SiC செயல்முறை குழாய்கள்

செமிகோரெக்ஸ் SiC செயல்முறை குழாய்கள், குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் ஆக்ஸிஜனேற்றம், பரவல், RTA/RTP ஆகியவற்றில் முக்கியமான கட்டமைப்பு கூறுகளாகும். இது பொதுவாக உலை உலை இடமாக பெரிய விட்டம் கொண்ட குழாய், அனைத்து இரசாயன செயல்முறைகளும் உள்ளே நடக்கும். எனவே வலிமை, வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு இரண்டும் தயாரிப்புக்கான அடிப்படை புள்ளிகள்.

SiC செயல்முறை குழாய்கள் உருவாக்கப்படுகின்றனசின்டர் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு, இது SiSiC, SSiC, அல்லது RSiC ஆக இருக்கலாம் மற்றும் மேற்பரப்பில் உள்ள CVD SiC பூச்சாக இருக்கலாம், இது அதி உயர் தூய்மை அடுக்கை உருவாக்கும். இது துகள்கள், சாம்பல் போன்றவற்றால் மாசுபடுவதைத் தடுக்கலாம். மேலும் பொருள் மிக அதிக வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, எனவே SiC செயல்முறை குழாய்கள் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பில் நிலையாக இருக்கும், மேலும் அதிக வெப்பநிலையில் அசுத்தங்கள் வெளியேறுவதைத் தடுக்கின்றன, இதனால் சுற்றுச்சூழலை மாசுபடுத்துகிறது.

இந்த SiC செயல்முறை குழாய்கள் வினைத்திறன் வாயு (ஆக்ஸிஜன்), கேடய வாயு (நைட்ரஜன்) மற்றும் குறைந்த அளவு ஹைட்ரஜன் குளோரைடு வாயு கொண்ட வளிமண்டலங்களில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, மேலும் 1250 ° C வரை சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பு, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் பொருள் தூய்மை ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. Semicorex SiC செயல்முறை குழாய்கள் அதிநவீன 3D-அச்சிடும் உற்பத்தியை இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) பூச்சுடன் ஒருங்கிணைத்து, மிக தீவிரமான வெப்ப மற்றும் இரசாயன நிலைமைகளின் கீழ் சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் ஆயுட்காலம் வழங்குகின்றன.

Semicorex SiC செயல்முறை குழாய்கள் ஒரு 3D பிரிண்ட் ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட மோல்டிங் செயல்முறை மூலம் தயாரிக்கப்படுகின்றன, மாறாக ஒரு வழக்கமான அச்சகம் உருவாக்கப்பட்ட அல்லது கூடியிருக்கும் குழாய். இந்த உற்பத்தி செயல்முறையானது, மூட்டுகள் மற்றும் பலவீனமான பகுதிகள் இல்லாத பீங்கான் கலவையின் தொடர்ச்சியான, சீரான கட்டமைப்பை அனுமதிக்கிறது, அதிக அளவு சிக்கலான தன்மை மற்றும் பரிமாண நம்பகத்தன்மையை உருவாக்குகிறது, இது இயந்திர வலிமையை அதிகரிக்கும் போது அழுத்த செறிவுகளைத் தணிக்கும். மேலும், மோனோலிதிக் அமைப்பு ஒரு இயற்கை எரிவாயு-இறுக்கமான முத்திரையை வழங்குகிறது, அதிக வெப்பநிலை செயல்முறைகளின் போது மாசுபாடு மற்றும் கசிவைக் குறைக்கிறது.

திSiCஉடலின் மிகக் குறைந்த தூய்மையற்ற பொருள் (< 300 ppm), சிறந்த பொருள் தூய்மை மற்றும் எதிர்வினை வளிமண்டலங்களுக்கு நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது. கூடுதலாக, குழாய் அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் மேற்பரப்பு பாதுகாப்பை மேம்படுத்துவதற்கு CVD சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு (<5 ppm) உடன் பூசப்பட்டுள்ளது.

Semicorex தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவையை வழங்குகிறது, தேவையான விவரக்குறிப்புகள் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வாடிக்கையாளர்களின் வரைபடங்களின்படி நாங்கள் தயாரிக்க முடியும். எனவே Semicorex SiC செயல்முறை குழாய்கள் கிடைமட்ட உலைக்கு மட்டும் மாற்றாக பொருத்தமானதாக இருக்கும், ஆனால் செங்குத்து உலைகள்.