செமிகோரெக்ஸின் ICP பிளாஸ்மா பொறித்தல் தட்டு குறிப்பாக எபிடாக்ஸி மற்றும் MOCVD போன்ற உயர்-வெப்பநிலை செதில் கையாளுதல் செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை நிலையான, உயர்-வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்புடன், எங்கள் கேரியர்கள் வெப்ப சுயவிவரங்கள், லேமினார் வாயு ஓட்ட முறைகள் மற்றும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கின்றன.
எங்கள் ஐசிபி பிளாஸ்மா எச்சிங் ட்ரே, சிவிடி முறையைப் பயன்படுத்தி சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்டது, இது அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் தேவைப்படும் செதில் கையாளுதல் செயல்முறைகளுக்கு சிறந்த தீர்வாகும். செமிகோரெக்ஸின் கேரியர்கள் சிறந்த SiC படிக பூச்சுகளைக் கொண்டுள்ளன, அவை வெப்ப சுயவிவரங்கள், லேமினார் வாயு ஓட்ட வடிவங்கள் மற்றும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கின்றன.
Semicorex இல், எங்கள் வாடிக்கையாளர்களுக்கு உயர்தர, செலவு குறைந்த தயாரிப்புகளை வழங்குவதில் கவனம் செலுத்துகிறோம். எங்கள் ICP பிளாஸ்மா பொறித்தல் தட்டு ஒரு விலை நன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளுக்கு ஏற்றுமதி செய்யப்படுகிறது. நிலையான தரமான தயாரிப்புகள் மற்றும் விதிவிலக்கான வாடிக்கையாளர் சேவையை வழங்குவதன் மூலம், உங்களின் நீண்ட கால கூட்டாளியாக இருப்பதை நாங்கள் நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளோம்.
எங்கள் ICP பிளாஸ்மா பொறித்தல் தட்டு பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்பு கொள்ளவும்.
ICP பிளாஸ்மா எட்ச்சிங் ட்ரேயின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
ICP பிளாஸ்மா எட்ச்சிங் ட்ரேயின் அம்சங்கள்
- உரிக்கப்படுவதைத் தவிர்க்கவும் மற்றும் அனைத்து மேற்பரப்பிலும் பூச்சு இருப்பதை உறுதி செய்யவும்
உயர் வெப்பநிலை ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு: 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் நிலையானது
உயர் தூய்மை: உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் செய்யப்படுகிறது.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு மற்றும் நுண்ணிய துகள்கள்.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்.
- சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை அடைய
- வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலைக்கு உத்தரவாதம்
- ஏதேனும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கவும்