன்மை

மென்மையான மற்றும் சீரான மேற்பரப்பு

குறைக்கப்பட்ட மாசுபாடு