தூண்டல்-இணைந்த பிளாஸ்மா (ICP)

Inductively-Coupled Plasma (ICP)க்கான Semicorex இன் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர், குறிப்பாக எபிடாக்ஸி மற்றும் MOCVD போன்ற உயர்-வெப்பநிலை செதில் கையாளுதல் செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை நிலையான, உயர்-வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்புடன், எங்கள் கேரியர்கள் வெப்ப சுயவிவரங்கள், லேமினார் வாயு ஓட்ட முறைகள் மற்றும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கின்றன.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

அதிக வெப்பநிலை, கடுமையான இரசாயன சூழல்களை கையாளக்கூடிய ஒரு வேஃபர் கேரியர் வேண்டுமா? Inductively-Coupled Plasma (ICP)க்கான Semicorex இன் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்செப்டரைத் தவிர வேறு எதையும் பார்க்க வேண்டாம். எங்கள் கேரியர்கள் சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பையும், வெப்ப சீரான தன்மையையும், நீடித்த இரசாயன எதிர்ப்பையும் வழங்கும் சிறந்த SiC படிக பூச்சுகளைக் கொண்டுள்ளது.
Inductively-Coupled Plasma (ICP)க்கான எங்களது SiC susceptor பற்றி மேலும் அறிய இன்று எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.

தூண்டல்-இணைந்த பிளாஸ்மா (ICP) க்கான சஸ்செப்டரின் அளவுருக்கள்

CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள்
SiC-CVD பண்புகள்
படிக அமைப்பு	FCC β கட்டம்
அடர்த்தி	g/cm ³	3.21
கடினத்தன்மை	விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை	2500
தானிய அளவு	μm	2~10
இரசாயன தூய்மை	%	99.99995
வெப்ப திறன்	ஜே கிலோ-1 கே-1	640
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	℃	2700
Felexural வலிமை	MPa (RT 4-புள்ளி)	415
யங்ஸ் மாடுலஸ்	Gpa (4pt வளைவு, 1300℃)	430
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E)	10-6K-1	4.5
வெப்ப கடத்துத்திறன்	(W/mK)	300

தூண்டல்-இணைந்த பிளாஸ்மா (ICP) க்கான சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்செப்டரின் அம்சங்கள்

- உரிக்கப்படுவதைத் தவிர்க்கவும் மற்றும் அனைத்து மேற்பரப்பிலும் பூச்சு இருப்பதை உறுதி செய்யவும்

உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு: 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் நிலையானது

உயர் தூய்மை: உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் செய்யப்படுகிறது.

அரிப்பு எதிர்ப்பு: அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு மற்றும் நுண்ணிய துகள்கள்.

அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்.

- சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை அடைய

- வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலைக்கு உத்தரவாதம்

- ஏதேனும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கவும்

சூடான குறிச்சொற்கள்: தூண்டல்-இணைக்கப்பட்ட பிளாஸ்மா (ICP), சீனா, உற்பத்தியாளர்கள், சப்ளையர்கள், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, மொத்தமாக, மேம்பட்ட, நீடித்தது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை