சாலிட் SiC ஷவர் ஹெட்

சாலிட் SiC ஷவர் ஹெட்டின் முக்கிய அம்சங்கள்

1. முன்னோடி வாயுக்களின் சீரான விநியோகம்

சாலிட் எஸ்ஐசி ஷவர் ஹெட்டின் முதன்மை செயல்பாடு சிவிடி செயல்முறைகளின் போது அடி மூலக்கூறு முழுவதும் முன்னோடி வாயுக்களை சமமாக விநியோகிப்பதாகும். குறைக்கடத்தி செதில்களில் உருவாகும் மெல்லிய படங்களின் நிலைத்தன்மையையும் தரத்தையும் பராமரிக்க இந்த சீரான விநியோகம் அவசியம்.

2. நிலையான மற்றும் நம்பகமான தெளித்தல் விளைவுகள்

சாலிட் SiC ஷவர் ஹெட் வடிவமைப்பு ஒரு நிலையான மற்றும் நம்பகமான தெளித்தல் விளைவுக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது. உயர்தர குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு அடிப்படையான செயலாக்க முடிவுகளின் சீரான தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்கு இந்த நம்பகத்தன்மை முக்கியமானது.

CVD மொத்த SiC கூறுகளின் நன்மைகள்

CVD மொத்த SiC இன் தனித்துவமான பண்புகள் சாலிட் SiC ஷவர் ஹெட்டின் செயல்திறனுக்கு கணிசமாக பங்களிக்கின்றன. இந்த பண்புகள் அடங்கும்:

1. அதிக அடர்த்தி மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பு

CVD மொத்த SiC கூறுகள் 3.2 g/cm³ அதிக அடர்த்தியைக் கொண்டுள்ளன, இது தேய்மானம் மற்றும் இயந்திர தாக்கத்திற்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. சாலிட் SiC ஷவர் ஹெட் தேவைப்படும் செமிகண்டக்டர் சூழல்களில் தொடர்ச்சியான செயல்பாட்டின் கடுமைகளைத் தாங்கும் என்பதை இந்த நீடித்து உறுதி செய்கிறது.

2. உயர்ந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்

300 W/m-K வெப்ப கடத்துத்திறனுடன், மொத்த SiC வெப்பத்தை திறமையாக நிர்வகிக்கிறது. இந்த பண்பு தீவிர வெப்ப சுழற்சிகளுக்கு வெளிப்படும் கூறுகளுக்கு முக்கியமானது, ஏனெனில் இது அதிக வெப்பத்தைத் தடுக்கிறது மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கிறது.

3. விதிவிலக்கான இரசாயன எதிர்ப்பு

குளோரின் மற்றும் ஃவுளூரின் அடிப்படையிலான இரசாயனங்கள் போன்ற பொறிக்கப்பட்ட வாயுக்களுடன் SiC இன் குறைந்த வினைத்திறன், நீடித்த கூறு ஆயுளை உறுதி செய்கிறது. கடுமையான இரசாயன சூழல்களில் சாலிட் SiC ஷவர் ஹெட்டின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க இந்த எதிர்ப்பு முக்கியமானது.

4. தனிப்பயனாக்கக்கூடிய மின்தடை

CVD மொத்த SiC இன் எதிர்ப்பானது 10^-2 முதல் 10^4 Ω-செமீ வரம்பிற்குள் வடிவமைக்கப்படலாம். இந்த ஏற்புத்திறன் சாலிட் SiC ஷவர் ஹெட் குறிப்பிட்ட எச்சிங் மற்றும் செமிகண்டக்டர் உற்பத்தித் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய அனுமதிக்கிறது.

5. வெப்ப விரிவாக்க குணகம்

4.8 x 10^-6/°C (25-1000°C) வெப்ப விரிவாக்க குணகம் கொண்ட CVD மொத்த SiC வெப்ப அதிர்ச்சியை எதிர்க்கிறது. இந்த எதிர்ப்பானது விரைவான வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகளின் போது பரிமாண நிலைத்தன்மையை உறுதிசெய்கிறது, கூறு தோல்வியைத் தடுக்கிறது.

6. பிளாஸ்மா சூழல்களில் நீடித்து நிலைத்திருக்கும்

குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில், பிளாஸ்மா மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களின் வெளிப்பாடு தவிர்க்க முடியாதது. சி.வி.டி மொத்த SiC இன் அரிப்பு மற்றும் சிதைவுக்கு உயர்ந்த எதிர்ப்பானது மாற்று மற்றும் ஒட்டுமொத்த பராமரிப்பு செலவுகளின் அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி முழுவதும் பயன்பாடுகள்

1. இரசாயன நீராவி படிவு (CVD)

CVD செயல்முறைகளில், சாலிட் SiC ஷவர் ஹெட் சீரான வாயு விநியோகத்தை வழங்குவதன் மூலம் ஒரு முக்கிய பங்கை வகிக்கிறது, இது உயர்தர மெல்லிய படலங்கள் படிவதற்கு அவசியம். கடுமையான இரசாயன மற்றும் வெப்ப சூழல்களைத் தாங்கும் அதன் திறன் இந்தப் பயன்பாட்டில் இன்றியமையாததாக ஆக்குகிறது.

2. பொறித்தல் செயல்முறைகள்

சாலிட் SiC ஷவர் ஹெட்டின் இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவை பொறித்தல் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது. பொறித்தல் செயல்முறைகளில் பொதுவாகக் காணப்படும் ஆக்கிரமிப்பு இரசாயனங்கள் மற்றும் பிளாஸ்மா நிலைகளைக் கையாள முடியும் என்பதை அதன் நீடித்து உறுதி செய்கிறது.

3. வெப்ப மேலாண்மை

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், பயனுள்ள வெப்ப மேலாண்மை முக்கியமானது. சாலிட் SiC ஷவர் ஹெட்டின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் வெப்பத்தை திறமையாக சிதறடிக்க உதவுகிறது, செயல்பாட்டில் உள்ள கூறுகள் பாதுகாப்பான இயக்க வெப்பநிலையில் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது.

4. பிளாஸ்மா செயலாக்கம்

பிளாஸ்மா செயலாக்கத்தில், பிளாஸ்மா-தூண்டப்பட்ட சிதைவுக்கு Solid SiC ஷவர் ஹெட் எதிர்ப்பு நீண்ட கால செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. செயல்முறை நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கவும், உபகரணங்கள் செயலிழப்பதால் வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்கவும் இந்த ஆயுள் முக்கியமானது.