செமிகோரெக்ஸ் அப்பர் ஹாஃப் மூன் என்பது எபிடாக்சியல் உலைகளில் பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்ட அரை வட்டமான எஸ்.ஐ.சி பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வேஃபர் சசெப்டர் ஆகும். தொழில்துறை முன்னணி பொருள் தூய்மை, துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் சீரான SIC பூச்சு ஆகியவற்றிற்கு செமிகோரெக்ஸைத் தேர்வுசெய்க, இது நீண்டகால செயல்திறன் மற்றும் உயர்ந்த செதில் தரத்தை உறுதி செய்கிறது.*
செமிகோரெக்ஸ் அப்பர் ஹாஃப் மூன் என்பது எபிடாக்சியல் செயலாக்க உபகரணங்களுக்காக நேர்த்தியாக வடிவமைக்கப்பட்ட அரை வட்ட வட்டம் கொண்ட கேரியர் ஆகும். எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் ஒரு முக்கியமான சுசெப்டர் கூறுகளாக, இந்த பகுதி உயர் வெப்பநிலை வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) போது சிலிக்கான் செழிப்புகளை ஆதரிக்கவும் உறுதிப்படுத்தவும் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. உயர் தூய்மை கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, ஒரு சீரான சிலிக்கான் கார்பைடு (sic) பூச்சு மூலம் பாதுகாக்கப்படுகிறது, மேல் அரை மூன் இயந்திர வலுவான தன்மை, சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் விதிவிலக்கான அரிப்பு எதிர்ப்பை ஒருங்கிணைத்து அதிக துல்லியமான எபிடாக்ஸியின் கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்கிறது.
இந்த தயாரிப்பு அதன் பெயரை அதன் தனித்துவமான அரை நிலவு வடிவவியலிலிருந்து பெறுகிறது, இது ஒற்றை-வாஃபர் அல்லது மல்டி-வாஃபர் எபிடாக்சியல் உலைகளில் குறிப்பிட்ட சுழற்சி தளங்களுக்கு நோக்கமாக கட்டமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் தனித்துவமான வடிவம் சீரான வாயு ஓட்டம் மற்றும் வெப்ப விநியோகத்தை எளிதாக்குவது மட்டுமல்லாமல், ஏற்கனவே உள்ள வெப்பம் மற்றும் சுழற்சி கூட்டங்களில் எளிதாக ஒருங்கிணைக்க அனுமதிக்கிறது. அரை வட்ட வடிவமைப்பு உகந்த செதில் பொருத்துதலை உறுதி செய்கிறது, வெப்ப அழுத்தத்தைக் குறைக்கிறது, மேலும் முழு செதில் மேற்பரப்பு முழுவதும் சீரான எபிடாக்சியல் பட தடிமன் அடைவதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.
மேல் பாதி நிலவு தயாரிப்பு அல்ட்ரா-ஃபைன் கிராஃபைட்டின் அடி மூலக்கூறுகளை உள்ளடக்கியது, ஏனெனில் மிக அதிக வெப்பநிலையில் நிலையான அல்ட்ரா-ஃபைன் கட்டமைப்பின் ஒருங்கிணைந்த செயல்திறன் நன்மைகள் மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் ரன்களை விட தோல்விக்கு எதிர்ப்பானது. பயன்பாட்டை நீட்டிக்க, வேதியியல் நீராவி படிவு தொழில்நுட்பத்தால் அதிக தூய்மை அடர்த்தியான எஸ்.ஐ.சி பூச்சு பயன்படுத்தப்பட்டது, எச்.சி.எல், சி.எல்.இ, சிலேன் மற்றும் பிற அரிக்கும் செயல்முறை வாயுக்களிலிருந்து கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகளை தனிமைப்படுத்தியது. பொருட்படுத்தாமல், எஸ்.ஐ.சி பூச்சு மேல் அரை மூன் தயாரிப்பு மற்றும் அதன் முழுமையின் பாகங்கள் ஆகிய இரண்டிற்கும் மிகவும் நீடித்த மற்றும் நீட்டிக்கக்கூடிய வாழ்க்கையை ஊக்குவிக்கிறது, அதே நேரத்தில் செதில் சூழலின் மாசுபாட்டைக் கூட குறைக்கிறது, இறுதியில் செயல்முறை மகசூல் மற்றும் திரைப்படத் தரத்திற்கு பயனளிக்கிறது.
SIC அடுக்கின் மேற்பரப்பு பூச்சு குறிப்பிடப்பட்டுள்ளது மற்றும் ஒரு அடி மூலக்கூறு மற்றும் நிலையான திரைப்பட உருவாக்கத்திற்கு நிலையான வெப்ப பரிமாற்றத்தை ஊக்குவிக்க தட்டையானது அல்லது மென்மையானது. மேலும், SIC பூச்சு துகள்களின் தலைமுறைக்கு கூறு எதிர்ப்பை மேம்படுத்துகிறது, இது உணர்திறன் குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளின் குறைபாட்டின் முக்கிய காரணியாகும். 1200 ° C க்கு மேல் மிகக் குறைந்த வெளிச்செல்லும் மற்றும் மிகக் குறைந்த சிதைவு உள்ளிட்ட செயல்திறன் அளவுருக்கள் மிக நீண்ட செயல்பாட்டு சுழற்சிகளுக்கு பயனுள்ள கூறுகளை வழங்குகிறது, கணினி வேலையில்லா நேரம் மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகள் குறைகின்றன.
சகிப்புத்தன்மை, பூச்சு சீரான தன்மை மற்றும் பொருள் தேர்வு குறித்து செமிகோரெக்ஸ் மேல் அரை மூன் யாருக்கும் இரண்டாவதாக இல்லை. கிராஃபைட் எந்திரத்திலிருந்து, எஸ்.ஐ.சி பூச்சுகளின் படிவு மற்றும் இறுதி ஆய்வு வரை ஒவ்வொரு கட்டத்திலும் கடுமையான தரக் கட்டுப்பாட்டை நாங்கள் பராமரிக்கிறோம், ஒவ்வொரு யூனிட்டும் குறைக்கடத்தி தர கருவிகளுக்குத் தேவையான கடுமையான தரங்களை பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்கிறது. மேலும், வடிவியல், தடிமன் மற்றும் மேற்பரப்பு சிகிச்சைகள் ஆகியவற்றைத் தனிப்பயனாக்குவதில் எங்கள் அனுபவம் கிட்டத்தட்ட அனைத்து வகையான எபிடாக்ஸி தளங்களுக்கும் பயன்படுத்தப்படுவதாக அங்கீகரிக்கப்பட்டுள்ளது.
சிலிக்கான் அல்லது கூட்டு குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸிக்கு செதில் நிலைத்தன்மை, வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் மாசு கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றிற்கு மேல் அரை மூன் விமர்சன ரீதியாக முக்கியமானது. அதன்படி, நம்பகமான, உயர் செயல்திறன் கொண்ட SUSCECEPTOR கூறுகளுக்கான வாடிக்கையாளர் எதிர்பார்ப்புகளை அடைய செமிகோரெக்ஸ் இணையற்ற நிபுணத்துவம், பொருள் தொழில்நுட்பம் மற்றும் உற்பத்தி நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.