குறைக்கடத்தியில் துல்லியமான பீங்கான் கூறுகள்

துல்லியமான பீங்கான்ஒளிச்சேர்க்கை, பொறித்தல், மெல்லிய திரைப்பட படிவு, அயன் உள்வைப்பு, சி.எம்.பி போன்ற குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் முக்கிய செயல்முறைகளில் முக்கிய கருவிகளின் முக்கிய கூறுகள் பாகங்கள் உள்ளன, அதாவது தாங்கு உருளைகள், வழிகாட்டி தண்டவாளங்கள், லைனர்கள், எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்ஸ், மெக்கானிக்கல் கையாளுதல் ஆயுதங்கள் போன்றவை.

உயர்நிலை லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களில், உயர் செயல்முறை துல்லியத்தை அடைவதற்கு, நல்ல செயல்பாட்டு சிக்கலானது, கட்டமைப்பு நிலைத்தன்மை, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் பரிமாண துல்லியம் போன்ற பீங்கான் கூறுகளை பரவலாகப் பயன்படுத்துவது அவசியம்மின்னியல் சக், வெற்றிட-சக்.

1. மின்னியல் சக்

எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் என்பது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் வேஃபர் கிளம்பிங் மற்றும் குறைக்கடத்தி கூறு உற்பத்தியில் பரிமாற்ற கருவியாகும். இது பிளாஸ்மா மற்றும் வெற்றிட அடிப்படையிலான குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளான பொறித்தல், வேதியியல் நீராவி படிவு மற்றும் அயன் பொருத்துதல் போன்றவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. முக்கிய பீங்கான் பொருட்கள் அலுமினா மட்பாண்டங்கள் மற்றும் சிலிக்கான் நைட்ரைடு மட்பாண்டங்கள். உற்பத்தி சிரமங்கள் சிக்கலான கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு, மூலப்பொருள் தேர்வு மற்றும் சின்தேரிங், வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு மற்றும் உயர் துல்லியமான செயலாக்க தொழில்நுட்பம் ஆகும்.

2. மொபைல் தளம்

லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் மொபைல் தளத்தின் பொருள் அமைப்பு வடிவமைப்பு லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் அதிக துல்லியத்திற்கும் அதிவேகத்திற்கும் முக்கியமாகும். ஸ்கேனிங் செயல்பாட்டின் போது அதிவேக இயக்கம் காரணமாக மொபைல் தளத்தின் சிதைவை திறம்பட எதிர்ப்பதற்கு, மேடையில் பொருள் அதிக குறிப்பிட்ட விறைப்பு கொண்ட குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கப் பொருட்களைக் கொண்டிருக்க வேண்டும், அதாவது, அத்தகைய பொருட்களுக்கு அதிக மாடுலஸ் மற்றும் குறைந்த அடர்த்தி தேவைகள் இருக்க வேண்டும். கூடுதலாக, பொருளுக்கு அதிக குறிப்பிட்ட விறைப்பு தேவைப்படுகிறது, இது முழு தளத்தையும் அதே விலகல் அளவைப் பராமரிக்க உதவுகிறது, அதே நேரத்தில் அதிக முடுக்கம் மற்றும் வேகத்தைத் தாங்குகிறது. விலகலை அதிகரிக்காமல் முகமூடிகளை அதிக வேகத்தில் மாற்றுவதன் மூலம், செயல்திறன் அதிகரிக்கப்படுகிறது, மேலும் அதிக துல்லியத்தை உறுதி செய்யும் போது வேலை திறன் மேம்படுத்தப்படுகிறது.

முன்னரே தீர்மானிக்கப்பட்ட சிப் செயல்பாட்டை அடைய சிப் சர்க்யூட் வரைபடத்தை முகமூடியிலிருந்து செதிலுக்கு மாற்றுவதற்காக, பொறித்தல் செயல்முறை ஒரு முக்கிய பகுதியாகும். பொறித்தல் கருவிகளில் பீங்கான் பொருட்களால் செய்யப்பட்ட கூறுகளில் முக்கியமாக அறை, சாளர கண்ணாடி, வாயு சிதறல் தட்டு, முனை, காப்பு வளையம், கவர் தட்டு, கவனம் செலுத்தும் வளையம் மற்றும் எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக் ஆகியவை அடங்கும்.

3. அறை

குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் குறைந்தபட்ச அம்ச அளவு தொடர்ந்து சுருங்கி வருவதால், செதில் குறைபாடுகளுக்கான தேவைகள் மிகவும் கடுமையானதாகிவிட்டன. உலோக அசுத்தங்கள் மற்றும் துகள்களால் மாசுபடுவதைத் தவிர்ப்பதற்காக, குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள் துவாரங்கள் மற்றும் குழிகளில் உள்ள கூறுகளின் பொருட்களுக்கு மிகவும் கடுமையான தேவைகள் முன்வைக்கப்பட்டுள்ளன. தற்போது, பீங்கான் பொருட்கள் இயந்திர துவாரங்களை பொறிப்பதற்கான முக்கிய பொருட்களாக மாறியுள்ளன.

பொருள் தேவைகள் (1) உயர் தூய்மை மற்றும் குறைந்த உலோக தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம்; (2) முக்கிய கூறுகளின் நிலையான வேதியியல் பண்புகள், குறிப்பாக ஆலசன் அரிக்கும் வாயுக்களுடன் குறைந்த வேதியியல் எதிர்வினை வீதம்; (3) அதிக அடர்த்தி மற்றும் சில திறந்த துளைகள்; (4) சிறிய தானியங்கள் மற்றும் குறைந்த தானிய எல்லை கட்ட உள்ளடக்கம்; (5) சிறந்த இயந்திர பண்புகள் மற்றும் எளிதான உற்பத்தி மற்றும் செயலாக்கம்; (6) சில கூறுகள் நல்ல மின்கடத்தா பண்புகள், மின் கடத்துத்திறன் அல்லது வெப்ப கடத்துத்திறன் போன்ற பிற செயல்திறன் தேவைகளைக் கொண்டிருக்கலாம்.

4. ஷவர் தலை

துல்லியமாக நெய்த நரம்பியல் நெட்வொர்க் போன்ற துளைகள் வழியாக நூற்றுக்கணக்கான அல்லது ஆயிரக்கணக்கான சிறியவற்றுடன் அதன் மேற்பரப்பு அடர்த்தியாக விநியோகிக்கப்படுகிறது, இது வாயு ஓட்டம் மற்றும் ஊசி கோணத்தை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த முடியும், ஒவ்வொரு அங்குல செதில் செயலாக்கத்தின் ஒவ்வொரு அங்குலமும் செயல்முறை வாயுவில் சமமாக "குளிக்கப்படுகிறது", உற்பத்தி திறன் மற்றும் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.

தொழில்நுட்ப சிக்கல்கள் தூய்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பிற்கான மிக உயர்ந்த தேவைகளுக்கு மேலதிகமாக, எரிவாயு விநியோகத் தகடு வாயு விநியோகத் தட்டில் உள்ள சிறிய துளைகளின் துளை மற்றும் சிறிய துளைகளின் உள் சுவரில் உள்ள பர்ஸின் நிலைத்தன்மையில் கடுமையான தேவைகளைக் கொண்டுள்ளது. துளை அளவு சகிப்புத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையின் நிலையான விலகல் மிகப் பெரியதாக இருந்தால் அல்லது எந்த உள் சுவரிலும் பர்ஸ் இருந்தால், டெபாசிட் செய்யப்பட்ட திரைப்பட அடுக்கின் தடிமன் வேறுபட்டதாக இருக்கும், இது உபகரணங்கள் செயல்முறை விளைச்சலை நேரடியாக பாதிக்கும்.

5. கவனம் வளையம்

ஃபோகஸ் வளையத்தின் செயல்பாடு சீரான பிளாஸ்மாவை வழங்குவதாகும், இது சிலிக்கான் செதிலுக்கு ஒத்த கடத்துத்திறன் தேவைப்படுகிறது. கடந்த காலங்களில், பயன்படுத்தப்பட்ட பொருள் முக்கியமாக கடத்தும் சிலிக்கான் ஆகும், ஆனால் ஃவுளூரின் கொண்ட பிளாஸ்மா சிலிக்கானுடன் வினைபுரியும் சிலிக்கான் ஃவுளூரைடை உருவாக்கும், இது அதன் சேவை வாழ்க்கையை வெகுவாகக் குறைக்கிறது, இதன் விளைவாக கூறுகளை அடிக்கடி மாற்றுவது மற்றும் உற்பத்தி திறன் குறைகிறது. SIC ஒற்றை-படிக Si க்கு ஒத்த கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் பிளாஸ்மா பொறிப்புக்கு சிறந்த எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, எனவே இது மோதிரங்களை மையமாகக் கொண்ட ஒரு பொருளாக பயன்படுத்தப்படலாம்.

செமிகோரெக்ஸ் உயர்தரத்தை வழங்குகிறதுபீங்கான் பாகங்கள்குறைக்கடத்தி துறையில். உங்களிடம் ஏதேனும் விசாரணைகள் இருந்தால் அல்லது கூடுதல் விவரங்கள் தேவைப்பட்டால், தயவுசெய்து எங்களுடன் தொடர்பு கொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

தொலைபேசி # +86-13567891907 ஐ தொடர்பு கொள்ளவும்

மின்னஞ்சல்: sales@semicorex.com