செதுக்குதல் கேரியரை பொறித்தல்

செமிகோரெக்ஸ் பொறித்தல் செதில் கேரியர் என்பது குறைக்கடத்தி புனையல் செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட அடி மூலக்கூறு ஆதரவு தளமாகும், குறிப்பாக வேஃபர் பொறித்தல் பயன்பாடுகளுக்கு. உயர் தூய்மை கிராஃபைட் தளத்துடன் வடிவமைக்கப்பட்டு வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) சிலிக்கான் கார்பைடு (எஸ்.ஐ.சி) உடன் பூசப்பட்ட இந்த செதில் கேரியர் விதிவிலக்கான வேதியியல் எதிர்ப்பு, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இயந்திர ஆயுள் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது, அதிக துல்லியமான பொறிப்பு சூழலில் உகந்த செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

பொறித்தல் செதில் கேரியர் ஒரு சீரான சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி அடுக்குடன் பூசப்பட்டுள்ளது, இது ஆக்கிரமிப்பு பிளாஸ்மா மற்றும் பொறித்தல் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் அரிக்கும் வாயுக்களுக்கு எதிரான அதன் வேதியியல் எதிர்ப்பை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது. தற்போது அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் எஸ்.ஐ.சி பூச்சு தயாரிப்பதற்கான முக்கிய தொழில்நுட்பம் சி.வி.டி. முக்கிய செயல்முறை என்னவென்றால், வாயு கட்ட எதிர்வினை மூலப்பொருட்கள் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் தொடர்ச்சியான உடல் மற்றும் வேதியியல் எதிர்வினைகளுக்கு உட்படுகின்றன, இறுதியாக எஸ்.ஐ.சி பூச்சு தயாரிக்க அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் டெபாசிட் செய்கின்றன. சி.வி.டி தொழில்நுட்பத்தால் தயாரிக்கப்பட்ட எஸ்.ஐ.சி பூச்சு அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்புடன் நெருக்கமாக பிணைக்கப்பட்டுள்ளது, இது ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் அடி மூலக்கூறு பொருளின் நீக்குதல் எதிர்ப்பை திறம்பட மேம்படுத்த முடியும், ஆனால் இந்த முறையின் படிவு நேரம் நீளமானது, மேலும் எதிர்வினை வாயு சில நச்சு வாயுக்களைக் கொண்டுள்ளது.

சி.வி.டி சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுபொறித்தல் உபகரணங்கள், MOCVD உபகரணங்கள், எஸ்ஐ எபிடாக்சியல் உபகரணங்கள் மற்றும் எஸ்.ஐ.சி எபிடாக்சியல் உபகரணங்கள், விரைவான வெப்ப செயலாக்க உபகரணங்கள் மற்றும் பிற துறைகளில் பாகங்கள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. ஒட்டுமொத்தமாக, சி.வி.டி சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு பாகங்களின் மிகப்பெரிய சந்தைப் பிரிவு உபகரணங்கள் மற்றும் எபிடாக்சியல் உபகரணங்கள் பகுதிகளை பொறித்தல் ஆகும். சி.வி.டி சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு குளோரின் கொண்ட மற்றும் ஃவுளூரின் கொண்ட பொறிக்கும் வாயுக்களுக்கு குறைந்த வினைத்திறன் மற்றும் கடத்துத்திறன் காரணமாக, மோதிரங்கள் மற்றும் பிளாஸ்மா பொறித்தல் கருவிகளின் பிற பகுதிகளை மையப்படுத்த இது ஒரு சிறந்த பொருளாக மாறும்.சி.வி.டி எஸ்.ஐ.சி பாகங்கள்பொறித்தல் உபகரணங்களில் அடங்கும்கவனம் செலுத்தும் மோதிரங்கள், எரிவாயு மழை தலைகள், தட்டுகள்,விளிம்பு மோதிரங்கள், முதலியன கவனம் வளையத்தை உதாரணமாக எடுத்துக் கொள்ளுங்கள். ஃபோகஸ் மோதிரம் என்பது செதிலுக்கு வெளியே வைக்கப்பட்டுள்ள ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், மேலும் செதிலுடன் நேரடி தொடர்பில் உள்ளது. மோதிரத்தின் வழியாக செல்லும் பிளாஸ்மாவை மையப்படுத்த மின்னழுத்தம் வளையத்திற்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதன் மூலம் செயலாக்க சீரான தன்மையை மேம்படுத்த பிளாஸ்மாவை செதில் மீது கவனம் செலுத்துகிறது. பாரம்பரிய கவனம் மோதிரங்கள் சிலிக்கான் அல்லது குவார்ட்ஸால் ஆனவை. ஒருங்கிணைந்த சுற்று மினியேட்டரைசேஷனின் முன்னேற்றத்துடன், ஒருங்கிணைந்த சுற்று உற்பத்தியில் பொறித்தல் செயல்முறைகளின் தேவை மற்றும் முக்கியத்துவம் அதிகரித்து வருகிறது, மேலும் பிளாஸ்மாவை பொறிக்கும் சக்தி மற்றும் ஆற்றல் தொடர்ந்து அதிகரித்து வருகிறது.

எஸ்.ஐ.சி பூச்சு ஃப்ளோரின் அடிப்படையிலான (எஃப்₂) மற்றும் குளோரின் அடிப்படையிலான (சி.எல்) பிளாஸ்மா பொறித்தல் வேதியியல்களுக்கு எதிராக சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, சீரழிவைத் தடுக்கிறது மற்றும் நீண்டகால பயன்பாட்டில் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது. இந்த வேதியியல் வலுவான தன்மை நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது மற்றும் செதில் செயலாக்கத்தின் போது மாசு அபாயங்களைக் குறைக்கிறது. செதில் கேரியரை பல்வேறு செதில் அளவுகள் (எ.கா., 200 மிமீ, 300 மிமீ) மற்றும் குறிப்பிட்ட பொறித்தல் கணினி தேவைகளுக்கு ஏற்ப வடிவமைக்க முடியும். தனிப்பயன் ஸ்லாட் வடிவமைப்புகள் மற்றும் துளை வடிவங்கள் செதில் நிலைப்படுத்தல், வாயு ஓட்டக் கட்டுப்பாடு மற்றும் செயல்முறை செயல்திறனை மேம்படுத்த கிடைக்கின்றன.

பயன்பாடுகள் மற்றும் நன்மைகள்

பிளாஸ்மா பொறித்தல் (PE), எதிர்வினை அயன் பொறித்தல் (RIE) மற்றும் ஆழமான எதிர்வினை அயன் பொறித்தல் (DRIE) உள்ளிட்ட உலர் பொறித்தல் செயல்முறைகளுக்கு செறிவூட்டல் செதில் கேரியர் முதன்மையாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் (ஐ.சி.எஸ்), எம்இஎம்எஸ் சாதனங்கள், பவர் எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் கூட்டு குறைக்கடத்தி செதில்களின் உற்பத்தியில் இது பரவலாக ஏற்றுக்கொள்ளப்படுகிறது. அதன் வலுவான SIC பூச்சு பொருள் சீரழிவைத் தடுப்பதன் மூலம் நிலையான பொறித்தல் முடிவுகளை உறுதி செய்கிறது. கிராஃபைட் மற்றும் எஸ்.ஐ.சி ஆகியவற்றின் கலவையானது நீண்டகால ஆயுள், பராமரிப்பு மற்றும் மாற்று செலவுகளைக் குறைக்கிறது. மென்மையான மற்றும் அடர்த்தியான SIC மேற்பரப்பு துகள் உருவாக்கத்தை குறைக்கிறது, இது அதிக செதில் மகசூல் மற்றும் சிறந்த சாதன செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. கடுமையான பொறித்தல் சூழல்களுக்கு விதிவிலக்கான எதிர்ப்பு அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையை குறைக்கிறது, உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.