சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகஸ் ரிங்க்ஸ்

சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகஸ் வளையங்கள்மின்னியல் சக்கின் செதில் ஆதரவு மேற்பரப்பைச் சுற்றி வைக்கப்படும் செதுக்கல் கருவிகளின் எதிர்வினை அறையில் பொதுவாக நிறுவப்படுகின்றன. இந்த நிறுவல் ஏற்பாட்டானது செதில் விளிம்பிற்கும் மின்முனைக்கும் இடையே உள்ள உயர வேறுபாட்டை வெற்றிகரமாக நிரப்புகிறது, வினைத்திறன் அறையில் உள்ள பிளாஸ்மாவை செதில் மேற்பரப்பில் கவனம் செலுத்தி சீரான பொறிப்பை அடைகிறது மற்றும் செதில் விளிம்பில் இருந்து பிளாஸ்மா வெளிப்புறமாக பரவுவதைத் தடுக்கிறது.

உயர்தர பொறித்தல் கூறுகள் பொறித்தல் செயல்முறைக்கு நிலையான மின்சார புல சூழலை வழங்க முடியும். செமிகோரெக்ஸின் சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகஸ் மோதிரங்கள் உயர் செயல்திறனிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றனசிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்கள்இரசாயன நீராவி படிவு மூலம். எங்களின் ஃபோகஸ் ரிங்க்கள், செதில்களைச் சுற்றியுள்ள மின்புலப் பரவலைச் சரிசெய்வதற்கும், சீரற்ற மின்புலங்களால் ஏற்படும் பொறித்தல் விலகல்கள் அல்லது வெளியேற்ற நிகழ்வுகளைக் கணிசமாகக் குறைப்பதற்கும் திறன் கொண்டவை.

செமிகண்டக்டர் செதில்கள் துகள் மாசுபாட்டிற்கு எளிதில் பாதிக்கப்படுகின்றன, எனவே பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்முறைகள் அல்ட்ரா-க்ளீன் அயனி பொறித்தல் எதிர்வினை அறைகளில் மேற்கொள்ளப்பட வேண்டும். பொறிக்கும் கருவிகளின் முதன்மை அங்கமாக, சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகஸ் மோதிரங்கள் உண்மையான செயல்பாட்டில் செதில் விளிம்புடன் நேரடியாக தொடர்பு கொள்கின்றன, மேலும் அதி-உயர் தூய்மை தரநிலைகளை பூர்த்தி செய்ய வேண்டும். செமிகோரெக்ஸின் சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகஸ் வளையங்கள் அதிக தூய்மை மற்றும் குறைந்த தூய்மையற்ற உள்ளடக்கத்தின் நன்மைகளை வழங்குகின்றன, இது குறைக்கடத்தி பொறித்தல் செயல்முறைகளின் கடுமையான தூய்மை தேவைகளை துல்லியமாக பூர்த்தி செய்யும். இது செதில் குறைபாடுகளை குறைக்க பெரிதும் உதவுகிறது மற்றும் செதில் உற்பத்தி விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.

பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது, ​​ஃப்ளோரின் மற்றும் ஆக்ஸிஜன் போன்ற பொறிப்பு வாயுக்கள் எதிர்வினை அறைக்குள் அறிமுகப்படுத்தப்படுகின்றன. பொறிக்கும் கருவிகளின் இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பானது செயல்முறை வாயுக்களால் ஏற்படும் நீண்ட கால அரிப்பால் கடுமையாக சவால் செய்யப்படுகிறது. பிளாஸ்மா அரிப்புக்கு அதன் உயர்ந்த எதிர்ப்பு பண்புடன், சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகஸ் ரிங் உற்பத்திக்கு உகந்த பொருள் தேர்வாகும். அரிப்பு தொடர்பான கூறு சேதத்தின் சாத்தியத்தை குறைப்பதன் மூலம் மற்றும் அடிக்கடி மாற்றுதல் மற்றும் பராமரிப்பின் தேவையை குறைப்பதன் மூலம், சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபோகஸ் வளையங்கள் குறைக்கடத்தி செதில் உற்பத்தியின் செயல்திறனை கணிசமாக அதிகரிக்க முடியும்.