TaC பூச்சு கிராஃபைட் ஒரு தனியுரிம இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை மூலம் டான்டலம் கார்பைட்டின் நுண்ணிய அடுக்குடன் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை பூசுவதன் மூலம் உருவாக்கப்படுகிறது.
டான்டலம் கார்பைடு (TaC) என்பது டான்டலம் மற்றும் கார்பனைக் கொண்ட ஒரு கலவை ஆகும். இது உலோக மின் கடத்துத்திறன் மற்றும் விதிவிலக்கான உயர் உருகும் புள்ளியைக் கொண்டுள்ளது, இது வலிமை, கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்பம் மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பிற்கு அறியப்பட்ட ஒரு பயனற்ற பீங்கான் பொருளாக அமைகிறது. டான்டலம் கார்பைடுகளின் உருகுநிலையானது தூய்மையைப் பொறுத்து சுமார் 3880°C இல் உச்சத்தை அடைகிறது மற்றும் பைனரி சேர்மங்களிலேயே அதிக உருகும் புள்ளிகளைக் கொண்டுள்ளது. MOCVD மற்றும் LPE போன்ற கலவை குறைக்கடத்திகள் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் செயல்திறன் திறன்களை விட அதிக வெப்பநிலை தேவைகள் அதிகமாக இருக்கும்போது இது ஒரு கவர்ச்சிகரமான மாற்றாக அமைகிறது.
Semicorex TaC பூச்சு பொருள் தரவு
திட்டங்கள் |
அளவுருக்கள் |
அடர்த்தி |
14.3 (gm/cm³) |
உமிழ்வு |
0.3 |
CTE (×10-6/கே) |
6.3 |
கடினத்தன்மை (HK) |
2000 |
எதிர்ப்பு (ஓம்-செ.மீ.) |
1×10-5 |
வெப்ப நிலைத்தன்மை |
<2500℃ |
கிராஃபைட் பரிமாண மாற்றம் |
-10~-20um (குறிப்பு மதிப்பு) |
பூச்சு தடிமன் |
≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |
|
|
மேலே உள்ளவை வழக்கமான மதிப்புகள் |
|
Semicorex TaC-coated Seal Ring ஆனது சீலிங் கூறுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படும், குறைக்கடத்தி புனையலின் கோரும் சூழல்களில் விதிவிலக்கான செயல்திறன் நன்மைகளை வழங்குகிறது. TaC பூச்சு இரசாயன எதிர்ப்பு, தீவிர வெப்பநிலை மற்றும் இயந்திர உடைகள் தொடர்பான முக்கியமான சவால்களை நிவர்த்தி செய்கிறது, அதிக செயல்முறை விளைச்சல், அதிகரித்த உபகரணங்களின் இயக்க நேரம் மற்றும் இறுதியில் குறைந்த உற்பத்தி செலவுகளை செயல்படுத்துகிறது. செமிகோரெக்ஸில் உள்ள நாங்கள் உயர் செயல்திறன் கொண்ட TaC-பூசப்பட்ட சீல் மோதிரத்தை உற்பத்தி செய்வதற்கும் சப்ளை செய்வதற்கும் அர்ப்பணித்துள்ளோம், இது தரத்தை செலவு-திறனுடன் இணைக்கிறது.**
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும், இது குறைக்கடத்தி செதில்களை உருவாக்குவதற்கு அவசியமான படிவு செயல்முறைகளில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. செமிகோரெக்ஸ் போட்டி விலையில் தரமான தயாரிப்புகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது, சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளியாக மாற நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்*.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் டான்டலம் கார்பைடு சக் என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு மேம்பட்ட கூறு ஆகும், இது அதன் விதிவிலக்கான வெப்ப மற்றும் இயந்திர பண்புகளுக்கு பெயர் பெற்றது. செமிகோரெக்ஸ் போட்டி விலையில் தரமான தயாரிப்புகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது, சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளியாக மாற நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்*.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex TaC கோடட் ரிங் இந்த கோரும் தேவைகளை பூர்த்தி செய்யும் ஒரு முக்கிய அங்கமாக உள்ளது. செமிகோரெக்ஸ் போட்டி விலையில் தரமான தயாரிப்புகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது, சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளியாக மாற நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்*.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புSemicorex TaC பூசப்பட்ட ஷவர்ஹெட் இரசாயன நீராவி படிவு செயல்முறைக்கு ஒருங்கிணைந்ததாகும், இது இணையற்ற செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட ஆயுளை வழங்குகிறது. செமிகோரெக்ஸ் போட்டி விலையில் தரமான தயாரிப்புகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது, சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளியாக மாற நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்*.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் TaC பூசப்பட்ட சக் குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில் குறிப்பிடத்தக்க முன்னேற்றத்தைக் குறிக்கிறது. செமிகோரெக்ஸ் போட்டி விலையில் தரமான தயாரிப்புகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது, சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளியாக மாற நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்*.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு