ஒளிச்சேர்க்கை, பொறித்தல், மெல்லிய திரைப்பட படிவு, அயன் உள்வைப்பு, சி.எம்.பி போன்ற குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் முக்கிய செயல்முறைகளில் முக்கிய உபகரணங்களின் முக்கிய கூறுகள் துல்லியமான பீங்கான் பாகங்கள் ஆகும், அதாவது தாங்கு உருளைகள், வழிகாட்டி தண்டவாளங்கள், லைனர்கள், மின்னியல் சக்ஸ், மெக்கானிக்கல் கையாளுத......
மேலும் படிக்ககுறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் முன்-இறுதி செயல்பாட்டில் (FEOL), செதில் பல்வேறு செயல்முறை சிகிச்சைகளுக்கு உட்படுத்தப்பட வேண்டும், குறிப்பாக செதில் ஒரு குறிப்பிட்ட வெப்பநிலைக்கு வெப்பப்படுத்தப்பட வேண்டும், மேலும் கடுமையான தேவைகள் உள்ளன, ஏனெனில் வெப்பநிலையின் சீரான தன்மை தயாரிப்பு மகசூலில் மிக முக்கியமான தா......
மேலும் படிக்க