கிடைமட்ட அறை உலை SIC படகுகள்

செமிகோரெக்ஸ் கிடைமட்ட அறை உலை எஸ்.ஐ.சி படகுகள் மிகவும் வடிவமைக்கப்பட்ட பகுதியாகும், இது ஒரு கிடைமட்ட அறை உலையில் அதிக வெப்பநிலை வெப்ப செயலாக்கத்திற்கு உட்படுத்தப்படும் போது செதில்கள் அல்லது அடி மூலக்கூறுகளை வைத்திருக்கிறது மற்றும் கொண்டு செல்கிறது. செதில் படகு உயர் தூய்மை SIC பிணைப்பால் ஆனது சிலிக்கான் கார்பைடு (sic), இது குறைக்கடத்தி, ஒளிமின்னழுத்த மற்றும் மேம்பட்ட மட்பாண்ட செயல்முறைகளில் கோரப்படும் வலிமை, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் உயர் வேதியியல் எதிர்ப்பின் தனித்துவமான கலவையை வழங்குகிறது. செதில்கள், பரிமாண நிலைத்தன்மை மற்றும் செதில்களின் துல்லியம் ஆகியவற்றை தீவிர செயல்முறை வெப்பநிலைக்கு நீட்டிக்கப்பட்ட வெளிப்பாட்டால் இழக்கப்படாது.

சிலிக்கான் கார்பைட்டின் சிறந்த பண்புகள் கிடைமட்ட அறை உலை SIC படகுகளுக்கு குவார்ட்ஸ் அல்லது அலுமினா போன்ற செதில் படகுகளுக்கான வழக்கமான பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது ஒரு சிறந்த செயல்திறன் நன்மையை வழங்குகின்றன. வெப்ப சுழற்சியின் வெப்பம் மற்றும் குளிரூட்டல் அல்லது உச்சநிலைகளின் வேகம் பொருட்படுத்தாமல், அதிக உருகும் புள்ளி, வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மற்றும் இயந்திர வலிமை ஆகியவற்றின் காரணமாக அவை அரிதான குறுகிய கால வெப்பம் மற்றும் குளிரூட்டும் சுழற்சிகளை சிறப்பாக தாங்க முடியும். ஒரு கிடைமட்ட உலை முற்றிலும் செதில்களின் நிலைகளின் நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்முறை நிலைமைகளின் வெளிப்பாடு ஆகியவற்றை நம்பியிருப்பதால், செதில்களின் சரியான சீரமைப்பு நிலையான செயல்முறை மகசூல் மற்றும் மீண்டும் நிகழ்தகவை வழங்குகிறது. வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குறைந்த குணகம் என்பது படகு அதன் வாழ்க்கையில் சிதைந்து போகாது மற்றும் தக்கவைக்கப்பட்ட வடிவம் மற்றும் செதில்களின் இடைவெளியை வழங்காது.

மறுகட்டமைக்கப்பட்ட SIC இன் நேர்த்தியான, அடர்த்தியான அமைப்பு ஆக்ஸிஜனேற்றம், அரிப்பு மற்றும் செயல்முறை வாயுக்கள் மற்றும் துணை தயாரிப்புகளால் மாசுபடுவதற்கு குறிப்பிடத்தக்க எதிர்ப்பை வழங்குகிறது. ஆக்கிரமிப்பு வளிமண்டலங்களில் பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம், எல்பிசிவிடி மற்றும் அனீலிங் போன்ற செயல்முறைகளுக்கு இது படகு குறிப்பாக சாதகமானது. SIC இன் உயர் வேதியியல் செயலற்ற தன்மை செதில் மேற்பரப்புகளுடன் எதிர்வினைகளைத் தவிர்க்கிறது, இதனால் தயாரிப்பு தூய்மையைப் பாதுகாக்கிறது மற்றும் உலையில் துகள் தலைமுறையை குறைக்கிறது. கடுமையான தூய்மை கோரிக்கைகளை பூர்த்தி செய்ய வேண்டிய உற்பத்தியாளர்களுக்கு SIC படகுகள் உதவக்கூடும், தூய்மையான செயலாக்க சூழல்களை வழங்குகின்றன மற்றும் மேம்பட்ட செதில் தரத்தை வழங்குகின்றன.

இந்த படகுகள் பல்வேறு சிக்கலான வடிவியல் மற்றும் பகுதி-குறிப்பிட்ட பரிமாணங்களுடன் துல்லியமான எந்திர மற்றும் உருவாக்கும் நுட்பங்களுடன் தயாரிக்கப்படலாம். வடிவமைப்புகள் பொதுவாக ஒரு கிடைமட்ட நோக்குநிலையில் செதில்களை பாதுகாப்பாக வைத்திருக்க பல இணையான இடங்கள்/பள்ளங்களைப் பயன்படுத்துகின்றன மற்றும் முழு செதில் மேற்பரப்பையும் வெப்ப நிலைமைகளுக்கு ஒரே மாதிரியாக அம்பலப்படுத்துகின்றன. ஸ்லாட்-டு-ஸ்லாட் இடைவெளி மற்றும் கோணங்கள் 150 மிமீ, 200 மிமீ, அல்லது 300 மிமீ போன்ற பிற விட்டம் செதில்களுக்கும், செயலாக்க விளைவுகளின் போது நேரடி காற்றோட்டத்தையும் பொருத்தவும் உகந்ததாக இருக்கும்.

கிடைமட்ட அறை உலை SIC படகுகள் நிலையான புறப்பாடுகளில் வடிவமைக்கப்படுவது மட்டுமல்லாமல், அவை தானியங்கி வேஃபர் ஏற்றிகளுடன் வேலை செய்ய வடிவமைக்கப்படலாம், இதன் விளைவாக நவீன உயர்-செயல்திறன் உற்பத்தி வரிகளில் தடையற்ற ஒருங்கிணைப்பு ஏற்படுகிறது. வலுவான வடிவமைப்பு படகுகளை கையாளும் போது சிப் அல்லது உடைப்பதற்கான வாய்ப்பைக் குறைக்கும் மற்றும் வேலையில்லா நேரத்தையும் மாற்றங்களுக்கான செலவுகளையும் குறைக்கும்.

வெப்ப கடத்துத்திறன்சிலிக்கான் கார்பைடுசெதில்களுக்கும் உலை சூழலுக்கும் இடையில் திறமையான வெப்ப பரிமாற்றத்தை எளிதாக்கும் மற்றொரு முக்கிய நன்மையைக் குறிக்கிறது. நன்மை என்னவென்றால், உற்பத்தியாளர்கள் அதிக சீரான செயலாக்க நிலைமைகளை அடைய முடியும் மற்றும் சுழற்சி நேரங்களைக் குறைக்க முடியும், இது உற்பத்தி செயல்திறனை அதிகரிக்கும். எஸ்.ஐ.சி படகுகள் குறைக்கடத்தி செதில் புனையல், சூரிய மின்கல உற்பத்தி அல்லது உயர்ந்த வெப்பநிலையில் பிற மேம்பட்ட பொருட்கள் செயலாக்கத்திற்கு பயன்படுத்தப்படுகிறதா என்பதை நிலையான மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய முடிவுகளை வழங்குகின்றன.

சுருக்கமாக, கிடைமட்ட அறை உலை SIC படகுகள் அதிக செயல்திறன், நீண்ட கால மற்றும் மாசு-எதிர்ப்பு செதில் கேரியர்களைக் கொண்ட செதில்களை உற்பத்தி செய்ய விரும்பும் உற்பத்தியாளர்களுக்கு ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். இது ஒரு இயந்திர வலிமை, வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் வேதியியல் செயலற்ற தன்மை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, இது கிடைமட்ட உலைகளின் பயன்பாடுகளில் சமமற்றது. சிலிக்கான் கார்பைடு படகுகளைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம், ஆபரேட்டர்கள் சிறந்த செயல்முறை கட்டுப்பாடு, அதிக மகசூல் மற்றும் பராமரிப்பு காரணமாக செயல்பாட்டு குறுக்கீடுகளைக் குறைக்கலாம். ஒட்டுமொத்தமாக இது மிகவும் திறமையான, செலவு குறைந்த தயாரிப்புகளை வழங்குகிறது.