ICP பிளாஸ்மா பொறித்தல் தட்டு

செமிகோரெக்ஸின் ICP பிளாஸ்மா எட்ச்சிங் பிளேட், செதில் கையாளுதல் மற்றும் மெல்லிய படல படிவு செயல்முறைகளுக்கு உயர்ந்த வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. எங்கள் தயாரிப்பு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம், ஆயுள் மற்றும் நீண்ட ஆயுளை உறுதி செய்யும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. சுத்தமான மற்றும் மென்மையான மேற்பரப்புடன், எங்கள் கேரியர் பழமையான செதில்களைக் கையாளுவதற்கு ஏற்றது.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

மெல்லிய ஃபிலிம் படிவு மற்றும் செதில் கையாளுதல் என்று வரும்போது, செமிகோரெக்ஸின் ICP பிளாஸ்மா எட்ச்சிங் பிளேட்டை நம்புங்கள். எங்கள் தயாரிப்பு சிறந்த வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு, வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் உகந்த லேமினார் வாயு ஓட்ட வடிவங்களை வழங்குகிறது. சுத்தமான மற்றும் மென்மையான மேற்பரப்புடன், எங்கள் கேரியர் பழமையான செதில்களைக் கையாளுவதற்கு ஏற்றது.

எங்கள் ICP பிளாஸ்மா எட்ச்சிங் பிளேட் சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்ட வடிவத்தை அடைய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலையை உறுதி செய்கிறது. இது எந்த மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்க உதவுகிறது, செதில் சிப்பில் உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.

எங்கள் ICP பிளாஸ்மா எட்ச்சிங் பிளேட்டைப் பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.

ICP பிளாஸ்மா எட்ச்சிங் பிளேட்டின் அளவுருக்கள்

CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள்
SiC-CVD பண்புகள்
படிக அமைப்பு	FCC β கட்டம்
அடர்த்தி	g/cm ³	3.21
கடினத்தன்மை	விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை	2500
தானிய அளவு	μm	2~10
இரசாயன தூய்மை	%	99.99995
வெப்ப திறன்	ஜே கிலோ-1 கே-1	640
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	℃	2700
Felexural வலிமை	MPa (RT 4-புள்ளி)	415
யங்ஸ் மாடுலஸ்	Gpa (4pt வளைவு, 1300℃)	430
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E)	10-6K-1	4.5
வெப்ப கடத்துத்திறன்	(W/mK)	300

ICP பிளாஸ்மா எட்ச்சிங் பிளேட்டின் அம்சங்கள்

- உரிக்கப்படுவதைத் தவிர்க்கவும் மற்றும் அனைத்து மேற்பரப்பிலும் பூச்சு இருப்பதை உறுதி செய்யவும்

உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு: 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் நிலையானது

உயர் தூய்மை: உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் செய்யப்படுகிறது.

அரிப்பு எதிர்ப்பு: அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு மற்றும் நுண்ணிய துகள்கள்.

அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்.

- சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை அடைய

- வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலைக்கு உத்தரவாதம்

- ஏதேனும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கவும்

சூடான குறிச்சொற்கள்: ICP பிளாஸ்மா எட்ச்சிங் பிளேட், சீனா, உற்பத்தியாளர்கள், சப்ளையர்கள், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, மொத்தமாக, மேம்பட்ட, நீடித்தது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை