ICP Etch க்கான SiC Susceptor

ICP Etch க்கான SiC Susceptor இன் தனித்துவமான பண்புகளில் ஒன்று பிளாஸ்மா தாக்கத்திற்கு அவற்றின் எதிர்ப்பாகும். பிளாஸ்மா குண்டுவீச்சின் கடுமையான நிலைமைகளின் கீழ், இந்த பொறித்தல் செயல்முறைகளில் பொதுவாகக் காணப்படும் சசெப்டர் சிதைவடையாது அல்லது அரிக்கப்படுவதில்லை என்பதை இந்த எதிர்ப்பானது உறுதி செய்கிறது. இந்த ஆயுள் பொறித்தல் செயல்பாட்டின் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் குறைந்த குறைபாடுடன் சுத்தமான, நன்கு வரையறுக்கப்பட்ட பொறிப்பு வடிவங்களின் உற்பத்திக்கு பங்களிக்கிறது.

ICP Etch க்கான SiC Susceptor ஆனது வலுவான அமிலங்கள் மற்றும் காரங்களால் அரிப்பை இயல்பாகவே எதிர்க்கும், இது ICP பொறித்தல் சூழல்களில் பயன்படுத்தப்படும் பொருட்களுக்கு இன்றியமையாத சொத்து ஆகும். இந்த இரசாயன எதிர்ப்பானது ICP Etch க்கான SiC Susceptor ஆக்கிரமிப்பு இரசாயன எதிர்வினைகளுக்கு வெளிப்பட்டாலும் கூட, காலப்போக்கில் அவற்றின் இயற்பியல் மற்றும் இயந்திர பண்புகளை பராமரிப்பதை உறுதி செய்கிறது. இந்த ஆயுள் அடிக்கடி மாற்றுதல் மற்றும் பராமரிப்பின் தேவையை குறைக்கிறது, இதன் மூலம் செயல்பாட்டு செலவுகளை குறைக்கிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி ஃபேப்ரிகேஷன் வசதிகளின் நேரத்தை அதிகரிக்கிறது.

ICP Etch க்கான Semicorex SiC Susceptor ஆனது குறிப்பிட்ட பரிமாணத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யத் துல்லியமாக வடிவமைக்கப்படலாம், இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு முக்கியமான காரணியாகும், அங்கு பல்வேறு செதில் அளவுகள் மற்றும் செயலாக்க விவரக்குறிப்புகளுக்கு இடமளிக்க தனிப்பயனாக்கம் தேவைப்படுகிறது. இந்த ஏற்புத்திறன் ஏற்கனவே உள்ள உபகரணங்கள் மற்றும் செயல்முறை வரிகளுடன் சிறந்த ஒருங்கிணைப்பை அனுமதிக்கிறது, பொறித்தல் செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.