செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் செதில் படகுகள், செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில், குறிப்பாக துல்லியமான வெப்ப சிகிச்சை செயல்முறைகளில் செதில்களைப் பாதுகாப்பாகப் பிணைக்க, ஆதரவளிக்க மற்றும் மாற்றுவதற்கு இன்றியமையாத செதில் சுமந்து செல்லும் பாகங்களாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. சீனாவில் தொழில்துறையில் முன்னணி நிறுவனமான Semicorex, உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் வேஃபர் படகுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது.
செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் சிறந்த பண்புகள்செதில் படகுகள்உயர்தர மூலப்பொருட்களுக்குக் காரணம். செமிகண்டக்டர்-கிரேடு SiSiC மெட்டீரியலில் இருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, CVD SiC பூச்சுடன் மூடப்பட்டிருக்கும், சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் வேஃபர் படகுகள் பின்வரும் சிறந்த பண்புகளை வெளிப்படுத்துகின்றன.
அடி மூலக்கூறு அசுத்தம்: 100 பிபிஎம்
CVD SiC பூச்சு தூய்மையற்றது: <1 பிபிஎம்
சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் வேஃபர் படகுகள் 1250℃ உயர்-வெப்பநிலை நிலைகளில் சீராகச் செயல்படக்கூடியவை, குறைந்த சிதைவு மற்றும் க்ரீப் எதிர்ப்பை வழங்குகின்றன.
சிலிக்கான் கார்பைடுசெமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் வேஃபர் படகுகள் கீறல்கள், சிராய்ப்புகள் மற்றும் சேதங்களைத் தடுக்க அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இதனால் நீண்ட கால செயல்பாட்டின் போது சிறப்பாகச் செயல்படும் மற்றும் சேதத்தை எதிர்க்கும்.
சிலிக்கான் கார்பைடு வலுவான அமிலங்கள் மற்றும் காரங்களிலிருந்து அரிப்பை எதிர்க்கும் என்பதால், Semicorex சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் வேஃபர் படகுகள் அதிக அரிக்கும் வேலை நிலைமைகளிலும் கூட அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் செயல்பாட்டு செயல்திறனை பராமரிக்க முடியும்.
செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் வேஃபர் படகுகள் தொகுதி செதில் செயலாக்கத்திற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, அவற்றின் உகந்த கட்டமைப்பு கட்டமைப்பானது ஒவ்வொரு செதிலுக்கும் நிலையான தொகுதி செதில் ஆதரவு மற்றும் நிலையான செயல்முறை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் வேஃபர் படகுகளின் செங்குத்து அமைப்பு, செங்குத்து உலை பயன்பாடுகளை தடையின்றி பொருத்த உதவுகிறது. இந்த கட்டமைப்பின் மூலம், எமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் வேஃபர் படகுகள் அதிக வெப்பநிலை உலைக்குள் செயல்முறை வாயுக்களின் ஒரே மாதிரியான சுழற்சி மற்றும் வெப்ப ஆற்றலின் சீரான விநியோகத்தை எளிதாக்கும்.
செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் வேஃபர் படகுகள் அவற்றின் ஆதரவு இடுகைகளில் பல துல்லியமான இயந்திர ஸ்லாட் பிஞ்சுகளுடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளன. அவற்றின் சம இடைவெளி ஸ்லாட் பிஞ்சுகள் பொருத்தமான ஸ்லாட் இடைவெளியை அடைகின்றன, இது சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் வேஃபர் படகுகளை செமிகண்டக்டர் செதில்களை உறுதியாகப் பாதுகாக்க உதவுகிறது, இதன் மூலம் செதில் வெப்ப செயலாக்க முடிவுகளின் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்த உதவுகிறது.
பல சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் செயல்பாடுகளுடன், செமிகோரெக்ஸ் சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் செதில் படகுகள் ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல், அயன் பொருத்துதல் மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை அனீலிங் போன்ற குறைக்கடத்தி செதில் உற்பத்தியின் முக்கிய செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.