ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் எபி சஸ்செப்டர்

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயலாக்கத்தில் உள்ள சஸ்செப்டர்கள் உயர்ந்த வெப்பநிலையைத் தாங்கும் மற்றும் கடுமையான இரசாயன சுத்திகரிப்பு நடைமுறைகளைத் தாங்கும் திறனைத் தேவைப்படுத்துகின்றன. சிங்கிள்-கிரிஸ்டல் சிலிக்கான் எபி சஸ்செப்டர், எபிடாக்ஸி உபகரணப் பயன்பாடுகளில் எதிர்கொள்ளும் இந்த துல்லியமான கோரிக்கைகளை குறிப்பாகப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில் நுட்பமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட்டை உள்ளடக்கிய கட்டுமானத்தை இந்த சஸ்செப்டர்கள் பெருமைப்படுத்துகின்றன, இது வெப்பத்திற்கு இணையற்ற எதிர்ப்பை அளிக்கிறது, சீரான எபிடாக்ஸி லேயர் தடிமன் மற்றும் எதிர்ப்பிற்கான சீரான வெப்ப விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது.

கூடுதலாக, சிங்கிள்-கிரிஸ்டல் சிலிக்கான் எபி சஸ்செப்டர் கடுமையான இரசாயன துப்புரவு முகவர்களுக்கு எதிராக குறிப்பிடத்தக்க ஆயுளை வெளிப்படுத்துகிறது. நுண்ணிய SiC படிக பூச்சுகளின் பயன்பாடு ஒரு அழகிய, மென்மையான மேற்பரப்பிற்கு மேலும் பங்களிக்கிறது, இது திறம்பட கையாளுதலுக்கு மிகவும் முக்கியத்துவம் வாய்ந்தது, ஏனெனில் கறைபடாத செதில்கள் அவற்றின் முழு மேற்பரப்பு முழுவதும் ஏராளமான புள்ளிகளில் சசெப்டருடன் தொடர்பு கொள்கின்றன.

ஒற்றை-படிக சிலிக்கான் எபி சஸ்செப்டரின் பயன்பாடு அசைக்க முடியாத நம்பகத்தன்மை மற்றும் நீட்டிக்கப்பட்ட ஆயுட்காலம் ஆகியவற்றை உறுதிசெய்கிறது, அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையைத் தணிக்கிறது மற்றும் பின்னர் வேலையில்லா நேரம் மற்றும் பராமரிப்பு செலவுகள் இரண்டையும் குறைக்கிறது. அதன் உறுதியான கட்டுமானம் மற்றும் விதிவிலக்கான செயல்பாட்டுத் திறன்கள், செமிகண்டக்டர் உற்பத்திச் செயல்பாடுகளின் எல்லைக்குள் உற்பத்தித்திறன் மற்றும் செலவு-செயல்திறனை இறுதியில் மேம்படுத்தும் செயல்முறைத் திறனுக்கு கணிசமாக பங்களிக்கின்றன.