செமிகோரெக்ஸ் செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தை மேம்படுத்த உங்கள் பங்குதாரர். எங்களின் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள் அடர்த்தியான, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டவை, அவை குறைக்கடத்தி செதில் மற்றும் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிகேஷன் உட்பட, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் முழு சுழற்சியிலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
உயர்-தூய்மை SiC செராமிக் கூறுகள் குறைக்கடத்தியில் செயல்முறைகளுக்கு முக்கியமானவை. எபிடாக்ஸி அல்லது எம்ஓசிவிடிக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகு, கான்டிலீவர் துடுப்புகள், டியூப்கள் போன்ற செதில் செயலாக்க உபகரணங்களுக்கான நுகர்பொருட்களின் பாகங்கள் வரை எங்கள் சலுகைகள் உள்ளன.
குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கான நன்மைகள்
எபிடாக்ஸி அல்லது எம்ஓசிவிடி போன்ற மெல்லிய படல படிவு நிலைகள் அல்லது செதில் அல்லது அயன் உள்வைப்பு போன்ற செதில் கையாளுதல் செயலாக்கம் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வேண்டும். செமிகோரெக்ஸ் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) கட்டுமானத்தை வழங்குகிறது, சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் நீடித்த இரசாயன எதிர்ப்பு, நிலையான எபி லேயர் தடிமன் மற்றும் எதிர்ப்பிற்கான வெப்ப சீரான தன்மையையும் வழங்குகிறது.
அறை மூடிகள் →
படிக வளர்ச்சி மற்றும் செதில் கையாளுதல் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் அறை மூடிகள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வேண்டும்.
கான்டிலீவர் துடுப்பு →
கான்டிலீவர் துடுப்பு என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில், குறிப்பாக பரவல் அல்லது LPCVD உலைகளில் பரவல் மற்றும் RTP போன்ற செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும்.
செயல்முறை குழாய் →
செயல்முறை குழாய் ஒரு முக்கியமான அங்கமாகும், குறிப்பாக RTP, பரவல் போன்ற பல்வேறு குறைக்கடத்தி செயலாக்க பயன்பாடுகளில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.
வேஃபர் படகுகள் →
செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தில் வேஃபர் படகு பயன்படுத்தப்படுகிறது, உற்பத்தியின் முக்கியமான கட்டங்களில் மென்மையான செதில்கள் பாதுகாப்பாக வைக்கப்படுவதை உறுதிசெய்யும் வகையில் இது வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.
இன்லெட் ரிங்க்ஸ் →
எம்ஓசிவிடி கருவி மூலம் SiC பூசப்பட்ட வாயு நுழைவாயில் வளையம் கலவை வளர்ச்சி அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது தீவிர சூழலில் சிறந்த நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது.
ஃபோகஸ் ரிங் →
செமிகோரெக்ஸ் சப்ளைகள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட ஃபோகஸ் ரிங் RTA, RTP அல்லது கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய மிகவும் நிலையானது.
வேஃபர் சக் →
செமிகோரெக்ஸ் அல்ட்ரா-பிளாட் செராமிக் வெற்றிட வேஃபர் சக்ஸ் என்பது செதில் கையாளும் செயல்பாட்டில் அதிக தூய்மையான SiC பூசப்பட்டதாகும்.
செமிகோரெக்ஸ் அலுமினா (Al2O3), சிலிக்கான் நைட்ரைடு (Si3N4), அலுமினியம் நைட்ரைடு (AIN), சிர்கோனியா (ZrO2), கலப்பு செராமிக் போன்றவற்றிலும் பீங்கான் தயாரிப்புகளைக் கொண்டுள்ளது.
செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு படகு என்பது செமிகண்டக்டர் பரவல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்-செயல்திறன் கூறு ஆகும், இது விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன நீடித்தது. செமிகோரெக்ஸை அதன் மேம்பட்ட உற்பத்தித் திறனுக்காகத் தேர்ந்தெடுக்கவும், நம்பகமான, உயர்தர தயாரிப்புகளை வழங்குவதன் மூலம், தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி மற்றும் தொழில்துறை பயன்பாடுகளில் உகந்த செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex தரம் மற்றும் செயல்திறனுக்கு முன்னுரிமை அளிக்கிறது, ஒவ்வொரு SiC கேஸ்கெட்டும் கடுமையான தொழில் தரநிலைகளை பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்கிறது. எங்களின் அதிநவீன உற்பத்தி செயல்முறைகள், எங்கள் தயாரிப்புகள் நிலையான மற்றும் நம்பகமான முடிவுகளை வழங்குவதற்கு உத்தரவாதம் அளிக்கின்றன, மேம்பட்ட மட்பாண்டத் துறையில் Semicorex ஐ முன்னணியில் நிலைநிறுத்துகின்றன.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex SiC கிரைண்டிங் மீடியா சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டது, இது அதன் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை மற்றும் நீடித்துழைப்புக்காக கொண்டாடப்படுகிறது. பல்வேறு தொழில்துறை பயன்பாடுகளின் கடுமையான கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட, SiC கிரைண்டிங் மீடியா இணையற்ற செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட ஆயுளை வழங்குகிறது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex 6 Inch SiC படகு என்பது சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட செதில் கேரியர் ஆகும், இது ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பரவல் போன்ற உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. Semicorex விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை, சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் நம்பகமான, நீண்டகால செயல்திறனுக்கான அர்ப்பணிப்புடன் உயர்ந்த தரமான தயாரிப்புகளை வழங்குகிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் செங்குத்து சிலிக்கான் படகு என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், செமிகோரெக்ஸ், செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையின் கடுமையான தேவைகளை பூர்த்தி செய்யும் வகையில், இணையற்ற தரம் மற்றும் துல்லியத்துடன் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட செங்குத்து சிலிக்கான் படகை வழங்குகிறது.*
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex இலிருந்து Si3N4 சீல் வளையம், ஒரு விதிவிலக்கான கனிமப் பொருளான Si3N4 இலிருந்து வடிவமைக்கப்பட்ட பீங்கான் பொறியியலில் குறிப்பிடத்தக்க முன்னேற்றத்தைக் குறிக்கிறது. இந்த மட்பாண்டமானது, சின்டரிங் செயல்பாட்டின் போது சுருங்காமல் இருப்பதோடு, பரிமாண நிலைத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதன் மூலம் அதன் தனித்துவமான பண்புக்காக புகழ்பெற்றது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு