செமிகண்டக்டருக்கான செராமிக் ஃபோகஸ் ரிங்க்ஸ்

செமிகோரெக்ஸ் பீங்கான்கவனம் வளையம்செமிகண்டக்டருக்கான s என்பது கடுமையான பிளாஸ்மா பொறித்தல் இயக்க நிலைமைகளுக்கு ஏற்ற சிறந்த தீர்வுகள் ஆகும். அதிநவீன குறைக்கடத்தி பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது, ​​பிளாஸ்மா விநியோகத்தை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்துவது மிகவும் முக்கியமானது, இது பொறித்தல் அறை நிலைத்தன்மை மற்றும் நிலையான குறைக்கடத்தி பொறித்தல் சீரான தன்மையை உறுதி செய்யும். மேம்பட்ட செதுக்கல் கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படும் இன்றியமையாத கூறுகளாக, கவனம் வளையங்கள் பொதுவாக குறைக்கடத்தி செதில்களைச் சுற்றி நிலைநிறுத்தப்பட்டு அவற்றுடன் நேரடியாக தொடர்பு கொள்கின்றன. ஃபோகஸ் ரிங்க்களின் செயல்திறன், செயல்முறை மறுநிகழ்வு, தயாரிப்பு மகசூல் மற்றும் உபகரணங்களின் நேரத்தின் மீது நேரடி தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது.

குறைக்கடத்திக்கான செமிகோரெக்ஸ் செராமிக் ஃபோகஸ் வளையங்களின் நன்மைகள்

1.அல்ட்ரா-உயர் பொருள் தூய்மை

நமது தூய்மைCVD SiCபொருள் 99.9995% ஐ விட அதிகமாக உள்ளது. இது போதுமான பொருள் தூய்மையின்மையால் ஏற்படும் எச்சிங் அறை மற்றும் குறைக்கடத்தி செதில்களின் மாசுபாட்டை திறம்பட தடுக்கலாம்.

2.விதிவிலக்கான அரிப்பு எதிர்ப்பு

செமிகண்டக்டருக்கான செமிகோரெக்ஸ் செராமிக் ஃபோகஸ் ரிங்க்கள் CVD SiC இலிருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றன, இது ஆக்சிஜனேற்றம், அரிப்பு மற்றும் இரசாயன அரிப்பு ஆகியவற்றிற்கு சிறந்த எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, HF மற்றும் HCI போன்ற செயல்முறை வாயுக்கள் மற்றும் பிளாஸ்மா வாயுவுக்கு எதிராக குறிப்பாக பயனுள்ளதாக இருக்கும்.

3.உயர்ந்த எதிர்ப்பு செயல்திறன்

செமிகண்டக்டருக்கான செமிகோரெக்ஸ் செராமிக் ஃபோகஸ் வளையங்களின் எதிர்ப்பு சீரான தன்மை 5%க்கும் குறைவாக உள்ளது.

எதிர்ப்புத் திறன் வரம்புகள்: குறைந்த ரெஸ். (<0.02 Ω·cm), மிடில் ரெஸ். (0.2–25 Ω·cm), உயர் ரெஸ். (>100 Ω·cm).

குறைக்கடத்திக்கான செமிகோரெக்ஸ் செராமிக் ஃபோகஸ் வளையங்களின் செயல்பாடுகள்

1. விளிம்பு மின்சார புலம் மற்றும் பிளாஸ்மா விநியோகத்தை கட்டுப்படுத்துதல் மற்றும் சீராக்குதல்

செமிகோரெக்ஸ் செராமிக் ஃபோகஸ் ரிங்க்ஸ் செமிகண்டக்டருக்கான செராமிக் ஃபோகஸ் ரிங்க்ஸ், செமிகண்டக்டர் சேம்பரின் உள்ளே மின்சார புலத்தின் பரவலைக் கட்டுப்படுத்தலாம் மற்றும் செமிகண்டக்டர் செதில்களைச் சுற்றி மிகவும் சீரான பிளாஸ்மா உறையை அடையலாம், செங்குத்து மற்றும் சீரான வழியில் செதில் மேற்பரப்பில் பிளாஸ்மாவைத் தடுக்க உதவுகிறது. இந்த வழியில், எச்சிங் எட்ஜ் விளைவை வெகுவாகக் குறைக்கலாம் மற்றும் எச்சிங் துல்லியத்தை கணிசமாக மேம்படுத்தலாம்.

2.எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்கைப் பாதுகாக்கவும்

செதுக்கும் செயல்பாட்டில் கவனம் வளையங்களின் பாதுகாப்பு இல்லாமல், மின்னியல் சக் குண்டுவீச்சு மற்றும் உயர் ஆற்றல் பிளாஸ்மாவின் அரிப்புக்கு வெளிப்படும். எலெக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்ஸ்கள் அதிக விலையுள்ள பொருட்களால் ஆனது, மிக அதிக மாற்று செலவில். ஃபோகஸ் ரிங்க்களைப் பயன்படுத்துவது மின்னியல் சக்கின் பிளாஸ்மா அரிப்பை திறம்பட குறைக்கலாம் மற்றும் மின்னியல் சக்கின் பராமரிப்பு மற்றும் மாற்று செலவுகளை குறைக்கலாம்.