2025-05-13
திஎரிவாயு விநியோக தட்டு, பெரும்பாலும் "ஷவர்ஹெட்" என்று குறிப்பிடப்படுகிறது, இது ஒரு வழக்கமான ஷவர்ஹெட் ஒத்திருக்கலாம், ஆனால் அதன் விலை நூறாயிரக்கணக்கானவர்களை எட்டக்கூடும், இது ஒரு பொதுவான குளியலறை மழையை விட கணிசமாக அதிகமாகும்.
எரிவாயு விநியோகத் தட்டின் மேற்பரப்பு நூற்றுக்கணக்கான அல்லது ஆயிரக்கணக்கான சிறிய, துல்லியமாக அமைக்கப்பட்ட துளைகளைக் கொண்டுள்ளது, இது இறுதியாக நெய்த நரம்பியல் வலையமைப்பை ஒத்திருக்கிறது. இந்த வடிவமைப்பு எரிவாயு ஓட்டம் மற்றும் ஊசி கோணங்களை துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்த அனுமதிக்கிறது, மேலும் செதில் செயலாக்கப் பகுதியின் ஒவ்வொரு பகுதியும் செயல்முறை வாயுவில் சமமாக "குளிக்க" இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. இது உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்துவதோடு மட்டுமல்லாமல் தயாரிப்பு தரத்தையும் மேம்படுத்துகிறது.
எரிவாயு விநியோக தட்டு சுத்தம் செய்தல், பொறித்தல் மற்றும் படிவு போன்ற முக்கிய செயல்முறைகளுக்கு ஒருங்கிணைந்ததாகும். இது குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளின் துல்லியத்தையும் இறுதி தயாரிப்புகளின் தரத்தையும் நேரடியாக பாதிக்கிறது, இது பல்வேறு எரிவாயு விநியோக பயன்பாடுகளில் ஒரு முக்கிய அங்கமாக அமைகிறது.
செதில் எதிர்வினை செயல்பாட்டின் போது, மேற்பரப்புஷவர்ஹெட்மைக்ரோபோர்களால் அடர்த்தியானது (துளை 0.2-6 மிமீ). துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட சேனல் கட்டமைப்பு மற்றும் வாயு பாதை மூலம், சிறப்பு செயல்முறை வாயு சீரான வாயு தட்டில் ஆயிரக்கணக்கான சிறிய துளைகளை கடந்து செல்ல வேண்டும், பின்னர் செதில் மேற்பரப்பில் சமமாக டெபாசிட் செய்யப்பட வேண்டும். செதிலின் வெவ்வேறு பகுதிகளில் உள்ள திரைப்பட அடுக்கு அதிக சீரான தன்மையையும் நிலைத்தன்மையையும் உறுதிப்படுத்த வேண்டும். ஆகையால், தூய்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பிற்கான மிக உயர்ந்த தேவைகளுக்கு மேலதிகமாக, எரிவாயு விநியோகத் தகடு வாயு விநியோக தட்டில் உள்ள சிறிய துளைகளின் துளை மற்றும் சிறிய துளைகளின் உள் சுவரில் உள்ள பர்ஸின் நிலைத்தன்மையில் கடுமையான தேவைகளைக் கொண்டுள்ளது. துளை அளவு சகிப்புத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையின் நிலையான விலகல் மிகப் பெரியதாக இருந்தால் அல்லது எந்த உள் சுவரிலும் பர்ஸ் இருந்தால், டெபாசிட் செய்யப்பட்ட திரைப்பட அடுக்கின் தடிமன் வேறுபட்டதாக இருக்கும், இது சாதனங்களின் செயல்முறை விளைச்சலை நேரடியாக பாதிக்கும்.
எரிவாயு விநியோகத் தட்டின் பொருள் சில நேரங்களில் உடையக்கூடிய பொருள் (ஒற்றை படிக சிலிக்கான், குவார்ட்ஸ் கண்ணாடி, மட்பாண்டங்கள் போன்றவை), இது வெளிப்புற சக்தியின் செயல்பாட்டின் கீழ் உடைக்க எளிதானது. இது மைக்ரோபோரின் விட்டம் 50 மடங்குக்குள் அதி ஆழமான துளை ஆகும், மேலும் வெட்டும் சூழ்நிலையை நேரடியாகக் கவனிக்க முடியாது. கூடுதலாக, வெட்டு வெப்பம் கடத்துவது எளிதல்ல மற்றும் சிப் அகற்றுவது கடினம், மேலும் சிப் அடைப்பு காரணமாக துரப்பணி பிட் எளிதில் உடைக்கப்படுகிறது. எனவே, அதன் செயலாக்கம் மற்றும் தயாரிப்பு மிகவும் கடினம்.
கூடுதலாக, பிளாஸ்மா-உதவி செயல்முறைகளில் (பி.இ.சி.வி.டி மற்றும் உலர் பொறித்தல் போன்றவை), ஷவர் தலை, மின்முனையின் ஒரு பகுதியாக, பிளாஸ்மாவின் சீரான விநியோகத்தை ஊக்குவிக்க ஒரு ஆர்.எஃப் மின்சாரம் மூலம் ஒரு சீரான மின்சார புலத்தை உருவாக்க வேண்டும், இதன் மூலம் பொறித்தல் அல்லது படிவு ஆகியவற்றின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.
குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்கள் அதிக வெப்பநிலை, உயர் அழுத்தம் அல்லது அரிக்கும் தன்மையாக இருக்கலாம் என்பதால், ஷவர்ஹெட் பொதுவாக அரிப்பு-எதிர்ப்பு பொருட்களால் ஆனது. உண்மையான உற்பத்தியில், வெவ்வேறு பயன்பாட்டு காட்சிகள் மற்றும் உண்மையான தேவையான துல்லியம் காரணமாக, எரிவாயு விநியோகத் தகடு அதன் பொருள் அமைப்பின் படி பின்வரும் இரண்டு வகைகளாக பிரிக்கப்படலாம்:
(1) உலோக வாயு விநியோக தட்டு
உலோக வாயு விநியோக தகடுகளின் பொருட்களில் அலுமினிய அலாய், எஃகு மற்றும் நிக்கல் மெட்டல் ஆகியவை அடங்கும், அவற்றில் மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் உலோக வாயு விநியோக தட்டு பொருள் அலுமினிய அலாய் ஆகும், ஏனெனில் இது நல்ல வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. இது பரவலாகக் கிடைக்கிறது மற்றும் செயலாக்க எளிதானது.
(2) உலோகமற்ற எரிவாயு விநியோக தட்டு
உலோகமற்ற எரிவாயு விநியோக தகடுகளின் பொருட்களில் ஒற்றை படிக சிலிக்கான், குவார்ட்ஸ் கண்ணாடி மற்றும் பீங்கான் பொருட்கள் ஆகியவை அடங்கும். அவற்றில், பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் பீங்கான் பொருட்கள் சி.வி.டி-எஸ்.ஐ.சி, அலுமினா மட்பாண்டங்கள், சிலிக்கான் நைட்ரைடு மட்பாண்டங்கள் போன்றவை.
செமிகோரெக்ஸ் உயர்தரத்தை வழங்குகிறதுசி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி ஷவர்ஹெட்ஸ்குறைக்கடத்தி துறையில். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களுடன் தொடர்பு கொள்ள தயங்க வேண்டாம்.
தொலைபேசி # +86-13567891907 ஐ தொடர்பு கொள்ளவும்
மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com