சிலிக்கான் கார்பைடு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு MOCVD சஸ்செப்டர்

Semicorex Silicon Carbide Graphite Substrate MOCVD Susceptor என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியாளர்களுக்கு சிறந்த செயல்திறன் மற்றும் நீடித்த தன்மையை வழங்கக்கூடிய உயர்தர கேரியரைத் தேடும் இறுதித் தேர்வாகும். அதன் மேம்பட்ட பொருள் வெப்ப சுயவிவரத்தையும் லேமினார் வாயு ஓட்ட முறையையும் உறுதி செய்கிறது, உயர்தர செதில்களை வழங்குகிறது.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

எங்களின் சிலிக்கான் கார்பைடு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு MOCVD சஸ்செப்டர் மிகவும் தூய்மையானது, உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் தயாரிக்கப்பட்டு, தயாரிப்பின் சீரான தன்மையையும் நிலைத்தன்மையையும் உறுதி செய்கிறது. இது மிகவும் அரிப்பை எதிர்க்கும், அடர்த்தியான மேற்பரப்பு மற்றும் நுண்ணிய துகள்களுடன், அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம வினைகளை எதிர்க்கும். அதன் உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
எங்களின் சிலிக்கான் கார்பைடு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு MOCVD சஸ்செப்டரைப் பற்றி மேலும் அறிய இன்றே எங்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.

சிலிக்கான் கார்பைட் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு MOCVD சஸ்செப்டரின் அளவுருக்கள்

CVD-SIC பூச்சுகளின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள்
SiC-CVD பண்புகள்
படிக அமைப்பு	FCC β கட்டம்
அடர்த்தி	g/cm ³	3.21
கடினத்தன்மை	விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை	2500
தானிய அளவு	μm	2~10
இரசாயன தூய்மை	%	99.99995
வெப்ப திறன்	ஜே கிலோ-1 கே-1	640
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	℃	2700
Felexural வலிமை	MPa (RT 4-புள்ளி)	415
யங்ஸ் மாடுலஸ்	Gpa (4pt வளைவு, 1300℃)	430
வெப்ப விரிவாக்கம் (C.T.E)	10-6K-1	4.5
வெப்ப கடத்துத்திறன்	(W/mK)	300

MOCVDக்கான SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெப்டரின் அம்சங்கள்

- உரிக்கப்படுவதைத் தவிர்க்கவும் மற்றும் அனைத்து மேற்பரப்பிலும் பூச்சு இருப்பதை உறுதி செய்யவும்
உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு: 1600 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக வெப்பநிலையில் நிலையானது
உயர் தூய்மை: உயர் வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலைமைகளின் கீழ் CVD இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் செய்யப்படுகிறது.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு மற்றும் நுண்ணிய துகள்கள்.
அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்.
- சிறந்த லேமினார் வாயு ஓட்டம் முறை அடைய
- வெப்ப சுயவிவரத்தின் சமநிலைக்கு உத்தரவாதம்
- ஏதேனும் மாசுபாடு அல்லது அசுத்தங்கள் பரவுவதைத் தடுக்கவும்

சூடான குறிச்சொற்கள்: சிலிக்கான் கார்பைட் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு MOCVD சஸ்செப்டர், சீனா, உற்பத்தியாளர்கள், சப்ளையர்கள், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, மொத்தமாக, மேம்பட்ட, நீடித்தது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை