செமிகோரெக்ஸ் CVD TaC பூச்சு உறையானது எபிடாக்ஸி உலைகளுக்குள் தேவைப்படும் சூழல்களில் ஒரு முக்கியமான செயலாக்க தொழில்நுட்பமாக மாறி வருகிறது, அதிக வெப்பநிலை, வினைத்திறன் வாயுக்கள் மற்றும் கடுமையான தூய்மைத் தேவைகள் ஆகியவற்றால் வகைப்படுத்தப்படுகிறது, நிலையான படிக வளர்ச்சியை உறுதி செய்வதற்கும் தேவையற்ற எதிர்வினைகளைத் தடுப்பதற்கும் வலுவான பொருட்கள் தேவைப்படுகின்றன.**
Semicorex CVD TaC பூச்சு கவர் ஒரு ஈர்க்கக்கூடிய கடினத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, பொதுவாக விக்கர்ஸ் அளவில் 2500-3000 HV ஐ அடைகிறது. இந்த விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை டான்டலம் மற்றும் கார்பன் அணுக்களுக்கு இடையே உள்ள நம்பமுடியாத வலுவான கோவலன்ட் பிணைப்புகளிலிருந்து உருவாகிறது, இது சிராய்ப்பு உடைகள் மற்றும் இயந்திர சிதைவுக்கு எதிராக அடர்த்தியான, ஊடுருவ முடியாத தடையை உருவாக்குகிறது. நடைமுறையில், இது நீண்ட நேரம் கூர்மையாக இருக்கும், CVD TaC கோட்டிங் கவரின் பரிமாணத் துல்லியத்தைப் பராமரிக்கும் மற்றும் அதன் வாழ்நாள் முழுவதும் சீரான செயல்திறனை வழங்கும் கருவிகள் மற்றும் கூறுகளை மொழிபெயர்க்கிறது.
கிராஃபைட், அதன் தனித்துவமான பண்புகளுடன், பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளுக்கு அபரிமிதமான ஆற்றலைக் கொண்டுள்ளது. இருப்பினும், அதன் உள்ளார்ந்த பலவீனம் பெரும்பாலும் அதன் பயன்பாட்டைக் கட்டுப்படுத்துகிறது. CVD TaC பூச்சுகள் விளையாட்டை மாற்றுகின்றன, கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகளுடன் நம்பமுடியாத வலுவான பிணைப்பை உருவாக்குகின்றன, இரு உலகங்களிலும் சிறந்தவற்றை ஒருங்கிணைக்கும் ஒரு ஒருங்கிணைந்த பொருளை உருவாக்குகின்றன: கிராஃபைட்டின் உயர் வெப்ப மற்றும் மின் கடத்துத்திறன் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் CVD இன் இரசாயன செயலற்ற தன்மை. TaC பூச்சு கவர்.
எபிடாக்சி உலைகளுக்குள் ஏற்படும் விரைவான வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்கள் பொருட்களின் மீது அழிவை ஏற்படுத்தலாம், இதனால் விரிசல், சிதைவு மற்றும் பேரழிவு தோல்வி ஏற்படுகிறது. இருப்பினும், CVD TaC கோட்டிங் கவர், குறிப்பிடத்தக்க வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, அவற்றின் கட்டமைப்பு ஒருமைப்பாட்டை சமரசம் செய்யாமல் விரைவான வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகளைத் தாங்கும் திறன் கொண்டது. இந்த பின்னடைவு CVD TaC பூச்சு அட்டையின் தனித்துவமான நுண் கட்டமைப்பிலிருந்து உருவாகிறது, இது குறிப்பிடத்தக்க உள் அழுத்தங்களை உருவாக்காமல் விரைவான விரிவாக்கம் மற்றும் சுருக்கத்தை அனுமதிக்கிறது.
அரிக்கும் அமிலங்கள் முதல் ஆக்கிரமிப்பு கரைப்பான்கள் வரை, இரசாயன போர்க்களம் மன்னிக்க முடியாதது. இருப்பினும், CVD TaC கோட்டிங் கவர் உறுதியாக நிற்கிறது, இது பரந்த அளவிலான இரசாயனங்கள் மற்றும் அரிக்கும் முகவர்களுக்கு குறிப்பிடத்தக்க எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது. இந்த இரசாயன செயலற்ற தன்மை இரசாயன செயலாக்கம், எண்ணெய் மற்றும் எரிவாயு ஆய்வு மற்றும் பிற தொழில்களில் பயன்பாடுகளுக்கு ஒரு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது, அங்கு கூறுகள் வழக்கமாக கடுமையான இரசாயன சூழல்களுக்கு வெளிப்படும்.
டான்டலம் கார்பைடு (TaC) நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் பூச்சு
Epitaxy உபகரணங்களில் உள்ள பிற முக்கிய பயன்பாடுகள்:
சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் வேஃபர் கேரியர்கள்:இந்த கூறுகள் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது அடி மூலக்கூறைப் பிடித்து வெப்பப்படுத்துகின்றன. சசெப்டர்கள் மற்றும் வேஃபர் கேரியர்களில் உள்ள CVD TaC பூச்சுகள் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை வழங்குகின்றன, அடி மூலக்கூறு மாசுபடுவதைத் தடுக்கின்றன, மேலும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் எதிர்வினை வாயுக்களால் ஏற்படும் சிதைவு மற்றும் சிதைவுக்கு எதிர்ப்பை மேம்படுத்துகின்றன.
எரிவாயு உட்செலுத்திகள் மற்றும் முனைகள்:இந்த கூறுகள் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் எதிர்வினை வாயுக்களின் துல்லியமான ஓட்டங்களை வழங்குவதற்கு பொறுப்பாகும். CVD TaC பூச்சுகள் அரிப்பு மற்றும் அரிப்புக்கான எதிர்ப்பை மேம்படுத்துகின்றன, சீரான வாயு விநியோகத்தை உறுதி செய்கின்றன மற்றும் படிக வளர்ச்சியை சீர்குலைக்கும் துகள் மாசுபாட்டைத் தடுக்கின்றன.
சேம்பர் லைனிங்ஸ் மற்றும் ஹீட் ஷீல்ட்ஸ்:எபிடாக்ஸி உலைகளின் உள் சுவர்கள் தீவிர வெப்பம், வினைத்திறன் வாயுக்கள் மற்றும் சாத்தியமான படிவு உருவாக்கத்திற்கு உட்படுத்தப்படுகின்றன. CVD TaC பூச்சுகள் இந்த மேற்பரப்புகளைப் பாதுகாக்கின்றன, அவற்றின் ஆயுட்காலம் நீட்டிக்கப்படுகின்றன, துகள் உற்பத்தியைக் குறைக்கின்றன மற்றும் சுத்தம் செய்யும் நடைமுறைகளை எளிதாக்குகின்றன.