CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங்

மேம்பட்ட இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை

சிவிடி எஸ்ஐசி ஃபோகஸ் ரிங் தயாரிப்பில் பயன்படுத்தப்படும் சிவிடி செயல்முறையானது, குறிப்பிட்ட வடிவங்களில் எஸ்ஐசியின் துல்லியமான படிவு, அதைத் தொடர்ந்து கடுமையான இயந்திர செயலாக்கம் ஆகியவை அடங்கும். விரிவான பரிசோதனைக்குப் பிறகு நிர்ணயிக்கப்பட்ட நிலையான பொருள் விகிதத்திற்கு நன்றி, பொருளின் எதிர்ப்புத் திறன் அளவுருக்கள் சீராக இருப்பதை இந்த முறை உறுதி செய்கிறது. இதன் விளைவாக இணையற்ற தூய்மை மற்றும் சீரான தன்மையுடன் கூடிய கவனம் வளையம் உள்ளது.

உயர்ந்த பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு

CVD SiC ஃபோகஸ் வளையத்தின் மிகவும் அழுத்தமான பண்புகளில் ஒன்று பிளாஸ்மாவிற்கு அதன் விதிவிலக்கான எதிர்ப்பாகும். வெற்றிட எதிர்வினை அறைக்குள் ஃபோகஸ் மோதிரங்கள் நேரடியாக பிளாஸ்மாவுக்கு வெளிப்படும் என்பதால், இத்தகைய கடுமையான நிலைமைகளைத் தாங்கும் திறன் கொண்ட ஒரு பொருளின் தேவை மிக முக்கியமானது. SiC, 99.9995% தூய்மை நிலையுடன், சிலிக்கானின் மின் கடத்துத்திறனைப் பகிர்ந்துகொள்வது மட்டுமல்லாமல், அயனி பொறிப்பிற்கு சிறந்த எதிர்ப்பையும் வழங்குகிறது, இது பிளாஸ்மா பொறிக்கும் கருவிகளுக்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது.

அதிக அடர்த்தி மற்றும் குறைக்கப்பட்ட பொறித்தல் தொகுதி

சிலிக்கான் (Si) ஃபோகஸ் ரிங்க்களுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங் அதிக அடர்த்தியைக் கொண்டுள்ளது, இது செதுக்கும் அளவைக் கணிசமாகக் குறைக்கிறது. ஃபோகஸ் வளையத்தின் ஆயுட்காலத்தை நீட்டிப்பதிலும், குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையின் ஒருமைப்பாட்டைப் பராமரிப்பதிலும் இந்தப் பண்பு முக்கியமானது. குறைக்கப்பட்ட செதுக்கல் அளவு குறைவான குறுக்கீடுகள் மற்றும் குறைந்த பராமரிப்பு செலவுகள், இறுதியில் உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

பரந்த பேண்ட்கேப் மற்றும் சிறந்த காப்பு

SiC இன் பரந்த பேண்ட்கேப் சிறந்த காப்புப் பண்புகளை வழங்குகிறது, இது தேவையற்ற மின்னோட்டங்கள் பொறித்தல் செயல்பாட்டில் குறுக்கிடுவதைத் தடுப்பதில் அவசியம். மிகவும் சவாலான சூழ்நிலையிலும் கூட, ஃபோகஸ் ரிங் நீண்ட காலத்திற்கு அதன் செயல்திறனைப் பராமரிப்பதை இந்தப் பண்பு உறுதி செய்கிறது.

வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு எதிர்ப்பு

CVD SiC ஃபோகஸ் மோதிரங்கள் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் குறைந்த விரிவாக்க குணகம் ஆகியவற்றை வெளிப்படுத்துகின்றன, அவை வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு மிகவும் எதிர்ப்புத் தெரிவிக்கின்றன. இந்த பண்புகள் விரைவு வெப்ப செயலாக்கம் (RTP) சம்பந்தப்பட்ட பயன்பாடுகளில் குறிப்பாக நன்மை பயக்கும், அங்கு குவிய வளையமானது தீவிர வெப்ப துடிப்புகளைத் தாங்க வேண்டும், அதைத் தொடர்ந்து விரைவான குளிரூட்டல். இத்தகைய நிலைமைகளின் கீழ் CVD SiC ஃபோகஸ் வளையம் நிலையானதாக இருக்கும் திறன் நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் இன்றியமையாததாக ஆக்குகிறது.

இயந்திர வலிமை மற்றும் ஆயுள்

CVD SiC ஃபோகஸ் வளையத்தின் அதிக நெகிழ்ச்சி மற்றும் கடினத்தன்மை இயந்திர தாக்கம், தேய்மானம் மற்றும் அரிப்பு ஆகியவற்றிற்கு சிறந்த எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. இந்த பண்புக்கூறுகள், செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிக்கேஷனின் கடுமையான கோரிக்கைகளை ஃபோகஸ் ரிங் தாங்கிக்கொள்ள முடியும் என்பதை உறுதிப்படுத்துகிறது, காலப்போக்கில் அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாடு மற்றும் செயல்திறனைப் பராமரிக்கிறது.

பல்வேறு தொழில்கள் முழுவதும் பயன்பாடுகள்

1. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி துறையில், CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங் என்பது பிளாஸ்மா பொறித்தல் கருவிகளின் இன்றியமையாத அங்கமாகும், குறிப்பாக கொள்ளளவு இணைந்த பிளாஸ்மா (CCP) அமைப்புகளைப் பயன்படுத்துகிறது. இந்த அமைப்புகளில் தேவைப்படும் உயர் பிளாஸ்மா ஆற்றல், CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங் பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு மற்றும் நீடித்துழைப்பை விலைமதிப்பற்றதாக ஆக்குகிறது. கூடுதலாக, அதன் சிறந்த வெப்ப பண்புகள் RTP பயன்பாடுகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது, அங்கு விரைவான வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகள் பொதுவானவை.

2. LED வேஃபர் கேரியர்கள்

CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங் எல்இடி செதில் கேரியர்களின் உற்பத்தியில் மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கிறது. பொருளின் வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன அரிப்பை எதிர்க்கும் தன்மை ஆகியவை LED புனையலின் போது இருக்கும் கடுமையான நிலைமைகளை ஃபோகஸ் வளையம் தாங்கும் என்பதை உறுதி செய்கிறது. இந்த நம்பகத்தன்மை அதிக மகசூல் மற்றும் சிறந்த தரமான LED செதில்களை மொழிபெயர்க்கிறது.

3. Sputtering Targets

ஸ்பட்டரிங் பயன்பாடுகளில், CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங்கின் அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் அணிய எதிர்ப்பு ஆகியவை இலக்குகளை சிதறடிப்பதற்கான சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது. அதிக ஆற்றல் தாக்கங்களின் கீழ் அதன் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டைப் பேணுவதற்கான ஃபோகஸ் வளையத்தின் திறன் சீரான மற்றும் நம்பகமான ஸ்பட்டரிங் செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது, இது மெல்லிய படங்கள் மற்றும் பூச்சுகளின் தயாரிப்பில் முக்கியமானது.