TaC பூச்சு கொண்ட MOCVD சஸ்செப்டர்

TaC பூச்சுடன் கூடிய செமிகோரெக்ஸ் MOCVD சஸ்செப்டர் கவனமாக தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, இது அதிக செயல்திறன் மற்றும் நீடித்த தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக அதன் விதிவிலக்கான பண்புகளுக்காக தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டது. கிராஃபைட் அதன் சிறந்த வெப்ப மற்றும் மின் கடத்துத்திறன் மற்றும் MOCVD செயல்முறைகளின் பொதுவான உயர் வெப்பநிலையைத் தாங்கும் திறனுக்காக அறியப்படுகிறது. இந்த MOCVD சஸ்பெப்டரின் முக்கிய அம்சம் அதன் TaC பூச்சில் உள்ளது. டான்டலம் கார்பைடு என்பது அதன் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை, இரசாயன செயலற்ற தன்மை மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றிற்கு புகழ்பெற்ற ஒரு பயனற்ற பீங்கான் பொருளாகும். கிராஃபைட் சசெப்டரை TaC உடன் பூசுவதன் மூலம், MOCVD செயல்முறைகளின் கோரும் நிலைமைகளைத் தாங்குவது மட்டுமல்லாமல், அமைப்பின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் மற்றும் நீடித்து நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்தும் ஒரு கூறுகளை நாங்கள் அடைகிறோம்.

TaC பூச்சு கொண்ட MOCVD சஸ்செப்டர் பூச்சுக்கும் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையே ஒரு வலுவான பிணைப்பை உறுதி செய்கிறது. கிராஃபைட்டை கவனமாக தேர்ந்தெடுப்பது இதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. TaC பூச்சுடன் எங்கள் MOCVD சஸ்செப்டரில் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட கிராஃபைட்டின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் (CTE) TaC பூச்சுடன் நெருக்கமாகப் பொருந்துகிறது. CTE மதிப்புகளில் உள்ள இந்த நெருக்கமான பொருத்தம் MOCVD செயல்முறைகளில் பொதுவான விரைவான வெப்பமூட்டும் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகளின் போது ஏற்படக்கூடிய வெப்ப அழுத்தங்களைக் குறைக்கிறது. இதன் விளைவாக, TaC பூச்சு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுடன் மிகவும் வலுவாக ஒட்டிக்கொள்கிறது, இது சஸ்செப்டரின் இயந்திர ஒருமைப்பாடு மற்றும் ஆயுட்காலம் ஆகியவற்றை கணிசமாக அதிகரிக்கிறது.

TaC பூச்சுடன் கூடிய MOCVD சஸ்பெக்டர் மிகவும் நீடித்தது மற்றும் MOCVD செயல்முறையின் இயந்திர அழுத்தங்கள் மற்றும் கடுமையான நிலைமைகளை சிதைக்காமல் தாங்கும். அதிக மகசூல் தரும் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்குத் தேவையான துல்லியமான வடிவியல் மற்றும் மேற்பரப்புத் தரத்தை பராமரிக்க இந்த ஆயுள் அவசியம். வலுவான TaC பூச்சு சஸ்செப்டரின் செயல்பாட்டு ஆயுளை நீட்டிக்கிறது, மாற்றீடுகளின் அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது மற்றும் ஒரு MOCVD அமைப்பை சொந்தமாக்குவதற்கான ஒட்டுமொத்த செலவைக் குறைக்கிறது.

TaC இன் வெப்ப நிலைத்தன்மை, திறமையான MOCVD செயல்முறைகளுக்குத் தேவையான உயர் வெப்பநிலையில் TaC பூச்சுடன் MOCVD சஸ்பெப்டரை இயக்க அனுமதிக்கிறது. இதன் பொருள், TaC பூச்சு கொண்ட MOCVD சஸ்செப்டர் குறைந்த வெப்பநிலை GaN வளர்ச்சியில் இருந்து உயர் வெப்பநிலை SiC எபிடாக்ஸி வரை பரவலான படிவு செயல்முறைகளை ஆதரிக்க முடியும், இது பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு MOCVD அமைப்புகளை மேம்படுத்த விரும்பும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களுக்கு ஒரு மதிப்புமிக்க அங்கமாக அமைகிறது.

TaC பூச்சுடன் கூடிய Semicorex MOCVD சஸ்செப்டர் செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸியில் குறிப்பிடத்தக்க முன்னேற்றத்தைக் குறிக்கிறது. கிராஃபைட் மற்றும் TaC இன் பண்புகளை இணைப்பதன் மூலம், நவீன MOCVD செயல்முறைகளின் தேவைகளை பூர்த்தி செய்வது மட்டுமல்லாமல் அதை மீறும் ஒரு சஸ்செப்டரை நாங்கள் உருவாக்கியுள்ளோம். கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் TaC பூச்சுக்கு இடையே உள்ள வெப்ப விரிவாக்கத்தின் (CTE) நெருக்கமாகப் பொருந்திய குணகங்கள் வலுவான பிணைப்பை உறுதி செய்கின்றன, அதே சமயம் TaC இன் விதிவிலக்கான கடினத்தன்மை, இரசாயன செயலற்ற தன்மை மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவை இணையற்ற பாதுகாப்பு மற்றும் நீடித்த தன்மையை வழங்குகின்றன. இது சிறந்த செயல்திறனை வழங்கும், எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் தரத்தை மேம்படுத்தும் மற்றும் MOCVD அமைப்புகளின் செயல்பாட்டு ஆயுளை நீட்டிக்கும் ஒரு சஸ்செப்டரில் விளைகிறது. செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியாளர்கள், அதிக மகசூல், குறைந்த செலவுகள் மற்றும் அதிக செயல்முறை நெகிழ்வுத்தன்மையை அடைய TaC பூச்சுடன் கூடிய எங்கள் MOCVD சஸ்செப்டரை நம்பலாம், இது தொழில்நுட்ப கண்டுபிடிப்பு மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் சிறந்து விளங்குவதற்கு இது ஒரு இன்றியமையாத அங்கமாகும்.