2L10-506419-21க்கான CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங்

பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது, ​​எதிர்வினை அறையில் உள்ள சீரான பிளாஸ்மா விநியோகம் செதில் விளிம்பில் கடுமையான குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும், இது குறைக்கடத்தி சாதனத்தின் விளைச்சலைக் குறைக்கும். Semicorex CVD SiCகவனம் வளையம்2L10-506419-21 இந்த வலி புள்ளியை நிவர்த்தி செய்ய சிறந்த கூறு ஆகும். இது பொதுவாக மின்னியல் சக் மீது நிறுவப்பட்டு செதில் விளிம்பில் வைக்கப்படுகிறது. 2L10-506419-21க்கான Semicorex CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங் செதில் மேற்பரப்பில் பிளாஸ்மாவை மையப்படுத்தவும், எதிர்வினை அறைக்குள் மின்சார புல விநியோகத்தை மேம்படுத்தவும் முடியும். இந்த வழியில், இது செதில் விளிம்பு மேல்-செதுக்குதல் நிகழ்வை திறம்பட தடுக்கலாம், இதன் மூலம் துல்லியமான மற்றும் சீரான பொறித்தல் முடிவுகளை உறுதி செய்கிறது.

2L10-506419-21க்கான Semicorex CVD SiC ஃபோகஸ் வளையத்தின் செயல்பாடுகள்

1.இது செதுக்குதல் சீரான தன்மையை மேம்படுத்தி, செதில் மையம் மற்றும் விளிம்பிற்கு இடையே சீரான எட்ச் வீதத்தை பராமரிக்கலாம், இதனால் இறுதி குறைக்கடத்தி சில்லுகளின் விளைச்சலை அதிகரிக்கும்.

2. இது சீரற்ற பிளாஸ்மா விநியோகத்தால் ஏற்படும் செயல்முறை விலகல் மற்றும் துகள் மாசுபாட்டைக் குறைக்க ஒரு நிலையான செதுக்கல் நிலையை உருவாக்க உதவும்.

3.இது பிளாஸ்மா-தூண்டப்பட்ட மேல்-எட்ச்சிங் மற்றும் விளிம்பு சேதத்தைத் தடுக்க செதில் விளிம்பை பாதுகாக்கும்.

சிறந்த பொருள் பண்புகள்

செமிகோரெக்ஸ்CVD SiC2L10-506419-21க்கான ஃபோகஸ் ரிங் திடமான CVD SiC பொருட்களிலிருந்து துல்லியமாக தயாரிக்கப்படுகிறது. CVD செயல்முறையானது சிலிக்கான் கார்பைட்டின் கட்டமைப்பு மற்றும் செயல்பாட்டு செயல்திறனை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது, 2L10-506419-21க்கான செமிகோரெக்ஸ் CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங் ஆனது சிக்கலான செதுக்கல் இயக்க சூழல்களை பூர்த்தி செய்ய பின்வரும் சிறந்த பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது.

1.அல்ட்ரா-உயர் தூய்மை, மற்றும் அதன் தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம் 5 ppm க்கும் குறைவாக உள்ளது.

2.உயர் இயந்திர வலிமை அவர்களின் அடர்த்தியான உள் அமைப்புக்கு நன்றி.

3.உயர் வெப்ப மேலாண்மை திறன், 2000 டிகிரி செல்சியஸ் வெப்பநிலையில் பொருளில் உருகுதல் அல்லது மென்மையாக்குதல் இல்லை.

4.விதிவிலக்கான அரிப்பு எதிர்ப்பு, இது HF, HCl மற்றும் NH₃ உள்ளிட்ட செயல்முறை வாயுக்களால் பிளாஸ்மா பொறித்தல் மற்றும் அரிப்பைத் தாங்கும்.

உயர் துல்லியமான தரக் கட்டுப்பாடு

செமிகோரெக்ஸ் எப்பொழுதும் கூறு துல்லியம் மற்றும் தரத்தை முதன்மையாகக் கொண்டுள்ளது மற்றும் செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையின் தொழில்முறை துல்லியமான தரநிலைகளின்படி கண்டிப்பாக CVD SiC ஃபோகஸ் வளையங்களை உருவாக்குகிறது, இதனால் 2L10-506419-21க்கான செமிகோரெக்ஸ் CVD SiC ஃபோகஸ் ரிங் TK4EL VIGUS உடன் சரியான பொருத்தம் மற்றும் தடையற்ற அசெம்பிளியை வழங்குகிறது.