செமிகோரெக்ஸ் 1x2" கிராஃபைட் வேஃபர் சஸ்செப்டர்கள் 2-இன்ச் செதில்களுக்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்-செயல்திறன் தாங்கி கூறுகளாகும், அவை செமிகண்டக்டர் செதில்களின் எபிடாக்சியல் செயல்முறைக்கு மிகவும் பொருத்தமானவை. தொழில்துறையில் முன்னணி பொருள் தூய்மை, துல்லியமான எபிடாக்சியல் எஞ்சினியரிங் மற்றும் தேவையற்ற சூழல் ஆகியவற்றிற்கு செமிகோரெக்ஸைத் தேர்ந்தெடுக்கவும்.
குறைக்கடத்தி செதில் புனையலில், செமிகண்டக்டர் சாதனங்களின் அடுத்தடுத்த புனையலுக்கு எபிடாக்சியல் அடுக்கு செதில் அடி மூலக்கூறில் வளர்க்கப்பட வேண்டும். எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறை வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்கள் மற்றும் மாசுபாட்டிற்கு அதிக உணர்திறன் கொண்டதாக இருப்பதால், நம்பகமான தேர்வுகள்செதில் உறிஞ்சிகள்விமர்சன ரீதியாக முக்கியமானவை. வேஃபர் எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டில் இன்றியமையாத துணைப் பகுதிகளாக, எந்திரத் துல்லியம், வெப்ப மேலாண்மை திறன் மற்றும் மாசுபடுதல் எதிர்ப்பு செயல்திறன் ஆகியவை உயர்தர செதில் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை அடைவதில் முக்கியமான காரணிகளாகும்.
சிறப்பு செயல்முறைகள் மூலம் அடர்த்தியான சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுடன் கூடிய அதி-நுண்ணிய தானியங்கள், உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டது, செமிகோரெக்ஸ் 1x2" கிராஃபைட் செதில்கள் பின்வரும் செயல்பாடுகளை வழங்குகின்றன:
செமிகோரெக்ஸ் 1x2"கிராஃபைட்வேஃபர் சஸ்செப்டர்கள் துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் சிகிச்சை, விதிவிலக்கான மேற்பரப்பு தட்டையான தன்மை மற்றும் பரிமாண துல்லியத்தை வழங்குகின்றன. இது அவர்கள் பொருத்தமான நிலையில் உறுதியாகப் பாதுகாக்கப்படுவதை உறுதிசெய்கிறது மற்றும் செதில் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான நிலையான, தட்டையான ஆதரவு தளத்தை வழங்குகிறது.
கிராஃபைட் மற்றும் SiC பொருட்களின் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறனுடன், செமிகோரெக்ஸ் 1x2" கிராஃபைட் வேஃபர் சஸ்செப்டர்கள், செமிகண்டக்டர் பொருள் முழுவதும் விரைவான மற்றும் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை வழங்குகின்றன. வெப்பநிலை சாய்வுகளைக் குறைப்பதன் மூலம், செமிகோரெக்ஸ் 1x2" கிராஃபைட் செதில்கள் சீரற்ற எபிடாக்சியல் தரம் போன்ற சிக்கல்களைத் தவிர்க்கலாம்.
அடர்த்தியான சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுடன் மூடப்பட்டிருக்கும், செமிகோரெக்ஸ் 1x2" கிராஃபைட் வேஃபர் சஸ்செப்டர்கள் பெரும்பான்மையான இரசாயனங்களை திறம்பட எதிர்க்கின்றன, அவை அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் இரசாயன நீராவிகளுக்கு அடிக்கடி வெளிப்படும் மிகவும் அரிக்கும் இயக்க நிலைமைகளில் அவற்றைப் பயன்படுத்துவதற்கு ஏற்றதாக இருக்கும்.
செமிகோரெக்ஸ்சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகிராஃபைட் மேட்ரிக்ஸுடன் அதிக பிணைப்பு வலிமையைக் கொண்டுள்ளது, இது அதிக அரிப்பு சூழல்களால் ஏற்படும் அரிப்பு மற்றும் துகள் வீழ்ச்சியின் காரணமாக பூச்சு பற்றின்மை காரணமாக அடி மூலக்கூறு மாசுபாட்டின் அபாயத்தை கணிசமாக தவிர்க்கலாம்.
கிராஃபைட் அணிகள் சிறந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் இயந்திர வலிமையை வெளிப்படுத்தினாலும், அது எபிடாக்சியல் செயல்முறையின் இயக்க நிலைமைகளின் கீழ் அரிப்பு மற்றும் தூள்மயமாக்கலுக்கு ஆளாகிறது. அடர்த்தியான SiC பூச்சுகளுடன் கிராஃபைட் மேட்ரிக்ஸை முழுமையாக இணைத்து, எங்கள் 1×2" கிராஃபைட் வேஃபர் சஸ்செப்டர்கள் உயர்ந்த மற்றும் நம்பகத்தன்மையை அடைகின்றன.
Semicorex SiC பூச்சு பொருள் தரவு
|
வழக்கமான பண்புகள் |
அலகுகள் |
மதிப்புகள் |
| கட்டமைப்பு |
/ |
FCC β கட்டம் |
| நோக்குநிலை | பின்னம் (%) |
111 முன்னுரிமை |
| மொத்த அடர்த்தி |
g/cm³ |
3.21 |
| கடினத்தன்மை | விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
| வெப்ப திறன் | J·kg⁻¹·K⁻¹ |
640 |
| வெப்ப விரிவாக்கம் 100–600 °C (212–1112 °F) |
10⁻⁶K⁻¹ |
4.5 |
| யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300°C) |
430 |
| தானிய அளவு |
µm |
2 - 10 |
| பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
°C |
2700 |
| நெகிழ்வு வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
| வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |