மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் சஸ்பெப்டர்

Semicorex Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor என்பது உயர் சுத்திகரிக்கப்பட்ட SiC உடன் பூசப்பட்ட ஒரு கிராஃபைட் தயாரிப்பு ஆகும், இது அதிக வெப்பம் மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. CVD சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கேரியர் செமிகண்டக்டர் செதில்களில் எபிடாக்சியல் அடுக்கை உருவாக்கும் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது.
எங்கள் மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டர் சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்ட வடிவத்தை அடைய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலையை உறுதி செய்கிறது. இது எந்த மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்க உதவுகிறது, செதில் சிப்பில் உயர்தர எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.
எங்களின் மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டர் பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.

மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டரின் அளவுருக்கள்

மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டரின் அம்சங்கள்

- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் நல்ல அடர்த்தி மற்றும் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வேலை சூழல்களில் நல்ல பாதுகாப்புப் பாத்திரத்தை வகிக்க முடியும்.
- ஒற்றைப் படிக வளர்ச்சிக்காகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர் மிக உயர்ந்த மேற்பரப்புத் தட்டையானது.
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்குக்கு இடையே உள்ள வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்தின் வேறுபாட்டைக் குறைக்கவும், விரிசல் மற்றும் சிதைவைத் தடுக்க பிணைப்பு வலிமையை திறம்பட மேம்படுத்தவும்.
- கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு இரண்டும் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் சிறந்த வெப்ப விநியோக பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன.
- உயர் உருகுநிலை, உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு.