செமிகோரெக்ஸின் ICP சிலிக்கான் கார்பன் பூசப்பட்ட கிராஃபைட் என்பது செதில் கையாளுதல் மற்றும் மெல்லிய படப் படிவு செயல்முறைகளுக்கு சிறந்த தேர்வாகும். எங்கள் தயாரிப்பு சிறந்த வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு, வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் உகந்த லேமினார் வாயு ஓட்ட முறைகள் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது.
எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் வேஃபர் கேரியர்கள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வேண்டும். செமிகோரெக்ஸ் ஐசிபி சிலிக்கான் கார்பன் கோடட் கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்கள் இந்த கோரும் எபிடாக்சி உபகரணப் பயன்பாடுகளுக்காக குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. எங்கள் தயாரிப்பு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் செய்ய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, நீண்ட ஆயுள் மற்றும் உகந்த முடிவுகளை உறுதி செய்கிறது.
எங்கள் ICP சிலிக்கான் கார்பன் பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்ட வடிவத்தை அடைய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலையை உறுதி செய்கிறது. இது எந்த மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்க உதவுகிறது, செதில் சிப்பில் உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.
எங்கள் ICP சிலிக்கான் கார்பன் பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்பு கொள்ளவும்.
ICP சிலிக்கான் கார்பன் பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
ICP சிலிக்கான் கார்பன் பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டின் அம்சங்கள்
- உரிக்கப்படுவதைத் தவிர்க்கவும் மற்றும் அனைத்து மேற்பரப்பிலும் பூச்சு இருப்பதை உறுதி செய்யவும்
உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு: 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் நிலையானது
உயர் தூய்மை: உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் செய்யப்படுகிறது.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு மற்றும் நுண்ணிய துகள்கள்.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்.
- சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை அடைய
- வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலைக்கு உத்தரவாதம்
- ஏதேனும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கவும்