சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் (SiC) என்பது சிலிக்கான் மற்றும் கார்பனைக் கொண்ட ஒரு மேம்பட்ட பீங்கான் பொருள். சிலிக்கான் கார்பைட்டின் தானியங்களை சின்டரிங் மூலம் ஒன்றாகப் பிணைத்து மிகவும் கடினமான பீங்கான்களை உருவாக்கலாம். செமிகோரெக்ஸ் உங்களுக்குத் தேவையான தனிப்பயன் சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களை வழங்குகிறது.
விண்ணப்பங்கள்
சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள் மூலம் பொருள் பண்புகள் 1,400 ° C க்கும் அதிகமான வெப்பநிலை வரை மாறாமல் இருக்கும். உயர் யங் மாடுலஸ் > 400 GPa சிறந்த பரிமாண நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
சிலிக்கான் கார்பைடு கூறுகளுக்கான பொதுவான பயன்பாடு உராய்வு தாங்கு உருளைகள் மற்றும் இயந்திர முத்திரைகளைப் பயன்படுத்தி டைனமிக் சீல் செய்யும் தொழில்நுட்பமாகும், எடுத்துக்காட்டாக பம்புகள் மற்றும் இயக்கி அமைப்புகளில்.
மேம்பட்ட பண்புகளுடன், சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களும் குறைக்கடத்தி தொழிலில் பயன்படுத்த ஏற்றதாக உள்ளது.
வேஃபர் படகுகள் →
செமிகோரெக்ஸ் வேஃபர் படகு சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் மூலம் ஆனது, இது அரிப்புக்கு நல்ல எதிர்ப்பையும், அதிக வெப்பநிலை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு சிறந்த எதிர்ப்பையும் கொண்டுள்ளது. மேம்பட்ட மட்பாண்டங்கள் சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் பிளாஸ்மா நீடித்த தன்மையை வழங்குகின்றன, அதே நேரத்தில் அதிக திறன் கொண்ட செதில் கேரியர்களுக்கான துகள்கள் மற்றும் அசுத்தங்களை குறைக்கின்றன.
எதிர்வினை சின்டர் செய்யப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு
மற்ற சின்டரிங் செயல்முறைகளுடன் ஒப்பிடும்போது, அடர்த்தியாக்கும் செயல்பாட்டின் போது எதிர்வினை சின்டரிங் அளவு மாற்றம் சிறியது, மேலும் துல்லியமான பரிமாணங்களைக் கொண்ட தயாரிப்புகளை உருவாக்க முடியும். இருப்பினும், சின்டர் செய்யப்பட்ட உடலில் அதிக அளவு SiC இருப்பது எதிர்வினை சின்டர் செய்யப்பட்ட SiC பீங்கான்களின் உயர் வெப்பநிலை செயல்திறனை மோசமாக்குகிறது.
அழுத்தம் இல்லாத சிலிக்கான் கார்பைடு
பிரஷர்லெஸ் சின்டர்டு சிலிக்கான் கார்பைடு (SSiC) ஒரு குறிப்பாக ஒளி மற்றும் அதே நேரத்தில் கடினமான உயர் செயல்திறன் கொண்ட பீங்கான் ஆகும். SSiC அதிக வலிமையால் வகைப்படுத்தப்படுகிறது, இது தீவிர வெப்பநிலையில் கூட கிட்டத்தட்ட மாறாமல் இருக்கும்.
மறுபடிக சிலிக்கான் கார்பைடு
மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (RSiC) என்பது உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு கரடுமுரடான தூள் மற்றும் உயர்-செயல்பாட்டு சிலிக்கான் கார்பைடு ஃபைன் பவுடர் ஆகியவற்றைக் கலந்து உருவாக்கப்பட்ட அடுத்த தலைமுறைப் பொருட்களாகும்.
செமிகோரெக்ஸ் உங்கள் OEM செமி ஃபேப்ரிகேஷன் கருவிகள் மற்றும் வேஃபர் கையாளும் கூறுகளுக்கு செமிகண்டக்டர் தர மட்பாண்டங்களை வழங்குகிறது. நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு படத்தின் தயாரிப்பாளர் மற்றும் சப்ளையர். எங்கள் செராமிக் ஆக்சில் ஸ்லீவ் ஒரு நல்ல விலை நன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பெரும்பாலான ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை உள்ளடக்கியது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் உங்கள் OEM செமி ஃபேப்ரிகேஷன் கருவிகள் மற்றும் வேஃபர் கையாளும் கூறுகளுக்கு செமிகண்டக்டர் தர மட்பாண்டங்களை வழங்குகிறது. நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு படத்தின் தயாரிப்பாளர் மற்றும் சப்ளையர். எங்கள் SiC ஆக்சில் ஸ்லீவ் ஒரு நல்ல விலை நன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பெரும்பாலான ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை உள்ளடக்கியது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் மேம்பட்ட, உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கூறுகள் செதில் கையாளுதல் செயல்பாட்டில் தீவிர சூழல்களைத் தாங்கும் வகையில் கட்டப்பட்டுள்ளன. எங்கள் செமிகண்டக்டர் வேஃபர் சக் ஒரு நல்ல விலை நன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை உள்ளடக்கியது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புஅடுத்த தலைமுறை லித்தோகிராஃபி மற்றும் செதில்-கையாளுதல் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது, செமிகோரெக்ஸ் அல்ட்ரா-ப்யூர் செராமிக் கூறுகள் குறைந்தபட்ச மாசுபாட்டை உறுதிசெய்து விதிவிலக்காக நீண்ட ஆயுட்கால செயல்திறனை வழங்குகின்றன. எங்கள் Wafer Vacuum Chuck ஒரு நல்ல விலை நன்மையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளை உள்ளடக்கியது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புகுறைக்கடத்தி செயலாக்கத்திற்கான செமிகோரெக்ஸ் நீடித்த கவனம் வளையங்கள் குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் பயன்படுத்தப்படும் பிளாஸ்மா எட்ச் அறைகளின் தீவிர சூழல்களைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. எங்கள் ஃபோகஸ் மோதிரங்கள் அடர்த்தியான, அணிய-எதிர்ப்பு சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுடன் பூசப்பட்ட உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டால் ஆனவை. SiC பூச்சு உயர் அரிப்பு மற்றும் வெப்ப எதிர்ப்பு பண்புகள், அத்துடன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் உள்ளது. எங்கள் ஃபோகஸ் வளையங்களின் சேவை வாழ்க்கையை மேம்படுத்த, வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி கிராஃபைட்டில் மெல்லிய அடுக்குகளில் SiC ஐப் பயன்படுத்துகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகோரெக்ஸ் பிளாஸ்மா ப்ராசசிங் ஃபோகஸ் ரிங் என்பது செமிகண்டக்டர் துறையில் பிளாஸ்மா எட்ச் செயலாக்கத்தின் அதிக தேவைகளை பூர்த்தி செய்வதற்காக சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. எங்களின் மேம்பட்ட, உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கூறுகள் தீவிர சூழல்களைத் தாங்கும் வகையில் கட்டமைக்கப்பட்டுள்ளன மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்குகள் மற்றும் எபிடாக்ஸி குறைக்கடத்திகள் உட்பட பல்வேறு பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்த ஏற்றது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு