SiC செங்குத்து படகுகள்

செமிகோரெக்ஸ் SiC செங்குத்து படகுகள் செங்குத்து உலை குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்திற்கான மிக உயர்ந்த வெப்ப, இயந்திர மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மையை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்ட மற்றும் தயாரிக்கப்படும் செதில் கேரியர்கள் ஆகும். உயர் தூய்மையால் கட்டப்பட்டதுசிலிக்கான் கார்பைடு, செங்குத்து உலை அமைப்புகளில் ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல், LPCVD, மற்றும் அனீலிங் என குறிப்பிடப்பட்ட, மிகவும் மேம்பட்ட செதில் வெப்ப செயலாக்கத்திற்கான வலிமை, நீடித்து நிலைப்பு மற்றும் தூய்மை ஆகியவற்றின் சிறந்த சமநிலை அவை என்று நாங்கள் நம்புகிறோம்.

செங்குத்து உலை செயலாக்க சூழல்களுக்கு செதில் ஆதரவு அமைப்பு தேவைப்படுகிறது, இது அதிக வெப்பநிலையில் மீண்டும் மீண்டும் வெளிப்படுவதைத் தாங்கக்கூடியது, பெரும்பாலும் 1,200 ° C ஐத் தாண்டும், மேலும் மாசுபாடு சிக்கல்கள் இல்லாமல் பரிமாண ரீதியாக நிலையானதாக இருக்கும். இந்த சூழ்நிலைகளில் SiC செங்குத்து படகுகள் அவற்றின் வலிமையில் சிறந்து விளங்குகின்றன, ஏனெனில் மறுபடிகப்படுத்தப்பட்ட அல்லது CVD சிலிக்கான் கார்பைட்டின் உள்ளார்ந்த இயந்திர மற்றும் வெப்ப பண்புகள். அவற்றின் மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம், விரைவான வெப்ப சைக்கிள் ஓட்டுதலின் காரணமாக குறைந்தபட்ச போர்ப்பக்கம் அல்லது சிதைவை உறுதி செய்கிறது. கூடுதலாக, உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன், அனைத்து செதில்களிலும் மிகப்பெரிய உள்ளூர் வெப்பநிலை ஒருமைப்பாட்டை வழங்குகிறது, இது அடுக்கு தடிமன், ஊக்கமருந்து சுயவிவரங்கள் மற்றும் மின் செயல்திறன் ஆகியவற்றில் செதில்-க்கு-செதில் நிலைத்தன்மைக்கு முக்கியமானது; குறைக்கடத்தி துறையில் அதிக அளவு உற்பத்தியின் முக்கிய அம்சங்கள்.

பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் படகுகளுடன் ஒப்பிடுகையில், SiC செங்குத்து படகுகள் சிறந்த இயந்திர வலிமை மற்றும் நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கையை வழங்குகின்றன. குவார்ட்ஸ் உடையக்கூடியது மற்றும் காலப்போக்கில் சிதைந்துவிடும், குறிப்பாக ஆக்கிரமிப்பு உலை வேதியியலில், அதிக மாற்று செலவுகள் மற்றும் சாத்தியமான உற்பத்தி குறுக்கீடுகளுக்கு வழிவகுக்கிறது. இதற்கு நேர்மாறாக, சிலிக்கான் கார்பைடு குளோரின், HCl அல்லது அம்மோனியா போன்ற அரிக்கும் வாயுக்களுக்கு நீண்ட நேரம் வெளிப்பட்ட பிறகும் அதன் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்கிறது, இவை பல்வேறு பரவல் மற்றும் LPCVD செயல்முறைகளில் பொதுவானவை. அதன் விதிவிலக்கான உடைகள் மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு துகள் உற்பத்தியை வெகுவாகக் குறைக்கிறது, இது செதில் மேற்பரப்புகளை மாசு மற்றும் குறைபாடு உருவாக்கத்திலிருந்து பாதுகாக்க உதவுகிறது.

SiC செங்குத்து படகுகள் அல்ட்ரா-க்ளீன் செயலாக்கத்தின் அடிப்படையில் குறிப்பிடத்தக்க நன்மையை வழங்குகின்றன. செமிகண்டக்டர் சாதனங்களின் செயல்பாட்டு பண்புகளில் குறுக்கிடக்கூடிய அடையாளம் காணக்கூடிய சுவடு மாசுபடுத்தும் உலோகங்களைக் குறைக்க உயர்-தூய்மை SiC பொருள் கடுமையான விடாமுயற்சியின் கீழ் செயலாக்கப்படுகிறது. SiC செங்குத்து படகு மேற்பரப்புகள் வலது கோண அம்சங்களுடன் நன்கு முடிக்கப்பட்டுள்ளன, அவை நுண் துகள்கள் உதிர்வதற்கான வாய்ப்பைக் குறைக்கின்றன. SiC மேற்பரப்புகள் வேதியியல் ரீதியாக செயலற்றவை மற்றும் செயல்முறை வாயுக்களுடன் வினைபுரிவதில்லை, எனவே அவை மாசுபடுவதற்கான வாய்ப்புகள் குறைவு. இது சம்பந்தமாக, SiC செங்குத்து படகுகள் வரியின் முன் முனை (FEOL) மற்றும் கோட்டின் பின் முனை (BEOL) செதில் செயலாக்க செயல்பாடுகளுக்கு மிகவும் பொருத்தமானது.

SiC செங்குத்து படகுகள் வடிவமைப்பு நெகிழ்வுத்தன்மையையும் வழங்குகின்றன. ஒவ்வொரு செங்குத்து படகும் பல செதில் விட்டம் (150 மிமீ, 200 மிமீ அல்லது 300 மிமீ செதில்கள்) மற்றும் ஸ்லாட் எண் மற்றும் இடைவெளி ஆகியவை செயல்முறைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில் வடிவமைப்பு-குறிப்பிட்டதாக இருக்கும். துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் பரிமாணக் கட்டுப்பாடு ஆகியவை சரியான செதில் சீரமைப்பு மற்றும் செதில் ஆதரவை ஏற்றுதல், செயலாக்குதல் மற்றும் இறக்குதல் ஆகியவற்றின் போது ஏதேனும் மைக்ரோ கீறல்கள் அல்லது அழுத்த விரிசல்களின் வாய்ப்பைக் குறைக்கின்றன. மேலும், ஒரு குறிப்பிட்ட செயல்முறைக்கு உயர்ந்த வெப்பநிலை சீரான தன்மை மற்றும் / அல்லது குறைவான வெப்ப நிறை தேவைப்பட்டால், எந்த இயந்திர பண்புகளையும் இழக்காமல், SiC செங்குத்து படகு உள்ளமைவுகளில் உகந்த வடிவவியல் மற்றும் ஸ்லாட் வடிவமைப்புகள் இணைக்கப்படலாம்.

மற்றொரு நன்மை பராமரிப்பு மற்றும் செயல்பாட்டு திறன். கடுமையான கட்டுமானம்SiCசெங்குத்து படகுகள் மாற்று நேரத்தையும் அதிர்வெண்ணையும் குறைக்கிறது, இதனால் வேலையில்லா நேரம் அல்லது உரிமையின் விலையைக் குறைக்கிறது. SiC இன் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பானது உற்பத்தி வரிகளில் அதிக செயல்திறனை வழங்குவதற்கு வெப்பம் மற்றும் குளிர்ச்சியின் குறுகிய சுழற்சிகளை அனுமதிக்கிறது. SiC செங்குத்து படகுகளின் பராமரிப்பு அல்லது சுத்தம் செய்வதும் மிகவும் எளிமையானது; அமிலங்கள் கொண்ட இரசாயன சுத்தம் மற்றும் உயர் வெப்பநிலை சுடுதல் போன்ற குறைக்கடத்தி ஃபேப்களில் பொதுவான வழக்கமான ஈரமான அல்லது உலர் துப்புரவு செயல்முறைகளை பொருள் தாங்கும்.

மகசூல் மேம்பாடு, மாசு கட்டுப்பாடு மற்றும் செயல்பாட்டில் நிலைத்தன்மை ஆகியவை அனைத்து முக்கியத்துவத்தையும் கொண்ட அதிநவீன குறைக்கடத்தி தயாரிப்பின் இந்த நவீன யுகத்தில், SiC செங்குத்து படகுகள் உண்மையான தொழில்நுட்ப நன்மையை வழங்குகின்றன. செங்குத்து உலை பயன்பாடுகளின் இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் சவால்களை அவை நன்கு கையாள்கின்றன மற்றும் செதில் ஒருமைப்பாடு, நிலையான முடிவுகள் மற்றும் உபகரணங்களின் நீண்ட ஆயுளை வழங்குவதன் மூலம் ஒட்டுமொத்த செயல்முறை மேம்படுத்தலுக்கு பங்களிக்கின்றன.