SiC-கோடட் கிராஃபைட் வேஃபர் சஸ்பெப்டர்கள்

Semicorex SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட்செதில் உறிஞ்சிகள்வட்டு வடிவ கூறுகள், ரோட்டரி MOCVD அமைப்புகளில் செதில்களை ஆதரிக்கவும் வெப்பப்படுத்தவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அவை சீரான வாயு விநியோகம் மற்றும் எதிர்வினை அறைகளில் நிலையான வெப்ப விநியோகத்தை எளிதாக்குகின்றன, உயர்தர மற்றும் உயர் செயல்திறன் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு உகந்த செயல்முறை சூழலை வழங்குகின்றன. செமிகோரெக்ஸ் SiC-கோடட் கிராஃபைட் வேஃபர் சஸ்ப்டர்கள், சபையர் அடி மூலக்கூறுகளில் GaN எபிடாக்ஸி போன்ற சிறந்த மெல்லிய-பட சீரான தன்மையைக் கோரும் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது.

செமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐசி-கோடட் கிராஃபைட் வேஃபர் சஸ்செப்டர்களின் சிறப்பியல்புகள்

செமிகோரெக்ஸ் SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வேஃபர் சஸ்செப்டர்கள் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டை அவற்றின் அடிப்படைப் பொருளாகப் பயன்படுத்துகின்றன மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் அவற்றின் அடித்தளத்தில் சீரான மற்றும் அடர்த்தியான சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளை வைக்கின்றன. உயர்ந்த மூலப்பொருட்கள் மற்றும் மேம்பட்ட உற்பத்தி தொழில்நுட்பத்தை மேம்படுத்துவதன் மூலம், செமிகோரெக்ஸ் SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வேஃபர் சஸ்செப்டர்கள் பின்வரும் சிறப்பான பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன.

1.விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை

MOCVD உபகரணங்கள் பொதுவாக 1000℃ க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையில் இயங்குகின்றன, இது உள் கூறுகளின் உயர்-வெப்பநிலை செயல்திறனில் கடுமையான தேவைகளை விதிக்கிறது. செமிகோரெக்ஸ் SiC-கோடட் கிராஃபைட் வேஃபர் சஸ்செப்டர்கள் இந்த கடுமையான வேலை நிலைமைகளுக்கு நன்கு பொருந்தக்கூடியவை மற்றும் நீண்ட கால உயர்-வெப்பநிலை சேவையின் போதும் சீராக செயல்படும். பூச்சு ரேக்கிங் அல்லது பற்றின்மை இல்லாமல், செமிகோரெக்ஸ் எஸ்ஐசி-கோடட் கிராஃபைட் வேஃபர் சஸ்செப்டர்கள் கிராஃபைட் தளத்திலிருந்து வாயு மற்றும் அசுத்தம் வெளியேறும் அபாயத்தை பெருமளவில் அகற்றும்.

2.வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பு

செமிகோரெக்ஸ் SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வேஃபர் சஸ்செப்டர்கள் சிக்கலான உயர்-வெப்பநிலை மற்றும் வலுவான-அரிப்பு நிலைகளின் போது உயர்ந்த ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. அவர்களின்CVD SiC பூச்சுNH3 மற்றும் H2 போன்ற செயல்முறை வாயுக்களால் அவற்றின் அடித்தளம் அரிக்கப்படுவதைக் கணிசமாகத் தடுக்கலாம், கார்பன் மாசுபாட்டின் வெளியீட்டைக் குறைக்கலாம் மற்றும் அதன் மூலம் எபிடாக்சியல் படங்களின் தூய்மையை மேம்படுத்தலாம்.

3.சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்

செமிகோரெக்ஸ் SiC-பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வேஃபர் சஸ்செப்டர்கள் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளின் போது நம்பகமான வெப்ப மேலாண்மை திறனை பெருமைப்படுத்துகின்றன, ஏனெனில் அவற்றின் கிராஃபைட் தளங்கள் மற்றும் CVD SiC பூச்சுகள் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்டவை. மெல்லிய-பட படிவு செயல்முறைகளின் போது அடி மூலக்கூறு செதில்களில் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை அவை உறுதி செய்ய முடியும், இதன் விளைவாக உயர்தர எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் உருவாகின்றன.