உயர் தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (sic) தூள் தொகுப்பு முறை

தற்போது, தொகுப்பு முறைகள்உயர் தூய்மை SIC தூள்ஒற்றை படிகங்களை வளர்ப்பதற்கு முக்கியமாக: சி.வி.டி முறை மற்றும் மேம்பட்ட சுய-வெளியிடும் தொகுப்பு முறை (உயர் வெப்பநிலை தொகுப்பு முறை அல்லது எரிப்பு முறை என்றும் அழைக்கப்படுகிறது). அவற்றில், எஸ்.ஐ.சி பொடியை ஒருங்கிணைப்பதற்கான சி.வி.டி முறையின் எஸ்.ஐ மூலமானது பொதுவாக சிலேன் மற்றும் சிலிக்கான் டெட்ராக்ளோரைடு போன்றவற்றை உள்ளடக்கியது, மேலும் சி மூலமானது பொதுவாக கார்பன் டெட்ராக்ளோரைடு, மீத்தேன், எத்திலீன், அசிட்டிலீன் மற்றும் புரோபேன் போன்றவற்றைப் பயன்படுத்துகிறது, அதே நேரத்தில் டைமெதில்டிக்ளோரோசிலேன் மற்றும் டெட்ராமெத்தில்சிலேன் ஆகியவை ஒரே காலத்திற்குள் மற்றும் சி மூலங்களை வழங்க முடியும்.

முந்தைய சுய-வெளியிடும் தொகுப்பு முறை என்பது வெளிப்புற வெப்ப மூலத்துடன் எதிர்வினை வெற்று பற்றவைப்பதன் மூலம் பொருட்களை ஒருங்கிணைப்பதற்கான ஒரு முறையாகும், பின்னர் பொருளின் வேதியியல் எதிர்வினை வெப்பத்தைப் பயன்படுத்தி அடுத்தடுத்த வேதியியல் எதிர்வினை செயல்முறை தன்னிச்சையாக தொடர்கிறது. இந்த முறையின் பெரும்பகுதி சிலிக்கான் பவுடர் மற்றும் கார்பன் பிளாக் ஆகியவற்றை மூலப்பொருட்களாகப் பயன்படுத்துகிறது, மேலும் பிற ஆக்டிவேட்டர்களை 1000-1150 at இல் நேரடியாக வினைபுரிந்து SIC பொடியை உருவாக்குகிறது. ஆக்டிவேட்டர்களின் அறிமுகம் தவிர்க்க முடியாமல் ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட தயாரிப்புகளின் தூய்மை மற்றும் தரத்தை பாதிக்கும். எனவே, பல ஆராய்ச்சியாளர்கள் இந்த அடிப்படையில் மேம்பட்ட சுய-வெளியிடும் தொகுப்பு முறையை முன்மொழிந்தனர். முன்னேற்றம் முக்கியமாக ஆக்டிவேட்டர்களை அறிமுகப்படுத்துவதைத் தவிர்ப்பது, மற்றும் தொகுப்பு வெப்பநிலையை அதிகரிப்பதன் மூலமும், தொடர்ந்து வெப்பத்தை வழங்குவதன் மூலமும் தொகுப்பு எதிர்வினை தொடர்ச்சியாகவும் திறமையாகவும் மேற்கொள்ளப்படுவதை உறுதி செய்வதே ஆகும்.

சிலிக்கான் கார்பைடு தொகுப்பு எதிர்வினையின் வெப்பநிலை அதிகரிக்கும் போது, ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட பொடியின் நிறம் படிப்படியாக இருட்டாகிவிடும். சாத்தியமான காரணம் என்னவென்றால், மிக அதிக வெப்பநிலை SIC சிதைந்துவிடும், மேலும் வண்ணத்தின் இருட்டல் தூளில் அதிக SI இன் ஆவியாகும் தன்மையால் ஏற்படலாம்.

கூடுதலாக, தொகுப்பு வெப்பநிலை 1920 ஆக இருக்கும்போது, ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட β-SIC படிக வடிவம் ஒப்பீட்டளவில் நல்லது. இருப்பினும், தொகுப்பு வெப்பநிலை 2000 ஐ விட அதிகமாக இருக்கும்போது, ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட உற்பத்தியில் C இன் விகிதம் கணிசமாக அதிகரிக்கிறது, இது ஒருங்கிணைந்த உற்பத்தியின் இயற்பியல் கட்டம் தொகுப்பு வெப்பநிலையால் பாதிக்கப்படுகிறது என்பதைக் குறிக்கிறது.

ஒரு குறிப்பிட்ட வெப்பநிலை வரம்பிற்குள் தொகுப்பு வெப்பநிலை அதிகரிக்கும் போது, ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட SIC பொடியின் துகள் அளவும் அதிகரிக்கிறது என்பதையும் சோதனை கண்டறிந்துள்ளது. இருப்பினும், தொகுப்பு வெப்பநிலை தொடர்ந்து உயர்ந்து ஒரு குறிப்பிட்ட வெப்பநிலை வரம்பை மீறும் போது, ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட SIC பொடியின் துகள் அளவு படிப்படியாக குறையும். தொகுப்பு வெப்பநிலை 2000 ஐ விட அதிகமாக இருக்கும்போது, ஒருங்கிணைக்கப்பட்ட SIC பொடியின் துகள் அளவு ஒரு நிலையான மதிப்புக்கு முனைகிறது.

செமிகோரெக்ஸ் சலுகைகள்உயர்தர சிலிக்கான் கார்பைடு தூள்குறைக்கடத்தி துறையில். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களுடன் தொடர்பு கொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொலைபேசி # +86-13567891907 ஐ தொடர்பு கொள்ளவும்

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com