ICP க்கான SIC கேரியர்

நவீன தூண்டக்கூடிய -கூப்பிள்ட் பிளாஸ்மா (ஐ.சி.பி) எட்ச் மற்றும் படிவு கருவிகளின் சமரசமற்ற கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, ஐ.சி.பிக்கான செமிகோரெக்ஸிக் - பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கேரியர் பிளாஸ்மா பின்னடைவு, வெப்ப துல்லியம் மற்றும் இயந்திர நிலைத்தன்மையின் அரிய சமநிலையை வழங்குகிறது. அதன் மையத்தில் ஒரு தனியுரிம, சிறிய -தொகுதி கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு உள்ளது, அதன் படிக நோக்குநிலை அசாதாரண அனிசோட்ரோபிக் நடத்தையை உருவாக்க இறுக்கமாகக் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது: - விமானம் வெப்ப கடத்துத்திறன் வழக்கமான ஐசோஸ்டேடிக் தரங்களை விஞ்சிவிட்டது, அதே நேரத்தில் - மூலம் -விமானப் பாதை வேண்டுமென்றே மாற்றியமைக்கப்பட்டுள்ளது - இடுப்புகளை அடக்குவதற்கு. இந்த திசை வெப்பம் - ஃப்ளோ மேனேஜ்மென்ட் 150 மிமீ முதல் 300 மிமீ முதல் 300 மிமீ வரை இறப்பதை ஒரே மாதிரியான வெப்பநிலை வளர்ப்பையும் நிலையான -மாநில சமநிலையையும் அனுபவிப்பதை உறுதி செய்கிறது, இது நேரடியாக குறுகிய விமர்சன -பரிமாண (சிடி) விநியோகங்கள் மற்றும் அதிக சாதன விளைச்சலாக மொழிபெயர்க்கப்பட்டுள்ளது.

இந்த அல்ட்ரா -ப்யூர் கிராஃபைட்டைச் சுற்றி மூடப்பட்டிருக்கும் ஒரு இணக்கமான சிலிக்கான் - கார்பைட் லேயர் உயர் -வெப்பநிலை சி.வி.டி உலையில் சிதைந்தது. எஸ்.ஐ.சி பூச்சு -2,000 ° C வரை செயலற்றது மற்றும் 0.1%க்கும் குறைவான மைக்ரோ -போரோசிட்டியைப் பெருமைப்படுத்துகிறது - அதிக அடர்த்தி கொண்ட ஐ.சி.பி வேதியியல்களில் பொதுவான ஃவுளூரின், குளோரின் மற்றும் புரோமின் தீவிரவாதிகளுக்கு எதிராக அழிக்க முடியாத கேடயத்தை உருவாக்குகிறது. CF₄/O₂, CL₂/BCL₃ மற்றும் HBR/HE பிளாஸ்மாஸ் ஆகியவற்றில் நீண்ட கால பொறையுடைமை சோதனை 0.3µmper100 மணிநேரத்திற்குக் கீழே அரிப்பு விகிதங்களை நிரூபித்துள்ளது, கேரியர் சேவை வாழ்க்கையை தொழில் விதிமுறைகளுக்கு அப்பாற்பட்டது மற்றும் தடுப்பு -பராமரிப்பு வேலையில்லா நேரத்தை வெகுவாகக் குறைக்கிறது.

பரிமாண துல்லியம் சமமாக சமரசமற்றது: முழு பாக்கெட் செய்யப்பட்ட பகுதியிலும் மேற்பரப்பு தட்டையானது ± 5µm க்குள் கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது, அதே நேரத்தில் விளிம்பில் விலக்கு அம்சங்கள் லேசர் -மைக்ரோ -ஆர்சிங்கிலிருந்து செதில் சுற்றளவைப் பாதுகாக்கவும். இறுக்கமான சகிப்புத்தன்மை, எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் அருகிலுள்ள - அடியாமண்ட் கடினத்தன்மையுடன் இணைந்து, மெக்கானிக்கல் கிளாம்பிங் மற்றும் எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் - சக் சைக்கிள் ஓட்டுதல் ஆகியவற்றின் கீழ் துகள் உருவாக்கத்தை எதிர்க்கிறது, கொலையாளி குறைபாடு மாசுபாட்டிலிருந்து துணை - 10 என்எம் முனை செயல்முறைகளைப் பாதுகாக்கிறது. அதிக சக்தி கொண்ட ஐ.சி.பி உலைகளுக்கு, கேரியரின் குறைந்த மின் எதிர்ப்பை (<40µω · மீ) விரைவான ஆர்.எஃப் தரை -விமான உறுதிப்படுத்தலை ஊக்குவிக்கிறது, உறை - மின்னழுத்த ஏற்ற இறக்கங்களைக் குறைக்கிறது, இல்லையெனில் ஒளிச்சேர்க்கை சுயவிவரங்களை அழிக்கலாம் அல்லது மைக்ரோ -மாஸ்கிங்கைத் தூண்டலாம்.

செமிகோரெக்ஸ் கேரியர்களின் ஒவ்வொரு தொகுதி விரிவான அளவீட்டு -ராமன் மேப்பிங் -கிராஃபைட் படிக சீரமைப்பை சரிபார்க்க ராமன் மேப்பிங், எஸ்.ஐ.சி அடுக்கு ஒருமைப்பாட்டை உறுதிப்படுத்த எஸ்இஎம் குறுக்கு -பிரிவு மற்றும் பிபிஎம் - நிலை தூய்மையற்ற வாசல்களை சான்றளிக்க மீதமுள்ள - வாயு பகுப்பாய்வு ஆகியவற்றிற்கு உட்பட்டுள்ளது. மைக்ரோ - லாட் உற்பத்தியை (ஒரு ரன்னுக்கு 20 க்கும் குறைவான துண்டுகள்) நாங்கள் வலியுறுத்துவதால், புள்ளிவிவர செயல்முறை கட்டுப்பாட்டு விளக்கப்படங்கள் விதிவிலக்காக இறுக்கமாக இருக்கின்றன, இது வெகுஜன -சந்தை சப்ளையர்கள் வெறுமனே பொருந்தாது என்ற செதில் -முதல் - அதிவேக இனப்பெருக்கத்திற்கு உத்தரவாதம் அளிக்க அனுமதிக்கிறது. தனிப்பயன் வடிவியல், பாக்கெட் ஆழங்கள் மற்றும் பின்புற குளிரூட்டும் சேனல்கள் மூன்று வாரங்கள் வரை முன்னணி நேரங்களுடன் கிடைக்கின்றன, முழு வன்பொருள் அடுக்குகளையும் மறுவடிவமைக்காமல் சேம்பர் ரெசிபிகளை மேம்படுத்த உபகரணங்கள் OEM கள் மற்றும் ஹை - மிக்ஸ் ஃபேப்ஸை மேம்படுத்துகின்றன.

உலக - கிளாஸ் அனிசோட்ரோபிக் கிராஃபைட்டை ஒரு ஹெர்மீடிக் எஸ்.ஐ.சி கவசத்துடன் ஒன்றிணைப்பதன் மூலம், ஐ.சி.பியின் செமிகோரெக்ஸ் எஸ்.ஐ.சி கேரியர் ஃபேப்ஸை நீண்ட காலமாக வாழ்ந்த, மாசுபடுத்தும் மற்றும் வெப்ப சீரான தளத்தை வழங்குகிறது -ஒன்று கடுமையான பிளாஸ்மா சூழல்களைத் தாங்குவது மட்டுமல்லாமல், செயல்முறை சாளர அட்சரேகை மற்றும் டை - நிலை செயல்திறனை தீவிரமாக மேம்படுத்துகிறது. சாதன உற்பத்தியாளர்கள் எப்போதும் -பக்க வரிவடிவங்கள், செங்குத்தான சுயவிவரங்கள் மற்றும் உரிமையின் குறைந்த செலவு ஆகியவற்றை நோக்கி பாடுபடுவதற்கு, ஒவ்வொரு மைக்ரான், ஒவ்வொரு செதிலையும் ஒவ்வொரு மணிநேர நேர நேர எண்ணிக்கையும் தேர்வு செய்வதற்கான கேரியராகும்.