செமிகோரெக்ஸின் ஐசிபி எச்சிங் வேஃபர் ஹோல்டர் என்பது எபிடாக்ஸி மற்றும் எம்ஓசிவிடி போன்ற உயர்-வெப்பநிலை செதில் கையாளுதல் செயல்முறைகளுக்கு சரியான தீர்வாகும். 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை நிலையான, உயர்-வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்புடன், எங்கள் கேரியர்கள் வெப்ப சுயவிவரங்கள், லேமினார் வாயு ஓட்ட முறைகள் மற்றும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கின்றன.
உங்கள் எபிடாக்ஸி உபகரணங்களுக்கு நம்பகமான வேஃபர் கேரியர் வழங்குநரைத் தேடுகிறீர்களா? செமிகோரெக்ஸைத் தவிர வேறு எதையும் பார்க்க வேண்டாம். எங்கள் ஐசிபி எச்சிங் வேஃபர் ஹோல்டர் குறிப்பாக உயர் வெப்பநிலை, கடுமையான இரசாயன சுத்தம் சூழல்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. சிறந்த SiC படிக பூச்சுடன், எங்கள் கேரியர்கள் சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பையும், வெப்ப சீரான தன்மையையும் மற்றும் நீடித்த இரசாயன எதிர்ப்பையும் வழங்குகிறது.
எங்கள் ஐசிபி எட்ச்சிங் வேஃபர் ஹோல்டர் சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்ட வடிவத்தை அடைய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலையை உறுதி செய்கிறது. இது எந்த மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்க உதவுகிறது, செதில் சிப்பில் உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.
எங்கள் ICP எட்ச்சிங் வேஃபர் ஹோல்டரைப் பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.
ICP எட்ச்சிங் வேஃபர் ஹோல்டரின் அளவுருக்கள்
CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் |
||
SiC-CVD பண்புகள் |
||
படிக அமைப்பு |
FCC β கட்டம் |
|
அடர்த்தி |
g/cm ³ |
3.21 |
கடினத்தன்மை |
விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை |
2500 |
தானிய அளவு |
μm |
2~10 |
இரசாயன தூய்மை |
% |
99.99995 |
வெப்ப திறன் |
ஜே கிலோ-1 கே-1 |
640 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை |
℃ |
2700 |
Felexural வலிமை |
MPa (RT 4-புள்ளி) |
415 |
யங்ஸ் மாடுலஸ் |
Gpa (4pt வளைவு, 1300℃) |
430 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
வெப்ப கடத்துத்திறன் |
(W/mK) |
300 |
ICP எட்சிங் வேஃபர் ஹோல்டரின் அம்சங்கள்
- உரிக்கப்படுவதைத் தவிர்க்கவும் மற்றும் அனைத்து மேற்பரப்பிலும் பூச்சு இருப்பதை உறுதி செய்யவும்
உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு: 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் நிலையானது
உயர் தூய்மை: உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் செய்யப்படுகிறது.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு மற்றும் நுண்ணிய துகள்கள்.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்.
- சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை அடைய
- வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலைக்கு உத்தரவாதம்
- ஏதேனும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கவும்