2025-05-22
சிலிக்கான்ஒரு குறைக்கடத்தி பொருள். அசுத்தங்கள் இல்லாத நிலையில், அதன் சொந்த மின் கடத்துத்திறன் மிகவும் பலவீனமாக உள்ளது. படிகத்திற்குள் உள்ள அசுத்தங்கள் மற்றும் படிக குறைபாடுகள் அதன் மின் பண்புகளை பாதிக்கும் முக்கிய காரணிகளாகும். FZ சிலிக்கான் ஒற்றை படிகங்களின் தூய்மை மிக அதிகமாக இருப்பதால், சில மின் பண்புகளைப் பெறுவதற்கு, அதன் மின் செயல்பாட்டை மேம்படுத்த சில அசுத்தங்கள் சேர்க்கப்பட வேண்டும். பாலிசிலிகான் மூலப்பொருளில் தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம் மற்றும் வகை மற்றும் டோப் செய்யப்பட்ட ஒற்றை படிக சிலிக்கானின் மின் பண்புகள் அதன் ஊக்கமருந்து பொருட்கள் மற்றும் ஊக்கமருந்து அளவுகளை பாதிக்கும் முக்கியமான காரணிகளாகும். பின்னர், கணக்கீடு மற்றும் உண்மையான அளவீட்டு மூலம், இழுக்கும் அளவுருக்கள் சரி செய்யப்படுகின்றன, இறுதியாக உயர்தர ஒற்றை படிகங்கள் பெறப்படுகின்றன. முக்கிய ஊக்கமருந்து முறைகள்FZ சிலிக்கான் ஒற்றை படிகங்கள்கோர் ஊக்கமருந்து, தீர்வு பூச்சு ஊக்கமருந்து, நிரப்புதல் ஊக்கமருந்து, நியூட்ரான் டிரான்ஸ்முலேஷன் ஊக்கமருந்து (என்.டி.டி) மற்றும் எரிவாயு கட்ட ஊக்கமருந்து ஆகியவை அடங்கும்.
1. கோர் ஊக்கமருந்து முறை
இந்த ஊக்கமருந்து தொழில்நுட்பம் டோபண்டுகளை முழு மூலப்பொருள் தடியிலும் கலப்பதாகும். மூலப்பொருள் தடி சி.வி.டி முறையால் தயாரிக்கப்படுகிறது என்பதை நாங்கள் அறிவோம், எனவே மூலப்பொருள் தடியை உருவாக்கப் பயன்படுத்தப்படும் விதை ஏற்கனவே டோபண்டுகளைக் கொண்ட சிலிக்கான் படிகங்களைப் பயன்படுத்தலாம். சிலிக்கான் ஒற்றை படிகங்களை இழுக்கும்போது, ஏற்கனவே ஒரு பெரிய அளவிலான டோபண்டுகளைக் கொண்ட விதை படிகங்கள் உருகி பாலிகிரிஸ்டலின் கலக்கப்படுகின்றன, விதை படிகங்களுக்கு வெளியே மூடப்பட்ட அதிக தூய்மையுடன். உருகும் மண்டலத்தின் சுழற்சி மற்றும் கிளறி மூலம் அசுத்தங்கள் ஒற்றை படிக சிலிக்கானில் சமமாக கலக்கப்படலாம். இருப்பினும், இந்த வழியில் இழுக்கப்பட்ட ஒற்றை படிக சிலிக்கான் குறைந்த எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. ஆகையால், எதிர்ப்பைக் கட்டுப்படுத்த பாலிகிரிஸ்டலின் மூலப்பொருள் தடியில் டோபண்டுகளின் செறிவைக் கட்டுப்படுத்த மண்டல உருகும் சுத்திகரிப்பு தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துவது அவசியம். எடுத்துக்காட்டாக: பாலிகிரிஸ்டலின் மூலப்பொருள் தடியில் டோபண்டுகளின் செறிவைக் குறைக்க, மண்டல உருகும் சுத்திகரிப்பு எண்ணிக்கையை அதிகரிக்க வேண்டும். இந்த ஊக்கமருந்து தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி, தயாரிப்பு தடியின் அச்சு எதிர்ப்பு சீரான தன்மையைக் கட்டுப்படுத்துவது ஒப்பீட்டளவில் கடினம், எனவே இது பொதுவாக ஒரு பெரிய பிரித்தல் குணகத்துடன் போரோனுக்கு மட்டுமே பொருத்தமானது. சிலிக்கானில் போரோனின் பிரித்தல் குணகம் 0.8 ஆக இருப்பதால், ஊக்கமருந்து செயல்பாட்டின் போது பிரித்தல் விளைவு குறைவாக உள்ளது மற்றும் எதிர்ப்பைக் கட்டுப்படுத்த எளிதானது, எனவே சிலிக்கான் கோர் ஊக்கமருந்து முறை போரான் ஊக்கமருந்து செயல்முறைக்கு மிகவும் பொருத்தமானது.
2. தீர்வு பூச்சு ஊக்கமருந்து முறை
பெயர் குறிப்பிடுவது போல, ஒரு பாலிகிரிஸ்டலின் மூலப்பொருள் கம்பியில் ஊக்கமருந்து பொருட்களைக் கொண்ட ஒரு தீர்வை பூசுவதே தீர்வு பூச்சு முறை. பாலிகிரிஸ்டலின் உருகும்போது, தீர்வு ஆவியாகி, டோபண்டை உருகிய மண்டலத்தில் கலந்து, இறுதியாக அதை ஒரு சிலிக்கான் ஒற்றை படிகத்திற்குள் இழுக்கிறது. தற்போது, முக்கிய ஊக்கமருந்து தீர்வு போரோன் ட்ரொக்ஸைடு (பி 2 ஓ 3) அல்லது பாஸ்பரஸ் பென்டாக்சைடு (பி 2 ஓ 5) ஆகியவற்றின் அன்ஹைட்ரஸ் எத்தனால் கரைசலாகும். ஊக்கமருந்து செறிவு மற்றும் ஊக்கமருந்து அளவு ஆகியவை ஊக்கமருந்து வகை மற்றும் இலக்கு எதிர்ப்பின் படி கட்டுப்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த முறை பல குறைபாடுகளைக் கொண்டுள்ளது, அதாவது டோபண்டுகளை அளவுகோலாகக் கட்டுப்படுத்துவதில் சிரமம், டோபன்ட் பிரித்தல் மற்றும் மேற்பரப்பில் டோபண்டுகளின் சீரற்ற விநியோகம், இதன் விளைவாக குறைவான எதிர்ப்பு சீரான தன்மை ஏற்படுகிறது.
3. ஊக்கமருந்து முறை நிரப்புதல்
GA (K = 0.008) மற்றும் IN (K = 0.0004) போன்ற குறைந்த பிரிப்பு குணகம் மற்றும் குறைந்த ஏற்ற இறக்கம் கொண்ட டோபண்டுகளுக்கு இந்த முறை மிகவும் பொருத்தமானது. இந்த முறை மூலப்பொருள் தடியில் கூம்புக்கு அருகில் ஒரு சிறிய துளை துளைக்கவும், பின்னர் GA அல்லது துளைக்குள் செருகவும். டோபண்டின் பிரித்தல் குணகம் மிகக் குறைவாக இருப்பதால், வளர்ச்சி செயல்பாட்டின் போது உருகும் மண்டலத்தில் செறிவு அதிகமாகக் குறையும், எனவே வளர்ந்த ஒற்றை படிக சிலிக்கான் தடியின் அச்சு எதிர்ப்பு சீரான தன்மை நல்லது. இந்த டோபன்ட் கொண்ட ஒற்றை படிக சிலிக்கான் முக்கியமாக அகச்சிவப்பு கண்டுபிடிப்பாளர்களைத் தயாரிப்பதில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. எனவே, வரைதல் செயல்பாட்டின் போது, செயல்முறை கட்டுப்பாட்டு தேவைகள் மிக அதிகமாக உள்ளன. பாலிகிரிஸ்டலின் மூலப்பொருட்கள், பாதுகாப்பு வாயு, டீயோனைஸ் செய்யப்பட்ட நீர், அரிக்கும் திரவத்தை சுத்தம் செய்தல், டோபண்டுகளின் தூய்மை போன்றவை உட்பட. செயல்முறை மாசுபாட்டையும் வரைதல் செயல்பாட்டின் போது முடிந்தவரை கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும். சுருள் தீப்பொறி, சிலிக்கான் சரிவு போன்றவை ஏற்படுவதைத் தடுக்கவும்.
4. நியூட்ரான் டிரான்ஸ்யூஷன் ஊக்கமருந்து (என்.டி.டி) முறை
நியூட்ரான் உருமாற்றம் ஊக்கமருந்து (சுருக்கமாக என்.டி.டி). நியூட்ரான் கதிர்வீச்சு ஊக்கமருந்து (என்.டி.டி) தொழில்நுட்பத்தின் பயன்பாடு என்-வகை ஒற்றை படிகங்களில் சீரற்ற எதிர்ப்பின் சிக்கலை தீர்க்க முடியும். இயற்கை சிலிக்கான் ஐசோடோப் 30 எஸ்ஐயின் 3.1% உள்ளது. இந்த ஐசோடோப்புகள் 30 எஸ்ஐ வெப்ப நியூட்ரான்களை உறிஞ்சி எலக்ட்ரானை வெளியிட்ட பிறகு 31p ஆக மாற்றலாம்.
நியூட்ரான்களின் இயக்க ஆற்றலால் மேற்கொள்ளப்படும் அணுசக்தி எதிர்வினை மூலம், 31 எஸ்ஐ/31 பி அணுக்கள் அசல் லட்டு நிலையிலிருந்து ஒரு சிறிய தூரத்தை விலக்குகின்றன, இதனால் லட்டு குறைபாடுகள் ஏற்படுகின்றன. 31 பி அணுக்களில் பெரும்பாலானவை இடைநிலை தளங்களுடன் மட்டுப்படுத்தப்பட்டுள்ளன, அங்கு 31p அணுக்களில் மின்னணு செயல்படுத்தும் ஆற்றல் இல்லை. இருப்பினும், படிக தடியை சுமார் 800 bean இல் அனீ செய்வது பாஸ்பரஸ் அணுக்களை அவற்றின் அசல் லட்டு நிலைகளுக்குத் திரும்பச் செய்யலாம். பெரும்பாலான நியூட்ரான்கள் சிலிக்கான் லட்டு வழியாக முழுவதுமாக கடந்து செல்ல முடியும் என்பதால், ஒவ்வொரு Si அணுவும் ஒரு நியூட்ரானைக் கைப்பற்றி பாஸ்பரஸ் அணுவாக மாற்றுவதற்கான அதே நிகழ்தகவைக் கொண்டுள்ளன. எனவே, 31 சி அணுக்களை படிக கம்பியில் சமமாக விநியோகிக்க முடியும்.
5. வாயு கட்ட ஊக்கமருந்து முறை
இந்த ஊக்கமருந்து தொழில்நுட்பம் ஆவியாகும் PH3 (N- வகை) அல்லது B2H6 (P- வகை) வாயுவை நேரடியாக உருகும் மண்டலத்திற்குள் ஊதுவதாகும். இது மிகவும் பொதுவாக பயன்படுத்தப்படும் ஊக்கமருந்து முறை. பயன்படுத்தப்படும் ஊக்கமருந்து வாயு உருகும் மண்டலத்தில் அறிமுகப்படுத்தப்படுவதற்கு முன்பு AR வாயுவுடன் நீர்த்தப்பட வேண்டும். எரிவாயு நிரப்புதலின் அளவைக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலமும், உருகும் மண்டலத்தில் பாஸ்பரஸின் ஆவியாதலை புறக்கணிப்பதன் மூலமும், உருகும் மண்டலத்தில் உள்ள ஊக்கமருந்து அளவை உறுதிப்படுத்த முடியும், மேலும் மண்டல உருகும் ஒற்றை படிக சிலிக்கானின் எதிர்ப்பை நிலையான முறையில் கட்டுப்படுத்த முடியும். இருப்பினும், மண்டலத்தின் பெரிய அளவு உருகும் உலை மற்றும் பாதுகாப்பு வாயுவின் உயர் உள்ளடக்கம் காரணமாக, முன் ஊக்கமருந்து தேவைப்படுகிறது. உலையில் ஊக்கமருந்து வாயுவின் செறிவு விரைவில் அமைக்கப்பட்ட மதிப்பை அடைகிறது, பின்னர் ஒற்றை படிக சிலிக்கானின் எதிர்ப்பைக் கட்டுப்படுத்தவும்.
செமிகோரெக்ஸ் உயர்தரத்தை வழங்குகிறதுஒற்றை படிக சிலிக்கான் தயாரிப்புகள்குறைக்கடத்தி துறையில். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களுடன் தொடர்பு கொள்ள தயங்க வேண்டாம்.
தொலைபேசி # +86-13567891907 ஐ தொடர்பு கொள்ளவும்
மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com