உயர் தூய்மை SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு

செமிகோரெக்ஸ் உயர் தூய்மை SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு மூலம் உருவாக்கப்பட்டதுசிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான், பொதுவாக SiSiC. இது சிலிக்கான் ஊடுருவல் செயல்முறை மூலம் உற்பத்தி செய்யப்படும் ஒரு SiC ஆகும், இது ஒரு செயல்முறையாகும்சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான்பொருட்கள் சிறந்த வலிமை மற்றும் செயல்திறன். உயர் தூய்மையான SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு அதன் வடிவத்தால் பெயரிடப்பட்டது, இது நீண்ட துண்டு, பக்க விசிறியுடன் உள்ளது. வடிவம் உயர் வெப்பநிலை உலைகளில் கிடைமட்ட செதில் படகுகளை ஆதரிக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

இது முக்கியமாக செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் ஆக்ஸிஜனேற்றம், பரவல், RTA/RTP ஆகியவற்றில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. எனவே வளிமண்டலம் ஆக்ஸிஜன் (எதிர்வினை வாயு), நைட்ரஜன் (கவசம் வாயு) மற்றும் ஒரு சிறிய அளவு ஹைட்ரஜன் குளோரைடு. வெப்பநிலை தோராயமாக 1250 டிகிரி செல்சியஸ். எனவே இது அதிக வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற சூழல். இந்த சூழலில் ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் நிற்கக்கூடிய பகுதி தேவைப்படுகிறது.

செமிகோரெக்ஸ் உயர் தூய்மை SiC கான்டிலீவர் துடுப்பு 3D அச்சிடப்பட்டால் செய்யப்படுகிறது, எனவே இது ஒரு துண்டு மோல்டிங் ஆகும், மேலும் இது அளவு மற்றும் செயலாக்கத்திற்கான உயர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும். கான்டிலீவர் துடுப்பு 2 பாகங்களால் தயாரிக்கப்படும், உடல் மற்றும் அதன் பூச்சு, செமிகோரெக்ஸ் உடலுக்குத் தூய்மையற்ற உள்ளடக்கத்தை <300pm மற்றும் CVD SiC பூச்சுக்கு <5ppm ஆகியவற்றை வழங்க முடியும். எனவே அசுத்தங்கள் மற்றும் அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்துவதைத் தடுக்க மேற்பரப்பு அதி உயர் தூய்மை கொண்டது. அதிக வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்புடன் கூடிய பொருள், நீண்ட ஆயுட்காலம் வடிவில் இருக்க.

செமிகோரெக்ஸ் மிகவும் விலையுயர்ந்த உற்பத்தி செயல்முறையை செய்கிறது. SiC உடலைப் பொறுத்தவரை, நாங்கள் முதலில் மூலப்பொருளைத் தயாரித்து SiC தூளைக் கலந்து, பின்னர் இறுதி வடிவத்திற்கு மோல்டிங் மற்றும் எந்திரம் செய்கிறோம், அதன் பிறகு அடர்த்தி மற்றும் பல இரசாயன பண்புகளை மேம்படுத்த பகுதியை சின்டரிங் செய்வோம். முக்கிய உடல் உருவாகிறது மற்றும் நாம் பீங்கான் தன்னை ஆய்வு செய்து பரிமாண தேவையை பூர்த்தி செய்வோம். அதன் பிறகு முக்கியமான சுத்தம் செய்வோம். மேற்பரப்பில் உள்ள தூசி, எண்ணெயை அகற்றுவதற்காக, தகுதிவாய்ந்த கான்டிலீவர் துடுப்பை மீயொலி கருவியில் வைக்கவும். சுத்தம் செய்த பிறகு, உயர் தூய்மையான SiC கான்டிலீவர் துடுப்பை உலர்த்தும் அடுப்பில் வைத்து, தண்ணீர் வற்றும் வரை 80-120°C வெப்பநிலையில் 4-6 மணி நேரம் சுடவும்.

பின்னர் நாம் உடலில் CVD பூச்சு செய்யலாம். பூச்சு வெப்பநிலை 1200-1500 ℃, மற்றும் பொருத்தமான வெப்ப வளைவு தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டது. அதிக வெப்பநிலையில், சிலிக்கான் மூலமும் கார்பன் மூலமும் வேதியியல் முறையில் வினைபுரிந்து நானோ அளவிலான SiC துகள்களை உருவாக்குகின்றன. SiC துகள்கள் தொடர்ந்து மேற்பரப்பில் டெபாசிட் செய்யப்படுகின்றன

SiC இன் அடர்த்தியான மெல்லிய அடுக்கை உருவாக்கும் பகுதி. பூச்சு தடிமன் பொதுவாக 100± 20μm ஆகும். முடிந்த பிறகு, தயாரிப்புகளின் தோற்றம், தூய்மை மற்றும் பரிமாணங்கள் போன்றவற்றிற்காக தயாரிப்புகளின் இறுதி ஆய்வு ஏற்பாடு செய்யப்படும்.