சீனா பீங்கான் உற்பத்தியாளர்கள், சப்ளையர்கள், தொழிற்சாலை

செமிகோரெக்ஸ் செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தை மேம்படுத்த உங்கள் பங்குதாரர். எங்களின் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகள் அடர்த்தியான, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டவை, அவை குறைக்கடத்தி செதில் மற்றும் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிகேஷன் உட்பட, குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் முழு சுழற்சியிலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

உயர்-தூய்மை SiC செராமிக் கூறுகள் குறைக்கடத்தியில் செயல்முறைகளுக்கு முக்கியமானவை. எபிடாக்ஸி அல்லது எம்ஓசிவிடிக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் படகு, கான்டிலீவர் துடுப்புகள், டியூப்கள் போன்ற செதில் செயலாக்க உபகரணங்களுக்கான நுகர்பொருட்களின் பாகங்கள் வரை எங்கள் சலுகைகள் உள்ளன.

குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கான நன்மைகள்

எபிடாக்ஸி அல்லது எம்ஓசிவிடி போன்ற மெல்லிய படல படிவு நிலைகள் அல்லது செதில் அல்லது அயன் உள்வைப்பு போன்ற செதில் கையாளுதல் செயலாக்கம் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வேண்டும். செமிகோரெக்ஸ் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) கட்டுமானத்தை வழங்குகிறது, சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் நீடித்த இரசாயன எதிர்ப்பு, நிலையான எபி லேயர் தடிமன் மற்றும் எதிர்ப்பிற்கான வெப்ப சீரான தன்மையையும் வழங்குகிறது.

அறை மூடிகள் →
படிக வளர்ச்சி மற்றும் செதில் கையாளுதல் செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் அறை மூடிகள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வேண்டும்.

கான்டிலீவர் துடுப்பு →
கான்டிலீவர் துடுப்பு என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், குறிப்பாக பரவல் மற்றும் RTP போன்ற செயல்முறைகளின் போது பரவல் அல்லது LPCVD உலைகளில்.

செயல்முறை குழாய் →
செயல்முறை குழாய் ஒரு முக்கியமான அங்கமாகும், குறிப்பாக RTP, பரவல் போன்ற பல்வேறு குறைக்கடத்தி செயலாக்க பயன்பாடுகளில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

வேஃபர் படகுகள் →
செமிகண்டக்டர் செயலாக்கத்தில் வேஃபர் படகு பயன்படுத்தப்படுகிறது, உற்பத்தியின் முக்கியமான கட்டங்களில் மென்மையான செதில்கள் பாதுகாப்பாக வைக்கப்படுவதை உறுதிசெய்யும் வகையில் இது வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

இன்லெட் ரிங்ஸ் →
எம்ஓசிவிடி கருவி மூலம் SiC பூசப்பட்ட வாயு நுழைவாயில் வளையம் கலவை வளர்ச்சி அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது தீவிர சூழலில் சிறந்த நிலைத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது.

ஃபோகஸ் ரிங் →
செமிகோரெக்ஸ் சப்ளைகள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட ஃபோகஸ் ரிங் RTA, RTP அல்லது கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய மிகவும் நிலையானது.

வேஃபர் சக் →
செமிகோரெக்ஸ் அல்ட்ரா-பிளாட் செராமிக் வெற்றிட வேஃபர் சக்ஸ் என்பது செதில் கையாளும் செயல்பாட்டில் அதிக தூய்மையான SiC பூசப்பட்டதாகும்.

செமிகோரெக்ஸ் அலுமினா (Al2O3), சிலிக்கான் நைட்ரைடு (Si3N4), அலுமினியம் நைட்ரைடு (AIN), சிர்கோனியா (ZrO2), கலப்பு செராமிக் போன்றவற்றிலும் பீங்கான் தயாரிப்புகளைக் கொண்டுள்ளது.