பிளாஸ்மா எட்ச் சேம்பர்களுக்கான உயர் வெப்பநிலை SiC பூச்சு

எபிடாக்ஸி மற்றும் எம்ஓசிவிடி போன்ற செதில் கையாளுதல் செயல்முறைகளுக்கு வரும்போது, பிளாஸ்மா எட்ச் சேம்பர்களுக்கான செமிகோரெக்ஸின் உயர்-வெப்பநிலை SiC பூச்சு சிறந்த தேர்வாகும். எங்கள் கேரியர்கள் சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பையும், வெப்ப சீரான தன்மையையும், மற்றும் நீடித்த இரசாயன எதிர்ப்பையும் வழங்குகின்றன, எங்கள் சிறந்த SiC படிக பூச்சுக்கு நன்றி.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

Semicorex இல், உயர்தர செதில் கையாளும் கருவிகளின் முக்கியத்துவத்தை நாங்கள் புரிந்துகொள்கிறோம். அதனால்தான் பிளாஸ்மா எட்ச் அறைகளுக்கான உயர் வெப்பநிலை SiC பூச்சு குறிப்பாக உயர் வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்தம் சூழல்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. எங்கள் கேரியர்கள் வெப்ப சுயவிவரங்கள், லேமினார் வாயு ஓட்டம் வடிவங்கள் மற்றும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கின்றன.
பிளாஸ்மா எட்ச் சேம்பர்களுக்கான உயர் வெப்பநிலை SiC பூச்சு பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.

பிளாஸ்மா எட்ச் சேம்பர்களுக்கான உயர் வெப்பநிலை SiC பூச்சு அளவுருக்கள்

CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள்
SiC-CVD பண்புகள்
படிக அமைப்பு	FCC β கட்டம்
அடர்த்தி	g/cm ³	3.21
கடினத்தன்மை	விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை	2500
தானிய அளவு	μm	2~10
இரசாயன தூய்மை	%	99.99995
வெப்ப திறன்	ஜே கிலோ-1 கே-1	640
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	℃	2700
Felexural வலிமை	MPa (RT 4-புள்ளி)	415
யங்ஸ் மாடுலஸ்	Gpa (4pt வளைவு, 1300℃)	430
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E)	10-6K-1	4.5
வெப்ப கடத்துத்திறன்	(W/mK)	300

பிளாஸ்மா எட்ச் சேம்பர்களுக்கான உயர் வெப்பநிலை SiC பூச்சுகளின் அம்சங்கள்

- உரிக்கப்படுவதைத் தவிர்க்கவும் மற்றும் அனைத்து மேற்பரப்பிலும் பூச்சு இருப்பதை உறுதி செய்யவும்

உயர் வெப்பநிலை ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு: 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் நிலையானது

உயர் தூய்மை: உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் செய்யப்படுகிறது.

அரிப்பு எதிர்ப்பு: அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு மற்றும் நுண்ணிய துகள்கள்.

அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்.

- சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை அடைய

- வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலைக்கு உத்தரவாதம்

- ஏதேனும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கவும்

சூடான குறிச்சொற்கள்: பிளாஸ்மா எட்ச் சேம்பர்களுக்கான உயர் வெப்பநிலை SiC பூச்சு, சீனா, உற்பத்தியாளர்கள், சப்ளையர்கள், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, மொத்தமாக, மேம்பட்ட, நீடித்தது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை