SIC செங்குத்து படகுகள்

செமிகோரெக்ஸ் எஸ்.ஐ.சி செங்குத்து படகுகள் வடிவமைக்கப்பட்ட செதில் கேரியர்கள், செங்குத்து உலை குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்திற்கான மிக உயர்ந்த வெப்ப, இயந்திர மற்றும் வேதியியல் நிலைத்தன்மையை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்டு தயாரிக்கப்படுகின்றன. உயர் தூய்மையால் கட்டப்பட்டதுசிலிக்கான் கார்பைடு, அவை மிகவும் மேம்பட்ட செதில் வெப்ப செயலாக்கத்திற்கான வலிமை, ஆயுள் மற்றும் தூய்மை ஆகியவற்றின் சிறந்த சமநிலை என்று நாங்கள் நம்புகிறோம், இது ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல், எல்பிசிவிடி மற்றும் செங்குத்து உலை அமைப்புகளில் அனீலிங் என குறிப்பிடப்படுகிறது.

செங்குத்து உலை செயலாக்க சூழல்களுக்கு ஒரு செதில் ஆதரவு அமைப்பு தேவைப்படுகிறது, இது அதிக வெப்பநிலையில் மீண்டும் மீண்டும் வெளிப்பாடுகளைத் தாங்கக்கூடியது, பெரும்பாலும் 1,200 ° C ஐ தாண்டியது, மேலும் மாசு சிக்கல்கள் இல்லாமல் டைமன்-சியோனல் நிலையானதாக இருக்கும். SIC செங்குத்து படகுகள் இந்த சூழ்நிலைகளில் அவற்றின் வலுவான தன்மையை மேம்படுத்துகின்றன, ஏனெனில் மறுகட்டமைக்கப்பட்ட அல்லது சி.வி.டி சிலிக்கான் கார்பைட்டின் உள்ளார்ந்த இயந்திர மற்றும் வெப்ப பண்புகள். அவற்றின் மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் விரைவான வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதல் காரணமாக குறைந்தபட்ச போர்பேஜ் அல்லது விலகலை உறுதி செய்கிறது. கூடுதலாக, அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன், அனைத்து செதில்களிலும் மிகப் பெரிய உள்ளூர் வெப்பநிலை ஒருமைப்பாட்டை வழங்குகிறது, இது அடுக்கு தடிமன், ஊக்கமருந்து சுயவிவரங்கள் மற்றும் மின் செயல்திறன் ஆகியவற்றில் வேஃபர்-டு-வாஃபர் நிலைத்தன்மைக்கு முக்கியமானது; குறைக்கடத்தி துறையில் அதிக அளவு உற்பத்தியின் முக்கிய அம்சங்கள்.

பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் படகுகளுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​SIC செங்குத்து படகுகள் சிறந்த இயந்திர வலிமையையும் நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கையை வழங்குகின்றன. குவார்ட்ஸ் காலப்போக்கில் உடையக்கூடியதாகவும், டெவிட்ரிஃபை ஆகவும், குறிப்பாக ஆக்கிரமிப்பு உலை வேதியியல்களில், அதிக மாற்று செலவுகள் மற்றும் சாத்தியமான உற்பத்தி குறுக்கீடுகளுக்கு வழிவகுக்கிறது. இதற்கு நேர்மாறாக, சிலிக்கான் கார்பைடு குளோரின், எச்.சி.எல் அல்லது அம்மோனியா போன்ற அரிக்கும் வாயுக்களுக்கு நீண்டகாலமாக வெளிப்பட்ட பின்னரும் அதன் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது, அவை பல்வேறு பரவல் மற்றும் எல்பிசிவிடி செயல்முறைகளில் பொதுவானவை. அதன் விதிவிலக்கான உடைகள் மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு துகள் தலைமுறையை வெகுவாகக் குறைக்கிறது, இது மாசுபாடு மற்றும் குறைபாடு உருவாவிலிருந்து செதில்களை பாதுகாக்க உதவுகிறது.

SIC செங்குத்து படகுகளும் அதி-சுத்தமான செயலாக்கத்தின் அடிப்படையில் குறிப்பிடத்தக்க நன்மையை வழங்குகின்றன. குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்பாட்டு பண்புகளில் தலையிடக்கூடிய அடையாளம் காணக்கூடிய சுவடு மாசுபடுத்தும் உலோகங்களை குறைக்க உயர் தூய்மை SIC பொருள் கடுமையான விடாமுயற்சியின் கீழ் செயலாக்கப்படுகிறது. எஸ்.ஐ.சி செங்குத்து படகு மேற்பரப்புகள் வலது கோண அம்சங்களுடன் நன்கு முடிக்கப்பட்டுள்ளன, அவை மைக்ரோ-துகள்கள் உதிர்தலுக்கான வாய்ப்பைக் குறைக்கும். SIC மேற்பரப்புகள் வேதியியல் செயலற்றவை மற்றும் செயல்முறை வாயுக்களுடன் வினைபுரியாது, எனவே மாசுபடுவதற்கு வாய்ப்பில்லை. இந்த வகையில், SIC செங்குத்து படகுகள் வரி (FEOL) மற்றும் வரி (BEOL) WAFER செயலாக்க நடவடிக்கைகளின் முன் இறுதியில் மிகவும் பொருத்தமானவை.

SIC செங்குத்து படகுகளும் வடிவமைப்பு நெகிழ்வுத்தன்மையை வழங்குகின்றன. ஒவ்வொரு செங்குத்து படகும் பல செதில் விட்டம் (150 மிமீ, 200 மிமீ அல்லது 300 மிமீ செதில்கள்) இடமளிக்க வடிவமைப்பு சார்ந்ததாக இருக்கலாம் மற்றும் செயல்முறை தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய ஸ்லாட் எண் மற்றும் இடைவெளி பயன்படுத்தப்படலாம். துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் பரிமாணக் கட்டுப்பாடு சரியான செதில் சீரமைப்பு மற்றும் செதில் ஆதரவு ஆகியவற்றை ஏற்றுதல், செயலாக்கம் மற்றும் இறக்குதல் ஆகியவற்றின் போது எந்தவொரு மைக்ரோ கீறல்கள் அல்லது அழுத்த விரிசல்களின் சாத்தியக்கூறுகளைக் குறைக்கிறது. மேலும், ஒரு குறிப்பிட்ட செயல்முறைக்கு உயர்ந்த வெப்பநிலை சீரான தன்மை மற்றும் / அல்லது குறைவான வெப்ப நிறை தேவைப்பட்டால், எந்தவொரு இயந்திர பண்புகளையும் தியாகம் செய்யாமல், உகந்த வடிவியல் மற்றும் ஸ்லாட் வடிவமைப்புகள் SIC செங்குத்து படகு உள்ளமைவுகளில் இணைக்கப்படலாம்.

மற்றொரு நன்மை பராமரிப்பு மற்றும் செயல்பாட்டு திறன். கடுமையான கட்டுமானம்Sicசெங்குத்து படகுகள் மாற்று நேரத்தையும் அதிர்வெண்ணையும் குறைக்கிறது, இதன் மூலம் வேலையில்லா நேரம் அல்லது உரிமையின் செலவைக் குறைக்கிறது. SIC இன் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு உற்பத்தி வரிகளில் அதிக செயல்திறனை வழங்க வெப்பம் மற்றும் குளிரூட்டலின் குறுகிய சுழற்சிகளை அனுமதிக்கிறது. SIC செங்குத்து படகுகளின் பராமரிப்பு அல்லது சுத்தம் செய்வதும் மிகவும் எளிது; அமிலங்களுடன் ரசாயன சுத்தம் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை சுட்டுக்கொள்ளும் போன்ற குறைக்கடத்தி ஃபேப்புகளில் பொதுவான வழக்கமான ஈரமான அல்லது உலர் துப்புரவு செயல்முறைகளை பொருள் தாங்க முடியும்.

அதிநவீன குறைக்கடத்தி புனையலின் இந்த நவீன யுகத்தில், விளைச்சல் மேம்பாடு, மாசு கட்டுப்பாடு மற்றும் ஸ்திரத்தன்மை ஆகியவை அனைத்து முக்கியத்துவத்தையும் கொண்டுள்ளன, SIC செங்குத்து படகுகள் உண்மையான தொழில்நுட்ப நன்மையை வழங்குகின்றன. அவை செங்குத்து உலை பயன்பாடுகளின் உடல் மற்றும் வேதியியல் சவால்களை நன்கு கையாளுகின்றன மற்றும் செதில்களாக ஒருமைப்பாடு, நிலையான முடிவுகள் மற்றும் நீண்ட ஆயுளை வழங்குவதன் மூலம் ஒட்டுமொத்த செயல்முறை தேர்வுமுறைக்கு பங்களிக்கின்றன.