உயர்தர எபிடாக்ஸி மற்றும் எம்ஓசிவிடி செயல்முறைகளுக்கு பிஎஸ்எஸ் செயல்முறைக்கான செமிகோரெக்ஸின் ஐசிபி பிளாஸ்மா எட்ச்சிங் சிஸ்டத்தைத் தேர்வு செய்யவும். எங்கள் தயாரிப்பு இந்த செயல்முறைகளுக்காக குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, சிறந்த வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. சுத்தமான மற்றும் மென்மையான மேற்பரப்புடன், எங்கள் கேரியர் பழமையான செதில்களைக் கையாளுவதற்கு ஏற்றது.
பிஎஸ்எஸ் செயல்முறைக்கான செமிகோரெக்ஸின் ஐசிபி பிளாஸ்மா எட்ச்சிங் சிஸ்டம், செதில் கையாளுதல் மற்றும் மெல்லிய படல படிவு செயல்முறைகளுக்கு சிறந்த வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. எங்கள் சிறந்த SiC படிக பூச்சு சுத்தமான மற்றும் மென்மையான மேற்பரப்பை வழங்குகிறது, இது பழமையான செதில்களின் உகந்த கையாளுதலை உறுதி செய்கிறது.
Semicorex இல், எங்கள் வாடிக்கையாளர்களுக்கு உயர்தர, செலவு குறைந்த தயாரிப்புகளை வழங்குவதில் கவனம் செலுத்துகிறோம். PSS செயல்முறைக்கான எங்கள் ICP பிளாஸ்மா பொறித்தல் அமைப்பு ஒரு விலை நன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளுக்கு ஏற்றுமதி செய்யப்படுகிறது. நிலையான தரமான தயாரிப்புகள் மற்றும் விதிவிலக்கான வாடிக்கையாளர் சேவையை வழங்குவதன் மூலம், உங்களின் நீண்ட கால கூட்டாளியாக இருப்பதை நாங்கள் நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளோம்.
PSS செயல்முறைக்கான எங்கள் ICP பிளாஸ்மா எட்ச்சிங் சிஸ்டம் பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.
PSS செயல்முறைக்கான ICP பிளாஸ்மா பொறித்தல் அமைப்பின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
PSS செயல்முறைக்கான ICP பிளாஸ்மா பொறித்தல் அமைப்பின் அம்சங்கள்
- உரிக்கப்படுவதைத் தவிர்க்கவும் மற்றும் அனைத்து மேற்பரப்பிலும் பூச்சு இருப்பதை உறுதி செய்யவும்
உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு: 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் நிலையானது
உயர் தூய்மை: உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் செய்யப்படுகிறது.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு மற்றும் நுண்ணிய துகள்கள்.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்.
- சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை அடைய
- வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலைக்கு உத்தரவாதம்
- ஏதேனும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கவும்